一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111235627A(43)申请公布日2020.06.05(21)申请号201911366410.7(22)申请日2019.12.26(71)申请人南京晶能半导体科技有限公司地址210046江苏省南京市经济技术开发区兴智路6号兴智科技园(72)发明人吴春生罗汉昌朱其欢(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)32204代理人张弛(51)Int.Cl.C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图1页(54)发明名称一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉(57)摘要本发明公开了一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉，调节装置包括基座、被连接件，还包括具有通孔的调节螺钉、安装在调节螺钉上方的调节拨叉、锁紧垫片及锁紧螺钉；通过锁紧垫片及锁紧螺钉将被连接件与基座进行连接及锁紧，达到自锁防松的目的，避免以后因机械振动等原因影响设备的水平度；硅单晶炉的四个角分别采用此水平调节机构，通过对四个边角水平高度的微调，实现最终各个部件及设备整体的调平。CN111235627ACN111235627A权利要求书1/1页1.一种硅单晶炉水平调节装置，包括基座、被连接件，其特征在于，还包括具有通孔的调节螺钉、安装在调节螺钉上方的调节拨叉、锁紧垫片及锁紧螺钉；所述被连接件设有供调节螺钉自上而下穿过的螺纹孔，调节螺钉具有与该螺纹孔配合的外螺纹，调节螺钉穿过被连接件且调节螺钉的底部抵靠基座上表面；所述调节拨叉的下端与调节螺钉固定而上端具有位于螺纹孔上方的螺帽，调节拨叉具有自上而下贯穿的通孔，且该调节拨叉的通孔与调节螺钉的通孔连通，锁紧垫片位于螺帽上，锁紧螺钉自上而下穿过调节拨叉的通孔与调节螺钉的通孔，基座上具有与锁紧螺钉底部配合的内螺纹孔。2.根据权利要求1所述的硅单晶炉水平调节装置，其特征在于：所述调节螺钉的外螺纹与螺纹孔的螺纹均为细牙螺纹。3.根据权利要求1或2所述的硅单晶炉水平调节装置，其特征在于：所述调节螺钉侧壁的上表面向下延伸有齿形槽，调节拨叉设有插入该齿形槽内的凸块。4.根据权利要求3所述的硅单晶炉水平调节装置，其特征在于：调节拨叉中部具有抵靠在连接件上表面的台阶部。5.根据权利要求1所述的硅单晶炉水平调节装置，其特征在于：还包括水平仪，该水平仪放置在被连接件的上表面。6.一种具有如权利要求1至5中任一项所述硅单晶炉水平调节装置的硅单晶炉，其特征在于：包含四个硅单晶炉水平调节装置，该四个硅单晶炉水平调节装置分别位于硅单晶炉需要被调平部件的四个边角；被连接件即为被调平部件的组成部分。2CN111235627A说明书1/3页一种硅单晶炉水平调节装置及硅单晶炉技术领域[0001]本发明属于硅晶体材料生长炉技术领域。背景技术[0002]单晶硅是具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导体材料，纯度可达到99.9999999％以上，可以用于二极管级、整流器件级、电路级以及太阳能电池级单晶产品的生产和深加工制造，其后续产品集成电路和半导体分离器件已广泛应用于各个领域处于新材料发展的前沿。[0003]半导体级硅单晶炉是单晶硅产业链中重要的晶体生长设备，目前，世界上用于硅单晶体生长的主流方法主要有两种：一种是区熔法，另一种是直拉法，其中直拉法具有生长单晶质量大、直径大、成本低廉、生产效率高等优点，一直是半导体硅衬底制备的主要手段。[0004]单晶炉在使用过程中，为保证生产出的晶棒的质量，应当保证单晶炉各个部件安装的水平精度。但是单晶炉在使用一段时间后由于机械振动，导致单晶炉安装的水平精度失准，造成晶棒质量降低。[0005]通常情况下，一般设备，尤其是硅单晶炉设备，在基础安装之后需进行找正、找平。若单晶炉设备的水平度调整无法满足工况要求，将使设备受力不均，导致设备在运行时产生位移现象，大大降低了设备日后运作的安全性。同时影响设备运行精度，进一步地影响晶体生长的品质。现阶段单晶炉设备采用的水平调节机构大多仅有调节功能，无将被调节零件及基体零件进行连接及固定功能，或无自锁功能。设备使用一段时间后，由于机械振动等原因造成水平调节机构松动，从而影响单晶炉的水平度以及运行能力。发明内容[0006]发明目的：本发明提供一种硅单晶炉水平调节装置，用以解决如何实现硅单晶炉需要被调平部分与调平装置连接及固定功能。[0007]技术方案：为达到上述目的，本发明可采用如下技术方案：[0008]一种硅单晶炉水平调节装置，包括基座、被连接件，还包括具有通孔的调节螺钉、安装在调节螺钉上方的调节拨叉、锁紧垫片及锁紧螺钉；所述被连接件设有供调节螺钉自上而下穿过的螺纹孔，调节螺钉具有与该螺纹孔配合的外螺纹，调节螺钉穿过被连接件且调节螺钉的底部抵靠基座上表面；所述