一种单晶炉的两级抽真空系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110671298A(43)申请公布日2020.01.10(21)申请号201911045487.4(22)申请日2019.10.30(71)申请人中山荣拓智能装备有限公司地址528400广东省中山市翠亨新区和清路14号厂房第一层（住所申报）(72)发明人姚以力李光于德金(74)专利代理机构中山市科创专利代理有限公司44211代理人谢自安谢自成(51)Int.Cl.F04B37/14(2006.01)F04B41/06(2006.01)F04B39/12(2006.01)C30B35/00(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图1页(54)发明名称一种单晶炉的两级抽真空系统(57)摘要本发明公开了一种单晶炉的两级抽真空系统，其包括炉体、一级泵以及二级泵，炉体上设置有出气口，一级泵的吸气端和出气口之间连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管，主阀为三通阀，二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通，二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通，二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。本发明能够对单晶炉进行两级抽真空，给单晶炉提供10-5Pa左右的高真空环境，避免单晶炉内结晶的过程中的晶体被氧化的现象发生。CN110671298ACN110671298A权利要求书1/1页1.一种单晶炉的两级抽真空系统，其特征在于，其包括炉体(1)、一级泵(2)以及二级泵(3)，所述炉体(1)上设置有出气口(15)，所述的一级泵(2)的吸气端和所述出气口(15)之间连接有一级抽气通道，所述的一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管(4)、主阀(5)、一级支管(6)、预抽阀(7)以及汇流管(8)，所述的主阀(5)为三通阀，所述二级泵(3)的吸气端与主阀(5)的另一出气端接通，所述二级泵(3)的出气端通过二级支管(9)与所述的汇流管(8)接通，所述的二级支管(9)上设置有能够控制其通断的前置阀(16)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉的两级抽真空系统，其特征在于，所述的一级泵(2)为一机械泵，所述的二级泵(3)为一扩散泵，所述的汇流管(8)和二级支管(9)上均有一段为波纹管。3.根据权利要求1或2所述的一种单晶炉的两级抽真空系统，其特征在于，所述一级泵(2)的吸气端和汇流管(8)之间连接有压差阀(10)。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉的两级抽真空系统，其特征在于，所述的出气口(15)设置于所述炉体(1)外侧壁的上部，所述的炉体(1)通过法兰与所述主管(4)连接以使所述出气口(15)与主管(4)导通。5.根据权利要求1所述的一种单晶炉的两级抽真空系统，其特征在于，所述炉体(1)包括炉底(11)、炉盖(12)以及位于炉底(11)和炉盖(12)之间的筒体(13)，所述的炉底(11)、炉盖(12)以及筒体(13)上分别设置相互独立的冷却水道。6.根据权利要求1所述的一种单晶炉的两级抽真空系统，其特征在于，所述主管(4)上设置有气压表(14)。2CN110671298A说明书1/2页一种单晶炉的两级抽真空系统技术领域[0001]本发明涉及单晶炉的抽真空技术领域，尤其涉及一种单晶炉的两级抽真空系统。背景技术[0002]单晶炉是一种用于冶炼、结晶蓝宝石、红宝石等贵重矿物的设备，其工作的时候需要对其内部进行抽真空。现有技术中，一般采用机械泵对单晶炉内部进行抽真空，普通的机械泵，能够将单晶炉内的气压抽到1Pa左右，真空度不够高，导致蓝宝石、红宝石等贵重矿物在结晶的过程中的会存在被氧化的现象。[0003]本发明就是基于以上的不足做出的。发明内容[0004]鉴于此，本发明的目的在于提供一种能够提供高真空度的单晶炉的两级抽真空系统。[0005]本发明为解决其技术问题而采用的技术方案是：[0006]一种单晶炉的两级抽真空系统，其包括炉体、一级泵以及二级泵，炉体上设置有出气口，一级泵的吸气端和出气口之间连接有一级抽气通道，一级抽气通道包括沿着气流方向依次设置的主管、主阀、一级支管、预抽阀以及汇流管，主阀为三通阀，二级泵的吸气端与主阀的另一出气端接通，二级泵的出气端通过二级支管与汇流管接通，二级支管上设置有能够控制其通断的前置阀。[0007]作为优选地，一级泵为一机械泵，二级泵为一扩散泵，汇流管和二级支管上均有一段为波纹管。[0008]作为优选地，一级泵的吸气端和汇流管之间连接有压差阀。[0009]作为优选地，出气口设置于炉体外侧壁的上部，炉体通过法兰与主管连接以使出气口与主管导通。[0010]作为优选地，炉体包括炉底、炉盖以及位于炉底和炉盖之间的筒体，炉底、炉盖以及筒体上分别设置相互独立的冷却水道。[0011]作为优选地，主管上设置有气压表。[0