用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法、长晶炉和溶液移除方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN113430638A(43)申请公布日2021.09.24(21)申请号202110681142.9(22)申请日2021.06.19(71)申请人连城凯克斯科技有限公司地址214000江苏省无锡市锡山区锡北镇锡港路张泾东段209号(72)发明人黎志欣胡动力(74)专利代理机构南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙)36145代理人刘林艳(51)Int.Cl.C30B15/00(2006.01)C30B29/06(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图4页(54)发明名称用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法、长晶炉和溶液移除方法(57)摘要本发明公开了一种用于长晶炉的溶液移除装置及其移除方法，长晶炉包括主室，主室内容纳有承载溶液的坩埚，溶液移除装置包括：吸附装置，吸附装置设置在坩埚上方，并可相对于坩埚升降，吸附装置包括具有吸附能力的耐高温无污染的吸附材料，吸附材料能对坩埚中的溶液进行吸附，使得溶液作为附着物附着在吸附材料上。通过直接吸附的方法，将溶液吸附在吸附材料上，从而有效的将富含大量杂质的溶液移除，提升后续晶棒的品质，且该装置操作简单方便，可有效提高效率，节省人力和时间成本。CN113430638ACN113430638A权利要求书1/2页1.一种用于长晶炉的溶液移除装置，所述长晶炉包括主室，所述主室内容纳有承载溶液的坩埚，其特征在于，所述溶液移除装置包括：吸附装置，所述吸附装置设置在所述坩埚上方，并可相对于所述坩埚升降，所述吸附装置包括具有吸附能力的耐高温无污染的吸附材料，所述吸附材料能对所述坩埚中的溶液进行吸附，使得溶液作为附着物附着在吸附材料上。2.如权利要求1所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述吸附材料为石英纤维布。3.如权利要求1所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述吸附装置还包括设置在所述吸附材料下方的多孔石英板。4.如权利要求1所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述溶液移除装置还包括：储存装置，所述储存装置设置在所述吸附装置上方，所述储存装置内限定有储存空间，用于储存吸附完溶液后的所述吸附装置。5.如权利要求4所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述储存装置内设置有单向开合的隔离组件，所述隔离组件在所述吸附装置进入所述储存装置后，使得所述吸附装置不能在落入所述坩埚中。6.如权利要求5所述的用于长晶炉的溶液移除装置，其特征在于，所述隔离组件包括单向铰链和隔离板，所述隔离板设置在所述储存装置下端，所述隔离板与所述储存装置通过所述单向铰链连接，所述隔离板的数量为两块以上。7.一种利用权利要求1‑6任一所述的用于长晶炉的溶液移除装置的溶液移除方法，其特征在于所述步骤为：S101：将所述吸附装置浸入到坩埚内溶液的一定高度；S102：经过一定时间的吸附后，将所述吸附装置移出所述坩埚内。8.如权利要求7所述的溶液移除方法，其特征在于，还包括S103：更换新的所述吸附材料，重复S101和S102的步骤。9.一种长晶炉，其特征在于，包括主室、副室和提拉装置，所述主室内容纳有承载溶液的坩埚，所述副室设置在所述主室上方，所述副室下方设置有连通口，所述主室上方设置有连通口，所述提拉装置设置在所述副室上方，所述提拉装置可通过所述副室下方的连通口和所述主室的连通口进入所述主室中，其中，所述长晶炉还包括如权利要求1‑6任一所述的溶液移除装置，所述溶液移除装置适于与所述提拉装置相连，以使得所述溶液移除装置可由所述提拉装置相对于所述坩埚上升或下降。10.如权利要求9所述的长晶炉，其特征在于，所述副室上设置有喉口，所述喉口设置在所述主室和所述副室的连接处，所述储存装置上设有与所述喉口相适配的限位装置，所述吸附装置上方设置有与所述提拉装置相适配的所述提拉线，所述储存装置上方设置与所述提拉线相适配的所述连接线，所述提拉线上设置有卡点，所述储存装置上的所述连接线可通过所述卡点限位在所述提拉线上。11.一种利用权利要求9或10的长晶炉的溶液移除方法，其特征在于，所述步骤为：S1：通过所述储存装置上的所述连接线，将所述储存装置安装在所述吸附装置上，在通过所述提拉线，将所述溶液移除装置安装在所述提拉装置上；2CN113430638A权利要求书2/2页S2：下降所述提拉装置，直至所述储存装置上的所述限位装置适用于固定在所述喉口上；S3：进一步下降所述提拉装置，使得所述吸附装置浸入所述坩埚溶液内的一定高度；S4：经过一定时间的吸附，提拉所述吸附装置上升，将所述吸附装置提拉进入所述储存装置中；S5：进一步提拉所述吸附装置，直至所述卡点带动所述连接线提升所述储存装置，并同时将所述储存装置和所述吸附装置移除副室。12.如权利要求11所述的溶液移除