长晶炉及晶体生长系统.pdf
春景****23
在线预览结束,喜欢就下载吧,查找使用更方便
相关资料
长晶炉及晶体生长系统.pdf
本发明公开了一种长晶炉及晶体生长系统,所述长晶炉包括炉体(110)、盖体(120)以及驱动组件;所述炉体(110)具有能够容纳坩埚的腔室,所述炉体(110)的顶部开设有与所述腔室连通的通孔;所述盖体(120)设置在所述炉体(110)的顶部,所述盖体(120)与所述驱动组件连接,所述驱动组件能够驱动所述盖体(120)在关闭所述通孔的遮挡位置以及让开所述通孔的打开位置之间移动;其中,所述盖体(120)设置为:所述盖体(120)位于所述打开位置时能够允许所述坩埚竖直地通过所述通孔以使所述坩埚在所述腔室和外界之间
长晶炉校验系统和长晶炉校验方法.pdf
本发明提供了一种长晶炉校验系统和一种利用所述校验系统的长晶炉校验方法。所述校验系统包括设置于基座上表面中心点的第一激光源以及水平设置于基座上方的半透明挡板,打开第一激光源且令基座绕旋转轴旋转,通过第一激在半透明挡板上形成的第一光斑的运动轨迹来调整基座的水平程度。所述校验系统还可用于校验基座与籽晶夹头的同心程度,设置于籽晶夹头上的第二激光源在半透明挡板上形成第二光斑,通过第一光斑和第二光斑的重合程度调整基座与籽晶夹头的同心程度。本发明的长晶炉校验方法利用上述校验系统,由于激光束的位置和运动轨迹较容易分辨,因
晶体生长重量监测方法、装置、设备及长晶炉.pdf
本披露公开了一种晶体生长重量监测方法、晶体生长重量监测装置及相关产品。该方法包括:确定坩埚重量的当前采样值以及当前采样值的前一采样值;根据当前采样值和前一采样值确定坩埚的当前重量波动值;其中,当前采样值和前一采样值的采样时间相差一个预设采样间隔;若当前重量波动值不处于波动值区间内,则发出报警指令。相较于通过X射线采集坩埚内部的晶体图像以实现重量监测的技术,坩埚称重的实现方式更加简单,实现成本也更低,并且能够直接依据重量参数判断出是否发生了异常,无需人工依据图像进行判定,监测过程更加高效。
碳化硅晶体生长速度的控制系统及控制方法、长晶炉.pdf
本发明公开了一种碳化硅晶体生长速度的控制系统及控制方法、长晶炉,控制系统包括气流感应装置、重量感应装置和气流调控装置,气流感应装置由多个气流感应单元件组成,气流感应单元件包括由壳体以及在壳体内部自由移动的内置件,壳体上设有多个气孔;重量感应装置用于在内置件移动的过程中感应气流感应装置的当前重量;气流调控装置与重量感应装置连接,用于根据气流感应装置的当前重量,调整气流的流动参数值,以控制碳化硅晶体的生长速度,并通过气流感应装置的重量从侧面反应出气流的流动参数值。根据本发明的控制方法,根据气流感应装置的重量来
长晶炉及结晶系统.pdf
本申请提供一种长晶炉及结晶系统,涉及炉体结构领域。该长晶炉包括:炉体、第一坩埚、点热源、底部隔热结构和加热器;第一坩埚设置在炉体内;加热器设置在第一坩埚外侧;点热源设置在第一坩埚底部中心处;底部隔热结构套设于点热源外。点热源对第一坩埚中心处实现集中加热,从而保证单晶硅棒中心与熔融多晶硅的温差与单晶硅棒表面熔融多晶硅的温差一致,使得单晶硅棒中心与表面的结晶速度一致,保证了单晶硅棒的品质。