用于立式炉的炉门组件和立式炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112503944A(43)申请公布日2021.03.16(21)申请号202011346189.1(22)申请日2020.11.26(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人任中孙晋博杨帅(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人彭瑞欣王婷(51)Int.Cl.F27D1/18(2006.01)F27D1/12(2006.01)F27B17/00(2006.01)权利要求书1页说明书6页附图2页(54)发明名称用于立式炉的炉门组件和立式炉(57)摘要本发明提供一种用于立式炉的炉门组件，包括炉门本体和封装板，炉门本体具有用于密封立式炉工艺腔室开口的密封面和与密封面相对的散热面，散热面上形成有冷却液槽，封装板覆盖冷却液槽形成用于冷却液流通的通道，散热面上还形成有散热区域，散热区域位于冷却液槽之外的区域，用于增加散热面与空气的热交换面积。在本发明中炉门本体同时通过冷却液槽和散热区域散热，提高了炉门本体各区域温度的均匀性，能够避免各区域之间因温差过大产生的应力对炉门本体造成侵害，还能够降低半导体工艺的副产物集中附着在冷却液槽区域的速率，进而降低附着物腐蚀炉门本体的速率，提高了炉门组件的使用寿命。CN112503944ACN112503944A权利要求书1/1页1.一种用于立式炉的炉门组件，其特征在于，包括炉门本体和封装板，所述炉门本体具有用于密封立式炉工艺腔室开口的密封面和与所述密封面相对的散热面，所述散热面上形成有冷却液槽，所述封装板覆盖所述冷却液槽形成用于冷却液流通的通道，所述散热面上还形成有散热区域，所述散热区域位于所述冷却液槽之外的区域，用于增加所述散热面与空气的热交换面积。2.根据权利要求1所述的炉门组件，其特征在于，所述冷却液槽包括内环形槽、连接槽和环绕所述内环形槽的外环形槽，所述内环形槽、所述外环形槽和所述炉门本体同心设置；所述内环形槽和所述外环形槽通过两个所述连接槽连通，所述外环形槽上设有第一隔断件，所述第一隔断件位于所述外环形槽与两条所述连接槽连接的位置之间。3.根据权利要求2所述的炉门组件，其特征在于，所述外环形槽内还设有第二隔断件，所述封装板上设有进液接头和出液接头，所述进液接头和所述出液接头位于所述第二隔断件的两侧，且均与所述外环形槽相连通。4.根据权利要求2或3所述的炉门组件，其特征在于，所述内环形槽、所述连接槽和所述外环形槽的槽宽均为25至35mm。5.根据权利要求2所述的炉门组件，其特征在于，所述散热区域包括第一散热区域，所述第一散热区域环设于所述外环形槽围设的区域外。6.根据权利要求5所述的炉门组件，其特征在于，所述散热区域还包括第二环形散热区域，所述第二散热区域设置于所述内环形槽围设的区域内。7.根据权利要求6所述的炉门组件，其特征在于，所述第一环形散热区域和所述第二环形散热区域均包括多个直径不同且与所述炉门本体中心重合的环形凹槽。8.根据权利要求7所述的炉门组件，其特征在于，所述第一散热区域和所述第二散热区域均包括三个直径不同的所述环形凹槽，且所述环形凹槽的槽宽为3至4mm。9.根据权利要求1所述的炉门组件，其特征在于，所述散热区域还包括多组形成于所述散热面上的散热盲孔，每组所述散热盲孔沿圆周方向等间隔分布，且多组所述散热盲孔同心间隔设置。10.根据权利要求7所述的炉门组件，其特征在于，所述散热盲孔的直径为8至12mm。11.一种立式炉，其特征在于，包括工艺腔室和炉门组件，所述炉门组件为权利要求1至10中任意一项所述的炉门组件，所述炉门组件的密封面用于密封所述工艺腔室的开口。2CN112503944A说明书1/6页用于立式炉的炉门组件和立式炉技术领域[0001]本发明涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种炉门组件和一种立式炉。背景技术[0002]立式炉上一种常见的半导体工艺设备，包括沿竖直方向延伸的工艺腔室和用于选择性地封闭该工艺腔室底部开口的炉门，该炉门能够在晶舟未处于工艺腔室内时，对工艺腔室进行密封，将工艺腔室内部与外界环境隔开。[0003]在现有的立式炉中，炉门常具有用于密封工艺腔室底部开口的密封面，该密封面与工艺腔室的底部开口平齐设置，立式炉中的旋转臂等旋转结构可将炉门旋转上升至炉门的密封面盖住工艺腔室的底部开口已完成密封，或者使炉门旋转下降并离开工艺腔室的底部开口。然而，现有的炉门在使用过程中常附着有水滴和反应副产物，腐蚀炉门及其连接的石英件，炉门使用寿命较短。[0004]因此，如何提供一种使用寿命较长的立式炉炉门，成为本领域亟待解决的技术问题。发明内容[0005]本发明旨在提供一种炉门组件和一种立式炉，该炉门组件在进行