晶体生长重量监测方法、装置、设备及长晶炉.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115821390A(43)申请公布日2023.03.21(21)申请号202211513889.4(22)申请日2022.11.29(71)申请人湖南三安半导体有限责任公司地址410000湖南省长沙市长沙高新开发区长兴路399号(72)发明人秦皓然张洁(74)专利代理机构北京维昊知识产权代理事务所(普通合伙)11804专利代理师刁益帆(51)Int.Cl.C30B29/36(2006.01)C30B23/00(2006.01)权利要求书3页说明书10页附图5页(54)发明名称晶体生长重量监测方法、装置、设备及长晶炉(57)摘要本披露公开了一种晶体生长重量监测方法、晶体生长重量监测装置及相关产品。该方法包括：确定坩埚重量的当前采样值以及当前采样值的前一采样值；根据当前采样值和前一采样值确定坩埚的当前重量波动值；其中，当前采样值和前一采样值的采样时间相差一个预设采样间隔；若当前重量波动值不处于波动值区间内，则发出报警指令。相较于通过X射线采集坩埚内部的晶体图像以实现重量监测的技术，坩埚称重的实现方式更加简单，实现成本也更低，并且能够直接依据重量参数判断出是否发生了异常，无需人工依据图像进行判定，监测过程更加高效。CN115821390ACN115821390A权利要求书1/3页1.一种晶体生长重量监测方法，其特征在于，包括：确定坩埚重量的当前采样值以及所述当前采样值的前一采样值；根据所述当前采样值和所述前一采样值确定坩埚的当前重量波动值；其中，所述当前采样值和所述前一采样值的采样时间相差一个预设采样间隔；若当前重量波动值不处于波动值区间内，则发出报警指令。2.根据权利要求1所述的晶体生长重量监测方法，其特征在于，还包括：根据当前采样时刻对应的晶体生长时长确定所述波动值区间。3.根据权利要求2所述的晶体生长重量监测方法，其特征在于，所述报警指令包括：用于指示籽晶脱落的第一报警指令；所述波动值区间包括：对应所述第一报警指令的第一波动值区间；所述根据当前采样时刻对应的晶体生长时长确定所述波动值区间，包括：根据当前采样时刻对应的晶体生长时长，确定待生长籽晶的标准重量值；根据所述待生长籽晶的标准重量值，确定所述第一波动值区间，其中，所述待生长籽晶的标准重量值与当前采样时刻对应的生长时长正相关。4.根据权利要求3所述的晶体生长重量监测方法，其特征在于，所述若当前重量波动值不处于波动值区间内，则发出报警指令，包括：若当前重量波动值大于所述第一波动值区间中的最大值，则发出第一报警指令。5.根据权利要求2所述的晶体生长重量监测方法，其特征在于，所述报警指令包括：用于指示调整加热功率的第二报警指令；所述波动值区间包括：对应所述第二报警指令的第二波动值区间；所述根据当前采样时刻对应的晶体生长时长确定所述波动值区间，包括：根据当前采样时刻对应的晶体生长时长，确定待生长籽晶的生长阶段；根据所述待生长籽晶的生长阶段，确定所述第二波动值区间。6.根据权利要求5所述的晶体生长重量监测方法，其特征在于，所述若当前重量波动值不处于波动值区间内，则发出报警指令，包括：若当前重量波动值大于所述第二波动值区间的最大值，则发出降低加热功率的第二报警指令；和/或，若当前重量波动值小于所述第二波动值区间的最小值，则发出增大加热功率的第二报警指令。7.一种晶体生长重量监测装置，其特征在于，包括：处理器；以及存储器，其存储有可执行的监测程序指令，当所述监测程序指令由所述处理器来执行时，使得所述晶体生长重量监测装置实现如权利要求1‑6任一项所述的晶体生长重量监测方法。8.一种晶体生长重量监测设备，其特征在于，包括：坩埚称重装置，其与坩埚固定连接，用于实时获取所述坩埚的重量；晶体生长重量监测装置，其与所述坩埚称重装置连接，用于根据预设采样间隔从所述坩埚称重装置中获取坩埚重量的采样值，并配置成：根据当前采样值和前一采样值确定坩2CN115821390A权利要求书2/3页埚的当前重量波动值；在当前重量波动值不处于波动值区间内时向报警装置发出报警指令；其中，所述当前采样值和所述前一采样值的采样时间相差一个预设采样间隔；报警装置，其与所述晶体生长重量监测装置连接，用于依据所述晶体生长重量监测装置发出的报警指令发出对应的警报。9.根据权利要求8所述的晶体生长重量监测设备，其特征在于，所述报警指令包括：用于指示调整加热功率的第二报警指令；所述波动值区间包括：对应所述第二报警指令的第二波动值区间；所述晶体生长重量监测设备中，所述晶体生长重量监测装置还与坩埚加热装置连接；所述晶体生长重量监测装置还配置成：若当前重量波动值大于第二波动值区间的最大值，则发出降低加热功率的第二报警指令；和/或，若当前重量波动值小于所述第二波动值区间的最小值，