晶圆舟操作装置、立式分批炉和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111952228A(43)申请公布日2020.11.17(21)申请号202010398412.0(22)申请日2020.05.12(30)优先权数据62/848,7602019.05.16US(71)申请人ASMIP控股有限公司地址荷兰阿尔梅勒(72)发明人C·G·M·德里德T·G·M·奥斯特拉肯(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人丁晓峰(51)Int.Cl.H01L21/677(2006.01)H01L21/673(2006.01)H01L21/67(2006.01)权利要求书3页说明书7页附图5页(54)发明名称晶圆舟操作装置、立式分批炉和方法(57)摘要晶圆舟操作装置，配置成定位在立式分批炉的处理室下方，且包括可旋转台，该可旋转台包括第一和第二晶圆舟支承表面。每个晶圆舟支承表面配置成支承晶圆舟。可旋转台可通过致动器旋转以将第一和第二晶圆支承表面两者旋转至：装载/接收位置，其中，晶圆舟操作装置配置成将晶圆舟从可旋转台竖直地装载到处理室中并且将晶圆舟从处理室接收到可旋转台上；冷却位置，其中，晶圆舟操作装置配置成冷却晶圆舟；以及转移位置，用于将晶圆移至和/或移离晶圆舟。CN111952228ACN111952228A权利要求书1/3页1.一种晶圆舟操作装置(10)，所述晶圆舟操作装置配置成定位在立式分批炉的处理室(56)下方，其中，所述晶圆舟操作装置(10)包括：●可旋转台(16)，所述可旋转台仅具有第一晶圆舟支承表面(18)和第二晶圆舟支承表面(20)，每个晶圆舟支承表面配置成支承配置成容纳多个晶圆的晶圆舟(12、14)，其中，所述可旋转台(16)能通过致动器绕基本竖直的中心轴线(22)旋转，以将所述第一晶圆舟支承表面(18)和所述第二晶圆舟支承表面(20)旋转至：○装载/接收位置(24)，在所述装载/接收位置，所述晶圆舟操作装置(10)配置成将晶圆舟(12、14)从所述可旋转台竖直地装载到所述处理室(56)中，并且将所述晶圆舟(12、14)从所述处理室(56)接收到所述可旋转台(16)上；○冷却位置(26)，在所述冷却位置，所述晶圆舟操作装置(10)配置成冷却晶圆舟(12、14)；以及○转移位置(28)，在所述转移位置，所述晶圆舟操作装置(10)配置成允许晶圆移至和/或移离所述晶圆舟(12、14)。2.根据权利要求1所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述晶圆舟操作装置(10)配置成使得，当来自所述第一晶圆舟支承表面(18)的晶圆舟(12、14)已被装载至所述处理室(56)中时，所述可旋转台(16)的所述第二晶圆舟支承面(20)能通过所述致动器从所述冷却位置(26)旋转至所述转移位置(28)。3.根据权利要求1或2所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述可旋转台(16)将所述晶圆舟支承表面(18、20)从所述冷却位置(26)旋转至所述转移位置(28)的旋转角度足以防止热量从处于所述冷却位置(26)的晶圆舟(12、14)传递至所述晶圆舟操作装置(10)的周向壁(32)与所述转移位置(28)相邻的一部分，以至于保持所述周向壁(32)与所述转移位置(28)相邻的部分的温度低于70℃、优选低于50℃。4.根据权利要求1或2所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，使所述晶圆舟支承表面(18、20)从所述冷却位置(26)旋转至所述转移位置(28)的所述可旋转台(16)的旋转角度在1°至80°之间，优选地在40°至50°之间，更优选地大致为45°。5.根据前述权利要求中任一权利要求所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述晶圆舟操作装置(10)配置成使得当所述第一晶圆舟支承表面(18)处于所述装载/接收位置(24)时，所述第二晶圆舟支承表面(20)处于所述冷却位置(26)。6.根据权利要求5所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述晶圆操作装置配置有所述旋转台(16)，并且所述晶圆舟支承表面(18、20)能从所述装载/接收位置(24)至所述冷却位置(26)旋转通过在120°至240°之间、优选在170°至190°之间、更优选大致为180°的旋转角度。7.根据前述权利要求中任一权利要求所述的晶圆舟操作装置，其特征在于，所述晶圆舟操作装置(10)配置成随后：●将第一晶圆舟(12)从处于所述装载/接收位置(24)的所述第一晶圆舟支承表面(18)竖直地装载到所述处理室(56)中；●冷却处于所述冷却位置(26)的第二晶圆舟支承表面(20)上的第二晶圆舟(14)；●将所述可旋转台(16)旋转至所述第二晶圆舟支承表面(20)处于所述转移位置(28)的旋转位置；2CN111952228A权利要求书2/3页●将晶圆移至和/或移离所述第二晶圆舟(14)；●将所述可旋转