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一种PECVD石墨舟存储与下料方法.pdf
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一种PECVD石墨舟存储与下料方法.pdf
本发明涉及PECVD石墨舟存储及下料领域。一种PECVD石墨舟存储与下料方法,石墨舟的冷却时间从石墨舟反应完置于PECVD石墨舟的搬运区域开始计时,冷却时间Tx代表X编号存储位置上对应石墨舟的冷却时间;将上下料存储区域、进出炉管存储区域位置状态依据有无石墨舟存放设置为1和0,1有,0无;根据PECVD石墨舟的搬运区域的存储区域的位置状态和石墨舟的冷却时间对存储区域上石墨舟进行移动及下料。
2023-05-11
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2024-03-26
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本发明公开了一种PECVD石墨舟载具的制造方法，将浸渍浆料均匀涂覆在石墨舟半成品零件的表面上，放入具有保护气氛的反应炉中进行高温裂解反应，浸渍浆料在石墨舟半成品零件的表面上形成碳化硅膜层，得到石墨舟成品零件再组装成石墨舟。添加硅粉的聚碳硅烷浸渍浆料在石墨舟半成品零件的碳材料表面高温裂解，通过硅‑碳相互作用在碳材料表面原位生长形成一层碳化硅膜层，在疏松多孔的碳材料表面形成一层致密稳定的保护层，耐高温、氧化、冷热冲击，在石墨舟生产过程中能提高其使用寿命，减少石墨舟维护时间以及成本，降低企业生产成本。
2023-06-16
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本发明公开了一种延长PECVD炉用石墨舟使用寿命的方法，包括如下步骤：上舟：将石墨舟上的螺母全部松开，然后将石墨舟置于酸槽中；鼓泡酸洗：采用浓硝酸，30-50℃；石墨舟一共浸泡2-3h，每1h设定鼓泡20-30min；鼓泡水洗：2-3h，每h换水一次，清洗时鼓泡不断；抽风烘干：温度130-150℃，抽风，烘干时间8-20h；2)烘干后的石墨舟浸于真空状态下的硅熔液中，缓慢提升石墨舟离开液面，至石墨舟表面冷却到1300摄氏度，时间为30min-180min；3)石墨舟在惰性气体保护下冷却至室温，取出。本发明
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本发明公开了一种带抗氧化涂层管式PECVD石墨舟及制造方法，在石墨舟毛坯料中浸渍有树脂，石墨舟毛坯经过固化处理、加工、高温处理使树脂充分炭化，在石墨舟表面形成一层薄膜，包括以下步骤：先把石墨原材料放置在真空炉内高温纯化、形成石墨舟毛坯料；石墨舟毛坯料放入调配的树脂中浸渍；石墨舟毛坯料固化处理形成坯体；固化后的坯体加工成成品；加工完的成品高温处理，树脂炭化，在成品表面形成薄膜；本发明能够在石墨舟片表面形成一层均匀的抗氧化薄膜使用寿命长，大大降低了使用和维护成本，具有良好的经济效益和社会效益。
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