一种用于立式炉的炉门控制装置和立式炉.pdf
子璇****君淑
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一种用于立式炉的炉门控制装置和立式炉.pdf
本发明提供一种用于立式炉的炉门控制装置,包括升降组件和旋转组件,升降组件用于驱动炉门沿第一方向运动;旋转组件包括气缸、驱动配合机构和限位机构,旋转组件用于通过气缸驱动炉门沿第二方向旋转,且旋转组件在驱动炉门沿第二方向旋转的过程中,将气缸的伸缩运动转换为驱动配合机构的机械运动,以使驱动配合机构带动炉门沿第二方向旋转,限位机构用于在炉门处在炉门关闭位置时,保持驱动配合机构的位置不变,其中,第一方向与第二方向垂直用于立式炉的炉门控制装置。在本发明提供的用于立式炉的炉门控制装置能够消除炉门意外打开的隐患,提高立式
用于立式炉的炉门组件和立式炉.pdf
本发明提供一种用于立式炉的炉门组件,包括炉门本体和封装板,炉门本体具有用于密封立式炉工艺腔室开口的密封面和与密封面相对的散热面,散热面上形成有冷却液槽,封装板覆盖冷却液槽形成用于冷却液流通的通道,散热面上还形成有散热区域,散热区域位于冷却液槽之外的区域,用于增加散热面与空气的热交换面积。在本发明中炉门本体同时通过冷却液槽和散热区域散热,提高了炉门本体各区域温度的均匀性,能够避免各区域之间因温差过大产生的应力对炉门本体造成侵害,还能够降低半导体工艺的副产物集中附着在冷却液槽区域的速率,进而降低附着物腐蚀炉门
一种立式氧化炉摆动炉门装置及立式氧化炉.pdf
本发明公开了一种立式氧化炉摆动炉门装置,包括炉门组件以及安装座,所述安装座上设有升降机构,所述升降机构上设有旋转机构,所述旋转机构的轴心沿竖向布置,所述炉门组件与所述旋转机构之间连接有摆臂组件。本发明进一步公开了一种立式氧化炉,包括机架,还包括上述的立式氧化炉摆动炉门装置,所述安装座设于所述机架上。本发明具有使用方便,有利于炉膛保温,防止炉膛热量散发影响其他零部件等优点。
一种用于立式裂化炉的炉排装置.pdf
本发明提供了一种用于立式裂化炉的炉排装置,包括一根或一根以上并排或分层排列的炉排本体,横向穿插至裂化炉体内,其特征在于:所述的炉排本体均由中间通孔的大柱体与内部支撑结构组成,所述的炉排本体四周表面均设有毛刺。本发明的炉排装置的承重能力优秀,不易变形;使炉排可承受更高的温度;使用寿命长;可通过控制炉排的转动速度,有效的控制炉内物料的下降速度。
一种用于立式裂化炉的炉排联接装置.pdf
一种立式裂化炉的炉排联接装置,由传动装置、炉排、支撑体构成,在炉排本体端部通过万向节与连接传动装置。本技术方案可减少炉排本体与传动装置及承重装置之间,由于位置变化而产生的摩擦。提高炉排转动效率,降低传动装置的能量消耗。