石英立式舟槽棒加工系统和方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110127995A(43)申请公布日2019.08.16(21)申请号201910518558.1(22)申请日2019.06.15(71)申请人上海强华实业股份有限公司地址201507上海市金山区漕泾镇亭卫公路3312号(72)发明人周文华姚禄辉(51)Int.Cl.C03B20/00(2006.01)C03B29/02(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称石英立式舟槽棒加工系统和方法(57)摘要一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端；机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。CN110127995ACN110127995A权利要求书1/1页1.一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端，机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。2.一种石英立式舟槽棒加工方法，采用如权利要求1所述的石英立式舟槽棒加工系统，其特征在于，所述加工方法包括：将石英火焰枪安装在机器人手臂的火焰枪卡爪上；调整石英火焰枪在自动机械手臂的角度；将石英槽棒放置在石英支撑架上；将石英槽棒的端面与石墨靠山的基准面完全贴合；石英火焰枪点火后，机器人手臂在预定的程序下做纵向、横向运动对槽棒以及槽齿内做火焰抛光处理。2CN110127995A说明书1/2页石英立式舟槽棒加工系统和方法技术领域[0001]本发明属于半导体加工技术领域，特别涉及一种石英立式舟槽棒加工系统和方法。背景技术[0002]随着集成电路制成要求的提高，对扩散工艺所使用的石英立式舟加工工艺要求也随之提高。在加工石英立式舟的槽齿时，需要进行火焰抛光处理。现有加工工艺是由人工用氢氧气火焰对立式舟槽棒，包括槽齿做火焰抛光处理，以达到表面光洁度的要求。这种工艺主要是人工调整火焰后对单独的石英槽棒槽齿内进行表面火焰抛光处理或槽棒整体组立后再对其槽齿内做火焰抛光处理。此工艺在不同人员操作下会存在火焰和操作手法上的差异，而导致直线度、型变量、热应力等技术参数的不稳定而最终影响产品质量。发明内容[0003]本发明提供一种石英立式舟槽棒加工系统，目的在于改善现有的石英立式舟槽棒抛光处理方法，提高加工质量。[0004]本发明实施例之一，一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：[0005]工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；[0006]多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；[0007]石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端，[0008]机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。[0009]本发明针对现有技术，在使用自动机械手臂的前提下，增加了工作转台、石墨靠山、石墨支撑架、氢氧气管道和火焰枪。在石英槽棒放置石墨支撑架上后并与石墨靠山靠紧，在自动机械手臂上的火焰枪点火后并在一定角度的控制范围内前提下，做预定动作，对石英槽棒槽齿内做火焰抛光处理。附图说明[0010]通过参考附图阅读下文的详细描述，本发明示例性实施方式的上述以及其他目的、特征和优点将变得易于理解。在附图中，以示例性而非限制性的方式示出了本发明的若干实施方式，其中：[0011]图1根据本发明实施例之一的石英立式舟槽棒加工系统示意图。[0012]1——工作平台，2——石墨靠山，3——石英槽棒，4——石英支撑架，5——机器人手臂，6——火焰枪卡爪。3CN110127995A说明书2/2页具体实施方式[0013]根据一个或者多个实施例，如图1所示，一种石英立式舟槽棒加工系统，该系统包括：工作平台，石墨靠山、石英支撑架和石英槽棒被放置在工作平台上；多个石英支撑架，被排列放置在工作平台上，用于支撑放置石英槽棒；石墨靠山，在石英槽棒被放置在石英支撑架上之后，石墨靠山用于顶靠石英槽棒的一端；机器人手臂，在机器人手臂的前端设有火焰枪卡爪，火焰枪卡爪用于卡住火焰枪的喷管。[0014]石英立式舟槽棒抛光加工方法包括：[0015]选择合适的石英火焰枪，将石英火焰枪和氢氧气管道装在自动机械手臂的卡爪上并调整角度。将槽棒放置在石墨支撑架上，槽棒端面与石墨靠山基准面完全贴合。将石英火焰枪点火后，自动机械手