一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115467801A(43)申请公布日2022.12.13(21)申请号202211119118.7F04B49/22(2006.01)(22)申请日2022.09.13F04B49/06(2006.01)C30B15/00(2006.01)(71)申请人晶科能源股份有限公司C30B29/06(2006.01)地址334100江西省上饶市经济技术开发C30B15/02(2006.01)区迎宾大道1号申请人四川晶科能源有限公司(72)发明人唐胤李永辉杨宇昂(74)专利代理机构北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11603专利代理师于淼(51)Int.Cl.F04B37/14(2006.01)F04B39/10(2006.01)F04B39/14(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图1页(54)发明名称一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统(57)摘要本申请公开了一种抽真空设备及抽真空方法、单晶炉系统，涉及光伏技术领域，所述抽真空设备用于与真空泵配合实现单晶炉加料时的抽真空；所述单晶炉包括单晶炉本体，所述抽真空设备设于所述单晶炉本体外部；所述抽真空设备包括抽空管路和抽空装置，所述抽空管路具有第一连通状态和第二连通状态，所述单晶炉具有第一加料状态和第二加料状态；当所述单晶炉处于第一加料状态时，所述抽空管路处于第一连通状态；当所述单晶炉处于第二加料状态时，所述抽空管路处于第二连通状态。用于提高加料时的抽空效率，减少工时的浪费。CN115467801ACN115467801A权利要求书1/2页1.一种抽真空设备，其特征在于，所述抽真空设备用于与真空泵配合实现单晶炉加料时的抽真空；所述单晶炉包括单晶炉本体，所述抽真空设备设于所述单晶炉本体外部；所述抽真空设备包括抽空管路和抽空装置，所述抽空管路具有第一连通状态和第二连通状态，所述单晶炉具有第一加料状态和第二加料状态；当所述单晶炉处于第一加料状态时，所述抽空管路处于第一连通状态；当所述单晶炉处于第二加料状态时，所述抽空管路处于第二连通状态。2.根据权利要求1所述的抽真空设备，其特征在于，所述抽空管路分别与所述抽空装置、所述真空泵和所述单晶炉连接，所述单晶炉具有与所述真空泵直接连接的真空管路；当所述抽空管路处于第一连通状态时，所述抽空装置通过所述抽空管路与所述单晶炉连通，所述抽空装置与所述真空泵不连通，所述单晶炉与所述真空泵不连通；当所述抽空管路处于第二连通状态时，所述抽空装置通过所述抽空管路与所述真空泵连通，所述真空泵通过所述真空管路与所述单晶炉连通。3.根据权利要求2所述的抽真空设备，其特征在于，所述抽空管路还包括第一阻气件和第二阻气件，所述真空管路包括第三阻气件，所述第一阻气件位于所述抽空管路靠近所述单晶炉的一端，所述第二阻气件位于所述抽空管路靠近所述抽空装置的一端；当所述抽空管路处于第一连通状态时，所述第一阻气件和所述第二阻气件开启，所述第三阻气件关闭；当所述抽空管路处于第二连通状态时，所述第二阻气件和所述第三阻气件开启，所述第一阻气件关闭。4.根据权利要求3所述的抽真空设备，其特征在于，所述第一阻气件、所述第二阻气件或所述第三阻气件为阻气塞或气阀中的一种。5.根据权利要求1所述的抽真空设备，其特征在于，所述单晶炉还包括位于所述单晶炉本体一侧的加料装置，所述加料装置通过连接阀门与所述单晶炉本体的侧壁相连接，所述抽空管路与所述加料装置连接；所述第一加料状态包括加料开始状态和加料平衡状态；当所述单晶炉处于加料开始状态时，所述连接阀门关闭，所述抽空管路与所述加料装置连通，所述抽空管路与所述单晶炉本体不连通；当所述单晶炉处于加料平衡状态时，所述连接阀门开启，所述加料装置与所述单晶炉本体连通，所述抽空装置通过所述抽空管路分别与所述加料装置和所述单晶炉本体连通。6.根据权利要求2所述的抽真空设备，其特征在于，所述单晶炉本体还包括单晶炉副室，所述真空泵通过所述真空管路与所述单晶炉副室连接，当所述抽空管路处于第二连通状态时，所述抽空管路与所述真空管路连通，所述抽空装置通过所述抽空管路和所述真空管路与所述真空泵和所述单晶炉副室三者相连通。7.一种单晶炉系统，其特征在于，所述单晶炉系统包括至少一个单晶炉、真空泵和权利要求1～6任一项所述的抽真空设备。8.一种应用于权利要求7所述的单晶炉系统的抽真空方法，其特征在于，所述抽真空方法包括：当所述单晶炉处于第一加料状态时，将所述抽空管路调整为第一连通状态；当所述单晶炉处于第二加料状态时，将所述抽空管路调整为第二连通状态。9.根据权利要求8所述的抽真空方法，其特征在于，所述抽空管路分别与所述抽空装置2CN115467801A权利要求书2/2页和所述单晶炉连接，所述抽空装置通过所述抽空