一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113122912A(43)申请公布日2021.07.16(21)申请号202110450411.0(22)申请日2021.04.25(71)申请人弘元新材料（包头）有限公司地址014030内蒙古自治区包头市青山区装备制造产业园区管委会A座516室(72)发明人杨昊余庆华牛立东黄怀玉(74)专利代理机构北京睿博行远知识产权代理有限公司11297代理人张燕平(51)Int.Cl.C30B15/20(2006.01)C30B15/00(2006.01)C30B15/32(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图8页(54)发明名称一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置(57)摘要本发明公开了一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置，涉及单晶炉配套装置技术领域。本发明包括放肩行程管，放肩行程管的顶端从一端到另一端依次固定连接有氩气注入管、放肩拉动输出结构和真空抽排导管，氩气注入管用于连接氩气注入泵，从而向放肩行程管内部注入氩气，真空抽排导管用于连接真空泵和机器泵。本发明通过放肩拉动输出结构的设计，使得装置便于完成对晶体放肩过程中进行全程自动化双重控量变速，从而达到稳定的放肩带动，进一步提高稳定性和放肩成活率，且通过晶体防脱定位结构的设计，使得装置便于完成对晶体的自动化夹紧，避免了晶体在放肩过程中产生脱落，提高成型稳定性，降低脱落带来的报废可能性。CN113122912ACN113122912A权利要求书1/2页1.一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置，包括放肩行程管(1)，其特征在于：所述放肩行程管(1)的顶端从一端到另一端依次固定连接有氩气注入管(2)、放肩拉动输出结构(4)和真空抽排导管(3)，所述氩气注入管(2)用于连接氩气注入泵，从而向放肩行程管(1)内部注入氩气，所述真空抽排导管(3)用于连接真空泵和机器泵，进行放肩行程管(1)内部的空气抽排，从而配合氩气注入管(2)形成在放肩行程管(1)内部的气压调节，所述放肩拉动输出结构(4)用于对晶体进行放肩的自动变速控制带动，所述放肩拉动输出结构(4)的底端固定连接有晶体防脱定位结构(5)，所述晶体防脱定位结构(5)用于对晶体进行自动化防脱夹紧。2.根据权利要求1所述的一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置，其特征在于：所述放肩拉动输出结构(4)包括放肩动导输出结构和放肩伸缩结构，所述放肩动导输出结构的底端固定连接有放肩伸缩结构。3.根据权利要求2所述的一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置，其特征在于：所述放肩动导输出结构包括内装搭载箱(6)、第一电机(7)、输出轴杆(8)、低速带动轮(9)、高速带动轮(10)、基速带动轮(11)和拉动输出同心轴杆结构(12)，所述内装搭载箱(6)的顶端通过螺钉固定连接有第一电机(7)，所述第一电机(7)的输出端固定连接有输出轴杆(8)，所述输出轴杆(8)与内装搭载箱(6)通过滚子轴承连接，所述输出轴杆(8)的外侧从上到下依次固定连接有低速带动轮(9)、高速带动轮(10)和基速带动轮(11)，所述内装搭载箱(6)的顶端固定连接有拉动输出同心轴杆结构(12)，所述低速带动轮(9)的直径为三十五厘米，所述高速带动轮(10)的直径为五十五厘米，所述基速带动轮(11)的直径为四十五厘米。4.根据权利要求3所述的一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置，其特征在于：所述放肩动导输出结构还包括低速从动轮(13)、高速从动轮(14)、基速从动轮(15)和终端输出齿轮轴(16)，所述拉动输出同心轴杆结构(12)的底端的外侧从上到下依次固定连接有低速从动轮(13)、高速从动轮(14)和基速从动轮(15)，所述低速从动轮(13)的直径为五十五厘米，所述高速从动轮(14)的直径为三十五厘米，所述基速从动轮(15)的直径为四十五厘米，所述基速从动轮(15)与基速带动轮(11)啮合连接，所述拉动输出同心轴杆结构(12)底端的一侧啮合连接有终端输出齿轮轴(16)，所述终端输出齿轮轴(16)的顶端与内装搭载箱(6)转动连接。5.根据权利要求4所述的一种大尺寸硅单晶变炉压改善放肩成活率装置，其特征在于：所述拉动输出同心轴杆结构(12)包括L型定位搭载板(17)、液压活塞缸(18)、第一轴承(19)、同心轴杆主体(20)、外装卡环(21)、第二轴承(22)、预留行程杆(23)和动导接触齿轮(24),所述L型定位搭载板(17)的顶端通过螺钉固定连接有液压活塞缸(18)，所述液压活塞缸(18)的输出端的内侧转动连接有第一轴承(19)，所述第一轴承(19)的内侧卡接有同心轴杆主体(20)，所述同心轴杆主体(20)的外侧焊接有外装卡环(21)，所述外装卡环(21)的外侧活动卡接有第二轴承(22)，