一种石墨舟降温方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112993082A(43)申请公布日2021.06.18(21)申请号202011579772.7(22)申请日2020.12.28(71)申请人江苏润阳世纪光伏科技有限公司地址224000江苏省盐城市经济技术开发区湘江路58号(72)发明人周其斌张政蔡成唐福云杨灼坚沙泉(51)Int.Cl.H01L31/18(2006.01)H01L21/673(2006.01)H01L21/205(2006.01)权利要求书1页说明书2页(54)发明名称一种石墨舟降温方法(57)摘要本发明提供一种石墨舟降温方法，在PECVD沉积炉的防护门板上直接打至少两个孔，孔内配合安装抽风风扇，抽风风扇直接将PECVD沉积炉内热气抽取排出至炉外，降低炉内温度。使用该方法可以有效的降低石墨舟温度，极大的节约降温过程的时间，从而提升电池硅片生产效率，提高了硅片良率。CN112993082ACN112993082A权利要求书1/1页1.一种石墨舟降温方法，其特征在于，在PECVD沉积炉的防护门板上直接打至少两个孔，孔内配合安装抽风风扇，抽风风扇直接将PECVD沉积炉内热气抽取排出至炉外，降低炉内温度。2.根据权利要求1所述的石墨舟降温方法，其特征在于，所述抽风风扇对称的在防护门板上开设有4或6个。3.根据权利要求1所述的石墨舟降温方法，其特征在于，当PECVD沉积炉内温度降至60度时即可出舟。4.根据权利要求2所述的石墨舟降温方法，其特征在于，抽风风扇一直持续抽气，PECVD沉积炉设备不停则风扇不停。2CN112993082A说明书1/2页一种石墨舟降温方法技术领域[0001]本发明应用于太阳能电池制作过程中，尤其涉及一种石墨舟降温方法。背景技术[0002]太阳能电池的制造需要经过制绒、扩散、刻蚀、镀膜、丝网印刷和烧结测试这七大工序，同时，每一道工序都有自己不同的环境特征，尤其是扩散氧化镀膜工序，需要将装载硅片的石墨舟推进PECVD沉积炉内进行高温镀膜，在沉积结束后降低温度自然等待温度冷却后才能进行石墨舟滁州，因为如果高温出舟的话硅片会翘曲，后续在石墨舟插片机上自动化插片的时候就容易掉片，进而产生连锁不良反应，如硅片舟框擦伤，舟框印增加等，严重影响电池片良率，而且等待降温过程漫长，浪费时间且影响生产效率。发明内容[0003]鉴于以上，本发明提供一种石墨舟降温方法，使用该方法可以有效的降低石墨舟温度，极大的节约降温过程的时间，从而提升电池硅片生产效率，提高了硅片良率。[0004]具体技术方案如下：一种石墨舟降温方法，其特征在于，在PECVD沉积炉的防护门板上直接打至少两个孔，孔内配合安装抽风风扇，抽风风扇直接将PECVD沉积炉内热气抽取排出至炉外，降低炉内温度。[0005]进一步，所述抽风风扇对称的在防护门板上开设有4或6个。[0006]进一步，当PECVD沉积炉内温度降至60度时即可出舟。[0007]进一步，抽风风扇一直持续抽气，PECVD沉积炉设备不停则风扇不停。[0008]本发明附加的方面和优点将在下面的描述中进一步给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。具体实施方式[0009]下面描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。[0010]本实施例的一种石墨舟降温方法，在PECVD沉积炉的防护门板上直接打至少两个孔，孔内配合安装抽风风扇，抽风风扇直接将PECVD沉积炉内热气抽取排出至炉外，降低炉内温度，当PECVD沉积炉内温度降至60度时即可出舟。此纯机械散热降温方法，可以持续散热，效果明显。[0011]优选的，安装抽风风扇数量为四个或六个，在其他实施例中可根据需要具体选择安装数量。[0012]进一步，抽风风扇一直持续抽气，PECVD沉积炉设备不停则风扇不停。[0013]尽管参照本发明的示意性实施例对本发明的具体实施方式进行了详细的描述，但是必须理解，本领域技术人员可以设计出多种其他的改进和实施例，这些改进和实施例将3CN112993082A说明书2/2页落在本发明原理的精神和范围之内。4