一种大尺寸硅片金刚线切割液.pdf
一只****呀淑
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一种大尺寸硅片金刚线切割液.pdf
本发明公开了一种大尺寸硅片金刚线切割液,所述金刚线切割液中各组分所占的质量份数为:表面活性剂20‑60份、渗透剂10‑40份、消泡剂0.5‑20份、增溶剂5‑30份、乳化剂3‑10份、分散剂0.1‑2份、余量为去离子水。本发明的优点在于:本发明提供的大尺寸硅片切割液具有优异的渗透、润滑、清洗作用,溶水后能形成稳定的水包油体系,高效的分散硅粉能力,可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集,防止形成粘附,堵塞管道并可降低切割液的使用量,并可有效降低硅片清洗和废水处理难度。
一种金刚线切割大尺寸太阳能级硅片清洗剂及其制备方法.pdf
本发明公开了一种金刚线切割大尺寸太阳能级硅片清洗剂及其制备方法,该清洗剂包括以下按质量分数计的组分:天然产物提取醇聚氧乙烯醚类润湿剂4%‑12%、脂肪酸聚氧乙烯醚磺酸类分散剂3%‑7%、无机碱3%‑10%、无机碱增效剂3%‑5%、余量为去离子水。与现有技术相比,本发明金刚线切割大尺寸太阳能级硅片清洗剂生物降解能力优异;极易漂洗,不易残留;增强了硅片表面的硅粉清洗剥离能力,并能使清洗工序简便化;适合大尺寸硅片表面清洗。
一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液.pdf
本发明公开一种用于太阳能硅片加工的金刚线切割液,其特征在于:按质量百分比计,由以下组分组成:润湿剂10~80%、聚乙二醇1~10%、分散剂0.5~5%、螯合剂0.1~2%、防锈剂0.1~2%、杀菌剂0.1~2%、pH值稳定剂0.1~2%、消泡剂2~10%,余量为水。本发明的用于太阳能硅片加工的金刚线切割液能有效的使切割加工顺利进行,对金刚线、硅片润湿效果优异,有效的保护金刚线,适应硅片加工金刚线细化的技术改进,大幅降低单晶、多晶切割过程断线的几率,降低了金刚线使用量,同时提升了切割硅片的切割优良率。
金刚线切割硅片的方法.pdf
本发明涉及一种金刚线切割硅片的方法,包括以下步骤:将粘附有硅块的晶托安装于金刚线线网上方的工作台上;下压工作台,同时导轮带动金刚线运动,对硅块进行切割。技术效果:将往复运动过程中的金刚线的线速度和加速度进行了优化调整,能够减少金刚线的加减速次数,减少金刚线停滞带来的负荷增加,同时,为了保证加减速过程更加平缓,保证稳定性,适当地降低了加速度。通过优化金刚线的线速度和加速度,减少了金刚线的加工时间,从而减少了金刚线停留于硅块和导轮的时间,减少了金刚线在此过程中产生的磨损和形变。
一种金刚线切割硅片预处理设备.pdf
本发明公开了一种金刚线切割硅片预处理设备,包括腔体、一组或多组等离子发生器、传送系统以及废气排放系统;所述的等离子发生器安装在上腔体的上端面上并与腔体连通,所述的废气排放系统与腔体下端面相连并与腔体连通;所述传送系统穿过腔体左右两侧的开口并向两侧延伸;通过射频电源激发铜线圈,产生电磁震荡,刻蚀气体通过气管通入石英反应腔,混合后被射频电源激发为等离子体,当硅片从下方经过时对硅片表面进行刻蚀,在硅片表面留下均匀细小的缺陷,这些缺陷在制绒槽内背继续腐蚀放大为绒面结构,使得后期制绒效果好,可以减少或者替代制绒添加