一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉.pdf
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一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统及长晶炉.pdf
本发明公开了一种旋转碳化硅长晶炉感应加热系统,包括螺旋形的感应线圈、承载感应线圈的底座。所述底座包括旋转固定座及覆盖于旋转固定座上的旋转支座;所述感应线圈安装在旋转支座上,旋转支座旋转带动感应线圈沿感应线圈的中轴线旋转;通过调控感应线圈的旋转周期和旋转角度来控制感应线圈的磁场分布,从而调整温度场的分布。
长晶炉校验系统和长晶炉校验方法.pdf
本发明提供了一种长晶炉校验系统和一种利用所述校验系统的长晶炉校验方法。所述校验系统包括设置于基座上表面中心点的第一激光源以及水平设置于基座上方的半透明挡板,打开第一激光源且令基座绕旋转轴旋转,通过第一激在半透明挡板上形成的第一光斑的运动轨迹来调整基座的水平程度。所述校验系统还可用于校验基座与籽晶夹头的同心程度,设置于籽晶夹头上的第二激光源在半透明挡板上形成第二光斑,通过第一光斑和第二光斑的重合程度调整基座与籽晶夹头的同心程度。本发明的长晶炉校验方法利用上述校验系统,由于激光束的位置和运动轨迹较容易分辨,因
长晶炉进气结构及长晶炉.pdf
本发明涉及晶体生长设备领域,公开了一种长晶炉进气结构及长晶炉,所述长晶炉进气结构包括炉体和端盖,炉体设有具有开口的反应腔体,端盖用于封闭开口,端盖设有测温通道,测温通道的一端与反应腔体连通,另一端设有测温窗,测温通道的通道壁设有用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口。通过上述技术方案,在端盖的测温通道设置用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口,第二进气口的进气从测温通道进入反应腔体,在流动过程中能够将已经进入测温通道的挥发物吹回至反应腔体内,并同时能够阻挡反应腔体内的挥发物进入测温通道,从而避免挥发物
长晶炉内监测方法及长晶炉.pdf
本发明提供一种长晶炉内监测方法及长晶炉,该方法包括:接收影像设备在各窗口第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据;第一图像数据为单晶硅棒的图像数据;第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据;第三图像数据为坩埚的图像数据;接收尺寸测量设备在各窗口采集的尺寸数据;尺寸数据包括:单晶硅棒的直径数据;接收位移采集设备采集的拉晶线的位移数据;接收环境监测设备在各窗口采集的环境信息;根据第一图像数据、单晶硅棒的直径数据和位移数据生成单晶硅棒的三维图像;按照三维图像上的各坐标点与环境信息的映射关系,存放各坐标点对应的环境信息
长晶炉及长晶炉热场的控制方法.pdf
本发明公开了一种长晶炉,包括:炉体;位于所述炉体内的加热器,以及位于所述加热器热场内的坩埚,所述加热器包括上加热器和侧边加热器,所述上加热器位于所述坩埚的顶端,所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周,所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。本发明还公开了一种长晶炉热场的控制方法。本发明通过调整上加热器和/或侧边加热器的电阻,以满足上加热器的总功率大于侧边加热器的总功率,最终达到多晶炉铸碇工艺提升所需的相对温差。因此,在熔化及长晶步骤时,上部相对热,侧边相对冷的情况下来降低坩埚本身杂质进入硅液或硅碇的浓