

一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统.pdf
骊蓉****23
亲,该文档总共13页,到这已经超出免费预览范围,如果喜欢就直接下载吧~
相关资料
一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统.pdf
本申请公开了一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统,涉及光伏技术领域,所述抽真空设备用于与真空泵配合实现单晶炉加料时的抽真空;所述单晶炉包括单晶炉本体,所述抽真空设备设于所述单晶炉本体外部;所述抽真空设备包括抽空管路和抽空装置,所述抽空管路具有第一连通状态和第二连通状态,所述单晶炉具有第一加料状态和第二加料状态;当所述单晶炉处于第一加料状态时,所述抽空管路处于第一连通状态;当所述单晶炉处于第二加料状态时,所述抽空管路处于第二连通状态。用于提高加料时的抽空效率,减少工时的浪费。
一种单晶炉的两级抽真空系统.pdf
本发明公开了一种单晶炉的两级抽真空系统,其包括炉体、一级泵以及二级泵,炉体上设置有出气口,一级泵的吸气端和出气口之间连接有一级抽气通道,一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管,主阀为三通阀,二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通,二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通,二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。本发明能够对单晶炉进行两级抽真空,给单晶炉提供10
抽真空设备.pdf
本发明抽真空设备,属于抽真空设备技术领域;解决的技术问题是提供了抽真空设备,通过工作实践改进真空系统结构设计,增加过滤阀,降低气体内部残留物对高压真空泵浦的影响,加入低真空计和高真空计对系统内部进行精确测量,控制设备精度,同时运用多阀门串联方式,保证进气稳定性,选择合适的密封方式,来提高真空系统密封性,从而降低了系统漏气率,提升设备安全性能;采用的技术方案为:抽真空设备,包括真空腔体、制程系统、破真空系统、低真空系统和高真空系统,各个系统分别与真空腔体连接,实现抽低真空,抽高真空,制程进气和破真空的工作过
一种单晶炉用组合式抽真空系统.pdf
一种单晶炉用组合式抽真空系统,包括抽真空管路、至少两组真空泵组、多个多级罗茨真空泵,所述抽真空管路上设置真空缓冲腔,多个多级罗茨真空泵的排气口并联在抽真空管路上,位于真空缓冲腔的上游,各多级罗茨真空泵的进气口分别用于与对应的单晶炉相连,所述真空泵组由罗茨泵和前级泵串联构成,且罗茨泵设置在前级泵的上游,至少两组真空泵组的进气口并联在抽真空管路上,位于真空缓冲腔的下游,各真空泵组和抽真空管路之间分别设有第一切断阀。本发明运行成本低、可靠性高,可有效避免单晶炉内物料报废。
抽真空设备使用方法简介.pptx
抽真空设备的使用方法简介抽真空设备的使用方法及简介诚信团队职业责任由于油里面有空气,在井下,我们的仪器会遇到强烈的震动,这时,如果仪器里面的油里含有较多的空气的话,那么这些空气就会像一把把小刀撞击仪器的内壁,为了防止空气对仪器的伤害,我们就要对油进行抽真空处理。首先,应把电源插好,电源的电压为220V,使用者应确定插座的电压为220V把下图中的power键打开,然后把vacuumpump键和gearpump键调到上面,heater键可以调也可不调,然后旋转上图中两个旋转开关,则此设备开始抽真空。图中指示表