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长晶炉进气结构及长晶炉.pdf
2023-06-15
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书生****aa
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长晶炉进气结构及长晶炉.pdf
本发明涉及晶体生长设备领域，公开了一种长晶炉进气结构及长晶炉，所述长晶炉进气结构包括炉体和端盖，炉体设有具有开口的反应腔体，端盖用于封闭开口，端盖设有测温通道，测温通道的一端与反应腔体连通，另一端设有测温窗，测温通道的通道壁设有用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口。通过上述技术方案，在端盖的测温通道设置用于向测温通道内部通入吹扫气的第二进气口，第二进气口的进气从测温通道进入反应腔体，在流动过程中能够将已经进入测温通道的挥发物吹回至反应腔体内，并同时能够阻挡反应腔体内的挥发物进入测温通道，从而避免挥发物
2023-06-15
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长晶炉内监测方法及长晶炉.pdf
本发明提供一种长晶炉内监测方法及长晶炉，该方法包括：接收影像设备在各窗口第一图像数据、第二图像数据和第三图像数据；第一图像数据为单晶硅棒的图像数据；第二图像数据为熔融多晶硅的图像数据；第三图像数据为坩埚的图像数据；接收尺寸测量设备在各窗口采集的尺寸数据；尺寸数据包括：单晶硅棒的直径数据；接收位移采集设备采集的拉晶线的位移数据；接收环境监测设备在各窗口采集的环境信息；根据第一图像数据、单晶硅棒的直径数据和位移数据生成单晶硅棒的三维图像；按照三维图像上的各坐标点与环境信息的映射关系，存放各坐标点对应的环境信息
2023-06-17
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长晶炉及长晶炉热场的控制方法.pdf
本发明公开了一种长晶炉，包括：炉体；位于所述炉体内的加热器，以及位于所述加热器热场内的坩埚，所述加热器包括上加热器和侧边加热器，所述上加热器位于所述坩埚的顶端，所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周，所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。本发明还公开了一种长晶炉热场的控制方法。本发明通过调整上加热器和/或侧边加热器的电阻，以满足上加热器的总功率大于侧边加热器的总功率，最终达到多晶炉铸碇工艺提升所需的相对温差。因此，在熔化及长晶步骤时，上部相对热，侧边相对冷的情况下来降低坩埚本身杂质进入硅液或硅碇的浓
2023-06-19
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长晶炉.pdf
一种长晶炉，所述长晶炉的炉腔内具有位于坩埚上方的入气通道，上排气件具有相连通的流道及出气口，流道具有开放侧围绕入气通道，导流件与上排气件连接且设置于流道的开放侧，导流件上具有第一入气孔及至少两个第二入气孔，第一入气孔设置于远离出气口的一侧，一纵向参考面通过第一入气孔及出气口，导流件能以纵向参考面而区分为第一段及第二段，至少两个第二入气孔分别设置于第一段及第二段上，且第一入气孔的开口面积大于至少两个第二入气孔的开口面积；通过抽气装置将炉腔中的气体经导流件抽至上排气件的流道后排出炉腔。
2023-06-15
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长晶炉.pdf
本发明的目的在于提出一种长晶炉，长晶炉包括坩埚，坩埚用于承载硅液，漏硅检测装置，漏硅检测装置设置在坩埚下方，漏硅检测装置包括：检测线，检测线为导电金属丝，检测线设置在坩埚正下方投影区域，并在坩埚的投影区域进行排布；检测单元，检测单元与检测线的入线端和出线端相连接，用于检测检测线的电性能参数值。通过在坩埚正下方投影区域设置漏硅检测装置，当硅液从坩埚中漏出，会直接滴落在检测线上，检测单元感知到检测线的电性能参数的变化，及时反馈给长晶炉，从而使得漏硅被实时监控，进而避免危险的发生。
2023-06-15
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