一种石墨舟饱和的工艺方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111118479A(43)申请公布日2020.05.08(21)申请号201911372652.7H01L21/673(2006.01)(22)申请日2019.12.27(71)申请人浙江爱旭太阳能科技有限公司地址322000浙江省金华市义乌市苏溪镇好派路655号(72)发明人胡茂界丁晨陈刚(74)专利代理机构浙江杭州金通专利事务所有限公司33100代理人金丽英(51)Int.Cl.C23C16/515(2006.01)C23C16/34(2006.01)C23C16/32(2006.01)C23C16/52(2006.01)C23C16/02(2006.01)权利要求书1页说明书3页(54)发明名称一种石墨舟饱和的工艺方法(57)摘要本发明公开一种石墨舟饱和的工艺方法，包括如下步骤：1）将石墨舟送进炉管；2）抽真空，通入氮气15slm，温度升至420℃；3）抽真空，通入氮气15slm，时间300秒，再抽真空，重复三次后恢复真空；4）通入氨气5slm，温度控制在450460℃，预沉积300秒；5）抽真空，通入硅烷和甲烷，持续放电5000-11000秒；6）抽真空，通入硅烷和氨气，持续放电200秒；7）停止通气，抽真空，至压力达到30mTorr时，通入氮气15slm，再抽真空，重复两次后恢复；8）卸舟。采用本发明的方法，石墨舟镀碳化硅和氮化硅的叠加层，石墨舟舟片更加致密平整具有优良的导热性能和电场的均匀性，使得工艺过程中的电池片膜色更加均匀一致，对电池片返工率和良率提升有明显增益。CN111118479ACN111118479A权利要求书1/1页1.一种石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：包括以下步骤；步骤一，使用氮化硅桨将空石墨舟送进石英炉管；步骤二，抽真空，通入流量为15标准升每分钟的氮气，所有温区温度升至420摄氏度；步骤三，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为15标准升每分钟的氮气，时间300秒，再抽真空，本步骤重复三次；步骤四，通入流量为5标准升每分钟的氨气，使炉管内压力稳定在1700毫托，温度控制在450至460摄氏度，放电功率3600瓦，预清洗300秒；步骤五，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为600至700标准毫升每分钟的硅烷，通入流量为6.5标准升每分钟的甲烷，压力稳定在1500毫托，放电功率6500瓦，持续放电5000至11000秒；步骤六，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为850至950标准毫升每分钟的硅烷，通入流量为7.8标准升每分钟的氨气，放电功率7500瓦，持续放电200秒；步骤七，停止通气，抽真空，至压力达到毫托时，通入流量为15标准升每分钟的氮气，再抽真空，本步骤重复二次；步骤八，卸舟。2.如权利要求1所述的石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：所述步骤四中，放电过程的脉冲开关比例为6:12至6:18。3.如权利要求1所述的石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：所述步骤五中，放电过程的脉冲开关比例为5:70至5:80。4.如权利要求1所述的石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：所述步骤五中，放电过程的脉冲开关比例为5:45至5:50。2CN111118479A说明书1/3页一种石墨舟饱和的工艺方法[0001]技术领域[0002]本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其是一种石墨舟饱和的工艺方法。[0003]背景技术[0004]目前，晶硅太阳能电池对膜色要求越来越高，生产工艺过程中由于石墨舟饱和不充分或饱和的材料性能限制，使得石墨舟在寿命周期内电池片镀膜颜色发生变化，通常采用修正工艺来补偿其影响。[0005]现有的石墨舟饱和方法是采用插石墨假片或硅片，在石墨舟内壁上沉积一层氮化硅膜，从而使内壁各处均呈氮化硅状态，这样使得工艺过程中石墨舟内部各处氮化硅沉积速率趋于一致。[0006]氮化硅饱和石墨舟的原理：利用低温等离子体作能量源，加热使样品升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体（硅烷和氨气），气体在射频激励下形成等离子体，在硅片表面沉积成氮化硅层。[0007]SiH4+NH3→SixNyHz+H2↑目前石墨舟饱和方式，硅片镀膜膜色均匀性相对较差，导致部分硅片偏红或偏白，电池片色差返工率和外观良率造成一定负面影响。[0008]发明内容[0009]本发明要解决的技术问题是：目前石墨舟饱和方式，硅片镀膜膜色均匀性相对较差，导致部分硅片偏红或偏白的问题。[0010]本发明解决该技术问题采用的技术方案是：一种石墨舟饱和的工艺方法，其特征在于：包括以下步骤；步骤一，使用氮化硅桨将空石墨舟送进石英炉管；步骤二，抽真空，通入流量为15标准升每分钟的氮气，所有温区温度升至420摄氏度；步骤三，抽真空，至压力达到30毫托时，通入流量为15标准升