一种单晶炉真空检测系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113957517A(43)申请公布日2022.01.21(21)申请号202111094780.7(22)申请日2021.09.17(71)申请人魏波地址409604重庆市彭水苗族土家族自治县龙射镇白果村1组(72)发明人魏波(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B15/20(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称一种单晶炉真空检测系统(57)摘要本发明属于单晶炉技术领域，尤其是一种单晶炉真空检测系统，现提出以下方案，包括固定筒，所述固定筒水平放置，所述固定筒圆周外壁的底端连接有连接管，所述固定筒圆周外壁的一侧连接有抽气管，所述固定筒两端内壁之间的中间位置转动连接有水平放置的安装筒，且安装筒的一端传动连接有驱动电机，所述固定筒远离驱动电机的一端与安装筒中心对应的位置固定有真空度检测仪，且真空度检测仪的探针伸入至安装筒内。本发明利用挡板分别封堵抽气管和连接管，从而区分炉体和真空管道的真空变化情况而有效判别漏气情况，减少真空度检测仪的使用个数，且提高实际对单晶炉真空检测的使用效果和有效性。CN113957517ACN113957517A权利要求书1/2页1.一种单晶炉真空检测系统，包括固定筒(1)，其特征在于，所述固定筒(1)水平放置，所述固定筒(1)圆周外壁的底端连接有连接管(2)，所述固定筒(1)圆周外壁的一侧连接有抽气管(3)，所述固定筒(1)两端内壁之间的中间位置转动连接有水平放置的安装筒(4)，且安装筒(4)的一端传动连接有驱动电机，所述固定筒(1)远离驱动电机的一端与安装筒(4)中心对应的位置固定有真空度检测仪(5)，且真空度检测仪(5)的探针伸入至安装筒(4)内，所述安装筒(4)圆周外壁的一侧固定有连接板(6)，且连接板(6)远离安装筒(4)的一端固定有弧形结构的挡板(7)，挡板(7)的外壁与固定筒(1)的内壁滑动连接，所述安装筒(4)圆周外壁远离连接板(6)的一侧固定有滤网座(8)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉真空检测系统，其特征在于，所述固定筒(1)的两端开口设置，且固定筒(1)的两端均可拆卸连接有密封盖板(9)，固定筒(1)圆周内壁底部靠近抽气管(3)的一侧固定有限位框(10)，挡板(7)的外壁与限位框(10)的内壁滑动连接，滤网座(8)远离安装筒(4)的一端固定有弧形结构的滑动板(11)，滑动板(11)的外壁与固定筒(1)的内壁滑动连接。3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉真空检测系统，其特征在于，所述安装筒(4)靠近滤网座(8)的一侧设置成固定网板(15)，且滤网座(8)固定于固定网板(15)的中间位置，安装筒(4)圆周内壁的两侧之间固定有弧形结构的导流板(18)，导流板(18)的中间位置向着靠近滤网座(8)的一侧拱起，导流板(18)位于真空度检测仪(5)的探针靠近滤网座(8)的一侧，安装筒(4)远离固定网板(15)的一侧设置成连接网板(19)，连接网板(19)位于连接板(6)靠近抽气管(3)的一侧。4.根据权利要求3所述的一种单晶炉真空检测系统，其特征在于，所述滤网座(8)设置有穿透固定于固定网板(15)的第一滤网板(12)和第二滤网板(13)，且第一滤网板(12)和第二滤网板(13)之间构成有连接腔(14)，固定网板(15)外壁与连接腔(14)对应的位置开设有水平方向等距离分布的连接孔(16)，第二滤网板(13)位于靠近连接网板(19)的一侧，第二滤网板(13)网孔的孔径小于第一滤网板(12)网孔的孔径。5.根据权利要求4所述的一种单晶炉真空检测系统，其特征在于，所述连接腔(14)的两侧内壁之间固定有等距离分布的隔板(17)，且隔板(17)的截面设置成V型结构，隔板(17)的中间位置向着靠近安装筒(4)弯折。6.根据权利要求5所述的一种单晶炉真空检测系统，其特征在于，所述导流板(18)靠近滤网座(8)的一侧开设有等距离分布的导流槽(1801)，且导流槽(1801)设置成类孔状结构，导流槽(1801)的内径向内逐渐收缩。7.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉真空检测系统，其特征在于，所述固定筒(1)两端内壁之间的两侧均固定有连接筒(20)，且靠近抽气管(3)一侧的连接筒(20)设置于抽气管(3)的上方位置，远离抽气管(3)一侧的连接筒(20)设置于抽气管(3)的下方位置，两个连接筒(20)内均设置有往复移动的活塞机构。8.根据权利要求7所述的一种单晶炉真空检测系统，其特征在于，所述连接筒(20)的外壁开设有多个风孔(21)，且两个连接筒(20)上的风孔(21)分别分布于固定筒(1)的两端位置，活塞机构设置有固定于固定筒(1)端部的电