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一种硼扩散反应系统及其工艺方法.pdf
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一种硼扩散反应系统及其工艺方法.pdf
本发明提供一种硼扩散反应系统及其工艺方法，硼扩散反应系统的原料管路与进气管路相连接，通过进气管路向反应炉管内输送原料气体；抽气管设置在反应炉管的炉尾处，抽气管位于反应炉管的管轴线位置；进气管路包括第一进气管路和第二进气管路，第一进气管路和第二进气管路的出气口位于炉口处，且第一进气管路和第二进气管路的出气口在反应炉管的竖直方向中分面内上下对称分布。本发明的供气系统结合工艺方法，通过优化硼源管道设置和工艺步骤，通过多次吹扫步骤，尤其是有氧推进后回压前具有吹扫步骤，减少粘附在反应室内壁上酸性气体，降低酸性气体对
2023-06-15
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