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一种单晶炉用组合式抽真空系统.pdf
2023-06-15
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努力****恨风
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一种单晶炉用组合式抽真空系统.pdf
一种单晶炉用组合式抽真空系统，包括抽真空管路、至少两组真空泵组、多个多级罗茨真空泵，所述抽真空管路上设置真空缓冲腔，多个多级罗茨真空泵的排气口并联在抽真空管路上，位于真空缓冲腔的上游，各多级罗茨真空泵的进气口分别用于与对应的单晶炉相连，所述真空泵组由罗茨泵和前级泵串联构成，且罗茨泵设置在前级泵的上游，至少两组真空泵组的进气口并联在抽真空管路上，位于真空缓冲腔的下游，各真空泵组和抽真空管路之间分别设有第一切断阀。本发明运行成本低、可靠性高，可有效避免单晶炉内物料报废。
2023-06-15
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一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统.pdf
本申请公开了一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统，涉及光伏技术领域，所述抽真空设备用于与真空泵配合实现单晶炉加料时的抽真空；所述单晶炉包括单晶炉本体，所述抽真空设备设于所述单晶炉本体外部；所述抽真空设备包括抽空管路和抽空装置，所述抽空管路具有第一连通状态和第二连通状态，所述单晶炉具有第一加料状态和第二加料状态；当所述单晶炉处于第一加料状态时，所述抽空管路处于第一连通状态；当所述单晶炉处于第二加料状态时，所述抽空管路处于第二连通状态。用于提高加料时的抽空效率，减少工时的浪费。
2023-06-15
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一种单晶炉的两级抽真空系统.pdf
本发明公开了一种单晶炉的两级抽真空系统，其包括炉体、一级泵以及二级泵，炉体上设置有出气口，一级泵的吸气端和出气口之间连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管，主阀为三通阀，二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通，二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通，二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。本发明能够对单晶炉进行两级抽真空，给单晶炉提供10
2023-06-16
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2023-06-15
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