晶圆舟操作装置、立式分批炉和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111952227A(43)申请公布日2020.11.17(21)申请号202010398045.4(22)申请日2020.05.12(30)优先权数据62/848,7582019.05.16US(71)申请人ASMIP控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒(72)发明人C·G·M·德里德(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人丁晓峰(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/673(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图2页(54)发明名称晶圆舟操作装置、立式分批炉和方法(57)摘要晶圆舟操作装置，其配置成定位在立式分批炉的处理室下方。晶圆舟操作装置包括：主壳体，其具有限定并界定晶圆舟操作空间的壁；以及舟运输器，其包括用于支承晶圆舟并配置成将晶圆舟运输至晶圆舟操作空间内的冷却位置的晶圆舟支承件。壁邻近冷却位置的一部分是具有至少0.60的热辐射表面吸收率的壁部分，以便借助热辐射吸收从冷却位置中的晶圆舟吸取热量。CN111952227ACN111952227A权利要求书1/2页1.一种晶圆舟操作装置(10)，所述晶圆舟操作装置配置成定位在立式分批炉的处理室下方，其中，所述晶圆舟操作装置(10)包括：·主壳体(14)，所述主壳体具有限定并界定晶圆舟操作空间(18)的壁(16)；·舟运输器(20)，所述舟运输器包括用于支承晶圆舟(12)的至少一个晶圆舟支承件(22)，并且配置成将所述晶圆舟(12)运输到所述晶圆舟操作空间(18)内的冷却位置(24)；其中，所述壁邻近所述冷却位置(24)的一部分是具有至少0.6的热辐射表面吸收率的壁部分(26)，以便借助热辐射吸收从所述冷却位置(24)中的所述晶圆舟(12)吸取热量。2.根据权利要求1所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述壁部分(26)是金属壁部分。3.根据权利要求2所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述金属壁部分是阳极氧化铝壁部分。4.根据权利要求1所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述壁部分(26)包括涂覆的金属壁部分。5.根据前述权利要求中任一权利要求所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述壁部分(26)包括冷却通道(30)，所述冷却通道被构建并布置成在使用中具有行进通过其中的液体冷却剂，以冷却所述壁部分(26)。6.根据前述权利要求中任一权利要求所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述舟运输器(20)包括：·可旋转台(34)，所述可旋转台包括至少两个晶圆舟支承件(22)，其中，所述可旋转台(34)能在所述主壳体(14)内绕中心竖直轴线(36)旋转，从而能定位在多个旋转位置中；·竖直延伸的壁结构(38)，所述竖直延伸的壁结构安装在所述可旋转台(34)上，并且在每个晶圆舟支承件(22)处至少部分地界定对应的竖直延伸的晶圆舟室(40)；其中，对于每个晶圆舟室，所述可旋转台(34)包括旋转位置，在所述旋转位置中，所述晶圆舟室和容纳在其中的晶圆舟处于所述冷却位置(24)。7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，还包括：·气体循环系统(42)，所述气体循环系统用于向所述晶圆舟操作空间(18)供应气体并从所述晶圆舟操作空间(18)中抽取气体，以在所述晶圆舟操作装置(10)的所述主壳体(14)内创建微环境；其中，所述气体循环系统(42)包括气体循环系统热交换器(44)，用于冷却被供应至所述晶圆舟操作空间(18)的气体，以便通过对流而从处于所述冷却位置(24)中的所述晶圆舟(12)吸取热量。8.根据权利要求6和7的组合所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述气体循环系统(42)配置成至少将气体供应至处于所述冷却位置(24)中的所述晶圆舟室(40)。9.根据权利要求8所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述气体循环系统(42)包括：·每个晶圆舟室(40)中的气体供应区域(46)，所述气体供应区域包括分布在竖直延伸的壁结构(38)中的多个气体供应开口；·至少当所述晶圆舟室(40)处于所述冷却位置(24)中时每个晶圆舟室(40)中的气体排放区域(50)，其中，所述气体排放区域(50)包括多个气体排放开口；·入口导管(54)，所述入口导管与所述气体供应开口流体连通；2CN111952227A权利要求书2/2页·出口导管(56)，所述出口导管与所述气体排放开口流体连通；以及·再循环通道，所述再循环通道从所述出口导管(56)延伸至所述入口导管(54)，并且包括至少一个鼓风机。10.根据权利要求9所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，包括多个气体排放开口的所述气体排放区域(50)的至少一部分设置在热辐射面吸收率为至少0.6的所述壁部分