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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113549488A(43)申请公布日2021.10.26(21)申请号202110888249.0C10N30/18(2006.01)(22)申请日2021.08.03(71)申请人江苏捷捷半导体新材料有限公司地址226200江苏省南通市启东市科技创业园兴龙路8号(72)发明人郭熹刘治洲王波(74)专利代理机构南通一恒专利商标代理事务所(普通合伙)32553代理人梁金娟(51)Int.Cl.C10M173/00(2006.01)C10N30/04(2006.01)C10N30/06(2006.01)C10N30/12(2006.01)C10N30/16(2006.01)权利要求书1页说明书7页(54)发明名称一种大尺寸硅片金刚线切割液(57)摘要本发明公开了一种大尺寸硅片金刚线切割液,所述金刚线切割液中各组分所占的质量份数为:表面活性剂20‑60份、渗透剂10‑40份、消泡剂0.5‑20份、增溶剂5‑30份、乳化剂3‑10份、分散剂0.1‑2份、余量为去离子水。本发明的优点在于:本发明提供的大尺寸硅片切割液具有优异的渗透、润滑、清洗作用,溶水后能形成稳定的水包油体系,高效的分散硅粉能力,可以避免硅粉切屑及有机残留物在设备内部的聚集,防止形成粘附,堵塞管道并可降低切割液的使用量,并可有效降低硅片清洗和废水处理难度。CN113549488ACN113549488A权利要求书1/1页1.一种大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于,所述大尺寸硅片金刚线切割液按照质量份数其组成为:表面活性剂20‑60份、渗透剂10‑40份、消泡剂0.5‑20份、增溶剂5‑30份、乳化剂3‑10份、分散剂0.1‑2份、余量为去离子水。2.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述表面活性剂为一元醇和/或多元醇聚醚;所述一元醇和/或多元醇聚醚为烷基酚聚氧乙烯聚氧丙烯醚、丙二醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙基聚氧乙烯聚氧丙烯醚、烯丙醇聚氧烷基醚、六碳至十二碳脂肪醇聚氧乙烯聚氧丙烯醚中的一种或多种复配物。3.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述渗透剂为异辛醇聚氧乙烯醚、异构十醇聚氧乙烯醚、异构十三醇聚氧乙烯醚、异辛醇聚氧乙烯醚磷酸酯、异构十醇聚氧乙烯醚磷酸酯、异构十三醇聚氧乙烯醚磷酸酯的一种或几种复配物。4.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述消泡剂为十二碳炔二醇聚醚、双子型有机硅聚醚、GP型甘油聚醚,GPE型聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚或GPES型硬脂酸酯聚氧乙烯聚氧丙烯甘油醚中的一种或几种。5.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述增溶剂为二元醇和/或多元醇;所述二元醇和/或多元醇为乙二醇、丙二醇、聚乙二醇、聚丙二醇、二乙二醇、异己二醇中的一种或几种复配物。6.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述乳化剂为脂肪醇聚氧乙烯缩合物和/或脂肪酸多元醇酯。7.根据权利要求6所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述脂肪醇聚氧乙烯缩合物为六碳至十五碳直链烷醇聚氧乙烯醚,脂肪酸多元醇酯为失水山梨醇单油酸酯、聚氧乙烯山梨醇酐单硬脂酸酯、单甘油脂肪酸甘油酯、蔗糖脂肪酸酯中的一种或几种复配物,所述蔗糖脂肪酸酯为蔗糖硬脂酸酯、油酸酯、异丁酸酯中的一种或多种复配物。8.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述分散剂为丙烯酸均聚物、膦酰基羧酸共聚物、萘磺酸盐甲醛缩合物、丙烯酸磺酸共聚物中的一种或多种复配物。9.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述硅片切割液还包括防锈剂,所述防锈剂为油酸三乙醇胺、磺化油、甲基苯并三氮唑或异丙基苯并三氮唑中的一种或几种,以所述硅片切割液的总质量为100份计,所述防锈剂的添加量为0.1‑5份。10.根据权利要求1所述的大尺寸硅片金刚线切割液,其特征在于:所述硅片切割液还包括杀菌剂,所述杀菌剂为季铵盐类、唑啉类杀菌剂、十二烷基三甲基氯化铵中的一种或多种复配物,以所述硅片切割液的总质量为100份计,所述杀菌剂的添加量0.01‑3份。2CN113549488A说明书1/7页一种大尺寸硅片金刚线切割液技术领域[0001]本发明涉及硅晶体切割技术领域,尤其涉及一种大尺寸硅片金刚线切割液。背景技术[0002]随着光伏产业的高速发展,太阳能发电成本已大幅下降。硅片作为光伏产业的基础材料,而切片加工是决定硅片品质主要工序,切片时产生的硅片应力、表层及亚表层损伤及崩边等缺陷会严重影响光伏电池的转换效率,而切割液的性能是影响硅片切割效率及质量的关键因素之一。[0003]为降低光伏发电成本,提高生产效率,硅片尺寸由166毫米边长逐步增长到182毫米、210