一种提高石墨舟处理效果的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号(10)申请公布号CNCN103579057103579057A(43)申请公布日2014.02.12(21)申请号201210277304.3(22)申请日2012.08.07(71)申请人浙江鸿禧光伏科技股份有限公司地址314206浙江省嘉兴市平湖市新仓镇童车路1号(72)发明人徐杰(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)权权利要求书1页利要求书1页说明书2页说明书2页附图1页附图1页(54)发明名称一种提高石墨舟处理效果的方法(57)摘要本发明公开了一种提高石墨舟处理效果的方法，其步骤是：（1）将石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；（2）将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净；（3）将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留；（4）将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时；（5）将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管再次烘干；（6）将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。本发明的有益效果是增强石墨舟的处理效果，提高电池片镀膜后的膜厚、折射率的均匀性和外观品质。CN103579057ACN103579ACN103579057A权利要求书1/1页1.一种提高石墨舟处理效果的方法，其具体工艺步骤为：（1）将需要处理的石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；（2）将拆卸后的石墨舟零件放置于一定浓度的HF清洗槽中清洗数小时，确保零件清洗干净；（3）将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗数小时，确保石墨舟零件无酸液残留；（4）将拆卸的石墨舟零件放置在一定温度范围内的烘箱中烘干数小时；（5）将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管中再次烘干；（6）将烘干后的石墨舟直接放入PECVD设备的炉管内预处理数小时。2.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于：步骤（2）中将拆卸后的石墨舟零件放置于浓度10±2%的HF清洗槽中清洗4～6个小时。3.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于：步骤（3）中将酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中漂洗，清洗时间为4～6个小时。4.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于：步骤（4）中将拆卸的石墨舟零件放置在85±5℃的烘箱中烘干6～8个小时。5.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于：步骤（5）将烘干的石墨舟零件组装起来，并放入PECVD设备的炉管内再次烘干1±0.5小时。6.根据权利要求1中所述的一种提高石墨舟处理效果的方法，其特征在于：步骤（6）经过烘干后的石墨舟，不需插假片，直接放入PECVD设备的炉管内预处理3～4个小时。2CN103579057A说明书1/2页一种提高石墨舟处理效果的方法技术领域[0001]本发明涉及太阳能电池制作技术领域，具体地说是一种涉及PECVD工序石墨舟处理效果的方法。背景技术[0002]在晶硅太阳能电池的传统生产工艺中，PECVD工序主要是为了降低电池片表面的反射率和强钝化效果等作用。而在镀膜过程中，石墨舟舟片作为电极，与硅片紧密接触，参与整个镀膜过程。而随着石墨舟的使用次数越来越多，会在石墨舟舟片沉积一层氮化硅薄膜，使沉积在硅片表面的氮化硅薄膜的差异性越来越大。因此，通常情况下当石墨舟使用次数超过120次时，就需要对石墨舟进行拆卸并加以清洗。[0003]在晶体硅太阳能电池大规模生产过程中，容易出现镀膜不均或者边缘偏红等现象，严重影响了电池片的外观品质，从而导致出现较多返工片。本发明通过对石墨舟的清洗和饱和过程中进行改善，减少镀膜不均和边缘偏红现象的发生，提高电池片镀膜的均匀性和外观品质。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是：改善石墨舟的清洗方式和饱和方式，从而提高电池片镀膜后的膜厚、折射率的均匀性和外观品质。[0005]本发明所提供的一种提高石墨舟处理效果的方法，按如下步骤依次为：[0006]（1）将需要清洗的石墨舟拆卸开来，在拆卸石墨舟螺帽时，需避免螺帽与石墨板间的摩擦，以防止石墨板表面的氟氯碳化合物处理遭到破坏；[0007]（2）将拆卸后的石墨舟零件放置于浓度10±2%的HF清洗槽中清洗4至6个小时，确保零件能够清洗干净为止；[0008]（3）将经过酸液清洗后的石墨舟零件放入纯水中进行漂洗，漂洗时间大致为4至6个小时，确保石墨舟零件无酸液残留为止；[0009]（4）将拆卸的石墨舟零件放置在85±5℃的烘箱中烘干