工业硅杂质去除装置及其去除方法.pdf
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工业硅杂质去除装置及其去除方法.pdf
本发明公开了一种工业硅杂质去除装置及其去除方法,涉及工业硅技术领域。本发明包括硅杂质除杂炉,硅杂质除杂炉上侧开设有进料口,硅杂质除杂炉内装设有粉碎装置,粉碎装置下侧装设有融化装置,融化装置下侧装设有与融化装置相对应的冷却炉和废料储存箱,冷却炉内装设有冷却模具,冷却模具内开设有多个硅锭槽,多个硅锭槽内均装设有顶板。本发明通过设置融化装置和冷却炉,能够使用融化装置先将低于硅融化点的杂质进行去除,再将硅融化,使得高于硅融化点的杂质残留在融化装置内,然后再将液体硅冷却成为固体,从而实现对硅进行提纯,通过设置冷却模
一种耐磨钢球表面杂质去除装置及其去除方法.pdf
本发明公开了一种耐磨钢球表面杂质去除装置及其去除方法,属于耐磨钢球生产技术领域,包括支架、底板、外侧挡板、内侧挡板、耐磨钢球卡紧机构、耐磨钢球杂质去除机构、传动机构以及限位板,外侧挡板和内侧挡板侧面安装耐磨钢球杂质去除机构;耐磨钢球卡紧机构包括立板、横板、卡紧气缸以及卡紧块;耐磨钢球杂质去除机构包括第一伺服电机、第一转轴、转杆和杂质去除罩,杂质去除罩的内壁设有均匀分布的齿刀;传动机构由第二伺服电机、第二转轴、主动齿轮、从动齿轮、罩壳以及传动杆组成,本发明可以逐个对耐磨钢球的表面杂质进行清除,并且代替刷毛进
一种晶圆传送装置、去除杂质的设备及去除杂质的方法.pdf
本发明涉及半导体制造技术领域,尤其涉及一种晶圆传送装置、去除杂质的设备及去除杂质的方法,用于清理晶圆表面的颗粒物,去除杂质的设备包括一晶圆传送装置、一气流供给装置;晶圆传送装置包括:第一支撑板和第二支撑板通过多根支撑杆连接;每根支撑杆的内部为中空结构,每根支撑杆的一端设有一进气口,进气口用于导入一气流;每根支撑杆包括:多个排气孔,均匀地分布于支撑杆面向晶圆传送装置的内部的一面。本发明技术方案的有益效果在于:通过改进晶圆传送装置的结构,在传送晶圆的过程中,去除晶圆表面的颗粒物,从而提高了晶圆的良率。
一种工业硅中杂质铁的去除方法.pdf
本发明涉及一种工业硅中杂质铁的去除方法,属于工业硅冶炼技术领域。本发明将工业硅熔体连续匀速加入到定向凝固连铸装置中,控制硅熔体的温度和流速、凝固速度以实现杂质铁的偏析富集,得到铁含量梯级分布的硅锭产品;对硅锭产品进行取样检测,确定Fe含量梯级分布的节点,并对硅锭进行分级处理得到不同铁质量含量的各级工业硅产品;以工业硅产品的总质量为100%计,微铁工业硅产品不低于60%、低铁工业硅产品不低于22%、中铁工业硅产品不高于10%、高铁工业硅产品不高于8%。本发明方法与现有的工业硅冶炼和炉外精炼过程相结合,将硅熔
一种从工业硅中去除硼杂质的方法.pdf
?一种从工业硅中去除硼杂质的方法,包括将工业硅破碎、磁选、酸洗、烘干,然后在硅粉里加入SiO2和碱性金属化合物,将这些粉状材料混合,再将混合粉体搅拌均匀。在搅拌后的混合粉体添加膨化促进剂,使混合粉体变膨松,然后将膨松的混合粉体置入中频炉、高频炉、太阳炉、新型太阳炉、激光或聚光LED中进行高温熔炼;或者将膨松的混合粉体高压成形,成形后的块料再置入中频炉、太阳炉、新型太阳炉、激光或聚光LED中进行高温熔炼。熔炼后将硅与熔渣冷却并分离,将硅料砸碎并酸洗,即可非常高效率的去除工业硅里的硼元素。