内容提供者
一种大尺寸硅片扩散工艺.pdf
2023-06-15
10金币
287KB
8页
小琛****82
实名认证
内容提供者
1/8
2/8
3/8
4/8
5/8
6/8
7/8
8/8
在线预览结束，喜欢就下载吧，查找使用更方便
相关资料
一种大尺寸硅片扩散工艺.pdf
本发明提供一种大尺寸硅片扩散工艺，将硅片放入扩散炉后，进行扩散，包括以下步骤，稳定硅片表面温度，减少硅片中心与边缘的温度差；制备氧化层，进行硅片表面氧化；低温恒定源扩散，进行硅片表面沉积磷源；高温推进，便于形成PN结；高温通源，进行扩散补源；二步推结，形成磷硅玻璃层；降温出炉。本发明的有益效果是具有稳定温度工序，减少硅片中心与边缘的温度差，再通入反应气体，使得硅片的均匀性更好。
2023-06-15
10
287KB
一种大尺寸硅片的切割方法.pdf
本发明属于太阳能技术领域，涉及一种大尺寸硅片的切割方法，它是将单晶圆棒去除头尾后，沿着单晶圆棒的轴心线方向将单晶圆棒切割成若干个立方体晶棒，每个立方体晶棒至少有两条边的边长与其他的立方体晶棒相同，之后将立方体晶棒沿那条与其他立方体晶棒的边长不同的边进行切片，切割成矩形硅片。本发明提供一种利用小炉型生产大尺寸硅片的方法，使得各种炉型都可以生产大硅片，尺寸灵活可调，并且提高了硅棒的硅料利用率。
2023-06-16
10
377KB
一种大尺寸硅片热氧工艺.pdf
本发明提供一种大尺寸硅片热氧工艺，包括以下步骤，在氧化炉待机时，设定炉口至炉尾的待机温度；进舟后，进行升温；进行稳定温度，便于硅片氧化；进行硅片氧化，形成氧化层；降温出炉。本发明的有益效果是应用于硅片的氧化时使用，对硅片进行氧化，减少硅片中心与边缘温差，改善氧化时温度差异，提高表面钝化效果，提高电池片转换效率。
2023-06-15
10
293KB
一种大尺寸超薄硅片的切割方法.pdf
本发明公开了一种大尺寸超薄硅片的切割方法,所用装置包括相互配合的导轮和切割钢线,具体步骤包括:将一副导轮分三段开槽,即将其长度均分为三份,从进线到出线方向依次分为L<base:Sub>1</base:Sub>、L<base:Sub>2</base:Sub>、L<base:Sub>3</base:Sub>三个区域;L<base:Sub>1</base:Sub>区域槽距根据目标片厚以及切割刚线的线径来决定;L<base:Sub>2</base:Sub>区域槽距等于L<base:Sub>1</base:Sub>
2023-06-06
10
293KB
一种大尺寸硅片金刚线切割液.pdf
本发明公开了一种大尺寸硅片金刚线切割液，所述金刚线切割液中各组分所占的质量份数为：表面活性剂20‑60份、渗透剂10‑40份、消泡剂0.5‑20份、增溶剂5‑30份、乳化剂3‑10份、分散剂0.1‑2份、余量为去离子水。本发明的优点在于：本发明提供的大尺寸硅片切割液具有优异的渗透、润滑、清洗作用，溶水后能形成稳定的水包油体系，高效的分散硅粉能力，可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集，防止形成粘附，堵塞管道并可降低切割液的使用量，并可有效降低硅片清洗和废水处理难度。
2023-11-07
10
372KB