一种用于立式热处理炉的开关门组件及立式热处理炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112011831A(43)申请公布日2020.12.01(21)申请号201910461429.3(22)申请日2019.05.30(71)申请人北京北方华创微电子装备有限公司地址100176北京市北京经济技术开发区文昌大道8号(72)发明人孙志坤(74)专利代理机构北京天昊联合知识产权代理有限公司11112代理人彭瑞欣姜春咸(51)Int.Cl.C30B33/02(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图6页(54)发明名称一种用于立式热处理炉的开关门组件及立式热处理炉(57)摘要本发明提供一种用于立式热处理炉的开关门组件，所述开关门组件包括转向轴和连接座，所述连接座包括互相连接的配合部和连接部，所述连接部用于与工艺腔密封组件相连，所述配合部上形成有配合孔，所述转向轴的第一端设置在所述配合孔内，所述开关门组件还包括连接件，所述连接件将所述配合部与所述转向轴的第一端固定连接。本发明的开关门组件能够避免配合部与转向轴在连接位置发生相对移动，从而避免立式热处理炉的工艺腔密封组件与工艺腔之间出现对接偏差，并避免配合部与转向轴摩擦产生颗粒。本发明还提供一种包括上述开关门组件的立式热处理炉。CN112011831ACN112011831A权利要求书1/2页1.一种用于立式热处理炉的开关门组件，所述开关门组件包括转向轴和连接座，其特征在于，所述连接座包括互相连接的配合部和连接部，所述连接部用于与工艺腔密封组件相连，所述配合部上形成有配合孔，所述转向轴的第一端设置在所述配合孔内，所述开关门组件还包括连接件，所述连接件将所述配合部与所述转向轴的第一端固定连接。2.根据权利要求1所述的开关门组件，其特征在于，所述配合部包括圆筒部和连接凸缘，所述圆筒部的通孔形成为所述配合孔，所述转向轴的外表面是与所述配合孔的内表面配合的圆柱面，所述连接凸缘形成在所述配合孔的内壁上，并环绕所述圆筒部的轴线设置，所述转向轴第一端的端面支撑在所述连接凸缘上，所述连接件将所述连接凸缘与所述转向轴第一端的端面固定连接。3.根据权利要求2所述的开关门组件，其特征在于，所述转向轴形成为具有引导通孔的管状件，所述引导通孔为所述管状件的管孔，所述转向轴的管壁上形成有引导件安装孔，所述引导件安装孔贯穿所述转向轴的管壁并与所述引导通孔连通，所述开关门组件还包括走线引导件，所述走线引导件的一部分穿过所述引导件安装孔进入所述引导通孔，所述走线引导件的另一部分位于所述转向轴外部，所述走线引导件上形成有至少一个走线孔，所述走线孔的轴线方向与所述引导件安装孔的轴线方向一致。4.根据权利要求3所述的开关门组件，其特征在于，所述走线引导件包括第一走线引导件和第二走线引导件，所述第一走线引导件包括互相连接的第一安装部和第一延伸部，所述第一安装部形成在所述第一延伸部的外表面上，且朝向所述转向轴的第二端延伸，所述第一安装部与所述转向轴的管壁固定连接，所述第一延伸部的朝向所述转向轴的第一端的表面上形成有至少一个第一走线槽，所述第一延伸部穿过所述引导件安装孔进入所述转向轴的引导通孔内，且所述第一延伸部朝向所述转向轴内部延伸，所述第一安装部能够封闭所述第一延伸部与所述引导件安装孔的孔壁之间的间隔；所述第二走线引导件包括互相连接的第二安装部和第二延伸部，所述第二安装部形成在所述第二延伸部的外表面上，且朝向所述转向轴的第一端延伸，所述第二安装部与所述转向轴的管壁固定连接，所述第二延伸部的朝向所述转向轴的第二端的表面上形成有至少一个第二走线槽，所述第二延伸部穿过所述引导件安装孔进入所述转向轴的引导通孔内，且所述第二延伸部朝向所述转向轴内部延伸，所述第二安装部能够封闭所述第二延伸部与所述引导件安装孔的孔壁之间的间隔；至少一个所述第一走线槽与至少一个所述第二走线槽一一对应，所述第一走线引导件朝向所述第二走线引导件的表面与所述第二走线引导件朝向所述第一走线引导件的表面相对，以使得所述第一走线槽与相应的第二走线槽拼接成所述走线孔。5.根据权利要求4所述的开关门组件，其特征在于，所述转向轴包括管体、限位部和连接法兰，所述管体的第一端形成为所述转向轴的第一端，所述管体的第二端形成为所述转向轴的第二端，所述限位部形成在管体的外表面上，且位于所述管体的第一端，所述限位部沿所述管体一侧的径向方向超出所述管体的管壁；所述连接法兰位于所述转向轴的第二端，用于与动力产生部件连接，所述连接法兰沿圆周方向超出所述管体的管壁；所述第一安装部与所述连接法兰之间存在第一调整间隙，所述第二延伸部与所述限位2CN112011831A权利要求书2/2页部相对，且所述第二延伸部与所述限位部之间存在第二调整间隙，所述第一安装部和所述第二安装部中的至少一者与所述转向轴的管壁可调