一种硼扩散炉的炉门系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113008037A(43)申请公布日2021.06.22(21)申请号201911326743.7H01L31/18(2006.01)(22)申请日2019.12.20(71)申请人中国电子科技集团公司第四十八研究所地址410111湖南省长沙市天心区新开铺路1025号(72)发明人赵志然郭立姬常晓陈勇平黄志海闫海莲(74)专利代理机构湖南兆弘专利事务所(普通合伙)43008代理人徐好(51)Int.Cl.F27D1/18(2006.01)F27D7/02(2006.01)F27D25/00(2010.01)权利要求书1页说明书3页附图4页(54)发明名称一种硼扩散炉的炉门系统(57)摘要本发明公开了一种硼扩散炉的炉门系统，包括炉门，所述炉门内侧设有延伸至炉管内的凸部，所述凸部内设有缓冲腔室，所述缓冲腔室侧壁上沿圆周方向设有多个出气孔，所述炉门外侧设有保护气体支路和清洗气体支路，所述保护气体支路和清洗气体支路均与所述缓冲腔室连通。本发明具有结构简单，有利于减少对炉门系统和炉管的腐蚀，提高设备稳定性和使用寿命等优点。CN113008037ACN113008037A权利要求书1/1页1.一种硼扩散炉的炉门系统，包括炉门(2)，其特征在于：所述炉门(2)内侧设有延伸至炉管(1)内的凸部(21)，所述凸部(21)内设有缓冲腔室(22)，所述缓冲腔室(22)侧壁上沿圆周方向设有多个出气孔(23)，所述炉门(2)外侧设有保护气体支路(3)和清洗气体支路(4)，所述保护气体支路(3)和清洗气体支路(4)均与所述缓冲腔室(22)连通。2.根据权利要求1所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：所述炉管(1)内壁设有台阶部(11)，所述台阶部(11)位于所述出气孔(23)的外周，且台阶部(11)远离所述炉门(2)的一侧为倾斜面。3.根据权利要求1或2所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：所述炉门(2)中部设有进气接头(24)，多个所述出气孔(23)沿圆周方向均匀布置。4.根据权利要求3所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：所述保护气体支路(3)上设有第一开关阀(51)、进气端连接有气体流量计(5)且出气端与所述进气接头(24)相连，所述清洗气体支路(4)包括进气管(41)、补水罐(42)、出气管(43)以及设于进气管(41)上的第二开关阀(44)，所述进气管(41)的进气端连接所述气体流量计(5)且出气端伸入所述补水罐(42)的液面下，所述出气管(43)的进气端位于补水罐(42)的液面上且出气端与所述进气接头(24)相连。5.根据权利要求1或2所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：还包括炉门支撑组件(6)，所述炉门(2)外侧固设有炉门夹持柄(25)，所述炉门夹持柄(25)与所述炉门支撑组件(6)通过一销轴(61)固定连接。6.根据权利要求5所述的硼扩散炉的炉门系统，其特征在于：所述炉门支撑组件(6)包括支撑柄(62)及设于支撑柄(62)的安装座(63)，所述安装座(63)上设有凹槽，所述凹槽内设有一对可拆卸的夹持块(64)，一对所述夹持块(64)可拆卸连接，所述保护气体支路(3)和清洗气体支路(4)贯穿一对所述夹持块(64)，所述炉门夹持柄(25)与所述安装座(63)通过所述销轴(61)固定连接。2CN113008037A说明书1/3页一种硼扩散炉的炉门系统技术领域[0001]本发明涉及晶体硅太阳能电池生产设备，尤其涉及一种硼扩散炉的炉门系统。背景技术[0002]太阳能电池是通过光电效应直接把光能转化成电能的装置，常规太阳能电池主要工艺流程包括制绒、扩散、湿法刻蚀、减反射膜的沉积、丝网印刷和烧结。由于基体衬底掺杂不同分为P型太阳能电池和N型太阳能电池。由N型半导体硅片(基体)制作的太阳能电池称为N型太阳能电池，要形成PN结，扩散源通常使用液态的三溴化硼中的硼，扩散至硅片内部形成P型半导体。[0003]太阳能电池硼扩散(也即三溴化硼液态源管式扩散)工艺过程中，会产生副产物BSG(硼硅玻璃)，BSG会附着在石英炉管、石英炉门和石英舟表面，从而影响扩散效果。而且BSG积累到一定程度，在高温扩散过程中变成液态，流动到炉门位置，工艺结束后降温至800℃左右时，还会凝固成固体将炉管和炉门粘连在一起，致使石英器件损坏。发明内容[0004]本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单，有利于减少对炉门系统和炉管的腐蚀，提高设备稳定性的硼扩散炉的炉门系统。[0005]为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：[0006]一种硼扩散炉的炉门系统，包括炉门，所述炉门内侧设有延伸至炉管内的凸部，所述凸部内设有缓冲腔室，所述缓冲腔室侧壁上沿圆周方向设有多个出气孔，所述炉门外侧设有