一种叠舟装置、包含其的立式炉及石英舟搬运控制方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114999974A(43)申请公布日2022.09.02(21)申请号202210720386.8(22)申请日2022.06.23(71)申请人湖南红太阳光电科技有限公司地址410205湖南省长沙市高新开发区桐梓坡西路586号(72)发明人吴志明李祥辉赵志然(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008专利代理师覃族(51)Int.Cl.H01L21/673(2006.01)H01L21/677(2006.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图10页(54)发明名称一种叠舟装置、包含其的立式炉及石英舟搬运控制方法(57)摘要本发明公开了一种立式炉的叠舟装置，包括：安装底板、隔热挡板、抓手组件和驱动组件；所述安装底板设置在隔热挡板顶部，用于实现叠舟装置安装固定；所述隔热挡板内部设有驱动组件，两组所述抓手组件对称安装在隔热挡板侧部，且驱动组件与抓手组件传动连接，在驱动组件的驱动下，两组抓手组件相互靠近或相互远离，以实现夹持堆叠石英舟或松开石英舟。本发明还公开了包含上述叠舟装置的立式炉以及石英舟搬运控制方法。本发明具有结构紧凑、操作简单、运行可靠等优点，通过叠舟装置的设计，在增加产能的情况下，只需增加恒温区和石英舟放置区的长度，减少了石英舟的取放空间，降低了设备整体的高度，节省了生产成本。CN114999974ACN114999974A权利要求书1/2页1.一种叠舟装置，其特征在于，包括：安装底板(101)、隔热挡板(111)、抓手组件和驱动组件；所述安装底板(101)设置在隔热挡板(111)顶部，用于实现叠舟装置安装固定；所述隔热挡板(111)内部设有驱动组件，两组所述抓手组件对称安装在隔热挡板(111)侧部，且驱动组件与抓手组件传动连接，在驱动组件的驱动下，两组抓手组件相互靠近或相互远离，以实现夹持堆叠石英舟(400)或松开石英舟(400)。2.根据权利要求1所述的叠舟装置，其特征在于，所述抓手组件包括：抓手关节板(103)、第一限位块(105)、第二限位块(106)、第三限位块(107)、承载板(109)和旋转板(110)；所述抓手关节板(103)与驱动组件传动连接，所述旋转板(110)的一端与抓手关节板(103)连接，旋转板(110)的另一端安装有承载板(109)，所述承载板(109)上安装有第一限位块(105)、第二限位块(106)和第三限位块(107)，所述第一限位块(105)、第二限位块(106)和第三限位块(107)围合成限位凹槽；在驱动组件的驱动下，抓手关节板(103)带动旋转板(110)移动，以实现限位凹槽夹持堆叠石英舟(400)或松开石英舟(400)。3.根据权利要求2所述的叠舟装置，其特征在于，所述抓手组件还包括旋转轴(104)和第四限位块(108)；所述旋转板(110)的端部通过旋转轴(104)与抓手关节板(103)转动连接；所述第四限位块(108)设置于抓手关节板(103)底部，用于限制旋转板(110)的转动。4.根据权利要求3所述的叠舟装置，其特征在于，所述驱动组件包括：导轨安装板(102)、导轨(121)、抓手连接板(122)和驱动元件(123)；所述导轨安装板(102)设置在隔热挡板(111)侧部，所述导轨(121)安装在导轨安装板(102)上，所述抓手连接板(122)滑动安装在导轨(121)上，且抓手连接板(122)的一端与抓手关节板(103)连接，抓手连接板(122)的另一端与驱动元件(123)的输出端连接；在驱动元件(123)的驱动下，抓手关节板(103)在导轨(121)上往复移动，以带动旋转板(110)移动，实现限位凹槽夹持堆叠石英舟(400)或松开石英舟(400)。5.根据权利要求4所述的立式炉的叠舟装置，其特征在于，所述抓手连接板(122)底部安装有开关支架(120)。6.根据权利要求1至5中任意一项所述的立式炉的叠舟装置，其特征在于，还包括电磁阀安装板(115)和固定板(119)，所述固定板(119)安装在隔热挡板(111)上，固定板(119)底部安装有电磁阀安装板(115)，电磁阀安装板(115)上安装有电磁阀(114)和端子排(116)，所述电磁阀(114)用于控制驱动元件(123)的启闭。7.根据权利要求6所述的立式炉的叠舟装置，其特征在于，所述固定板(119)顶部安装有支撑侧板(112)和第一调节块(113)，固定板(119)两侧部均安装有第二调节块(118)；所述第一调节块(113)和第二调节块(118)用于调整叠舟装置(100)与石英舟(400)对中。8.一种立式炉，其特征在于，包括：下柜体(200)、炉门组件(300)、反应腔室(500)、机械手(600)以及