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光致抗蚀剂组合物.pdf
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本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，其包含树脂，酸生成剂和由式(C1)表示的化合物，在式(C1)中，Rc2表示可以具有一个或多个取代基的C7-C20芳烷基，并且Rc1表示由式(1)表示的基团，在式(1)中，Rc3和Rc4各自独立地表示氢原子或直链，支链或环状C1-C12脂族烃基，Rc5表示C1-C30二价有机基团，并且Rc3和Rc4或Rc5可以彼此结合以与Rc3和Rc4或Rc5结合的氮原子一起形成环。
2023-06-14
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本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含树脂，酸生成剂和由式(C1)表示的化合物，其中Rc1表示可以具有一个或多个取代基的芳族基团，Rc2和Rc3各自独立地表示氢原子，可以具有一个或多个取代基的脂族烃基，或可以具有一个或多个取代基的芳族基团，Rc4和Rc6各自独立地表示氢原子或可以具有一个或多个取代基的脂族烃基，或Rc4和Rc6彼此结合以形成烷烃二基，Rc5表示可以具有一个或多个取代基的脂族烃基，或可以具有一个或两个取代基的氨基，Rc7表示氢原子或可以具有一个或多个取代基的脂族烃基，或Rc
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本发明提供一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，该树脂包含衍生自由式(I)表示的化合物的结构单元，其中R1表示C1-C6含氟烷基，R2表示氢原子或甲基，并且A表示C1-C10二价饱和烃基，并且该树脂不溶或难溶于碱性水溶液，但是通过酸的作用变得可溶于碱性水溶液；以及由式(II)表示的酸生成剂，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，X1表示单键或C1-C17二价饱和烃基，在所述C1-C17二价饱和烃基中，一个或多个-CH2-可以被-O-或-CO-代替，Y1表示可以具有一个或多
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公开了一种光致抗蚀剂底层组合物，其包含：包含两个或更多个羟基的第一材料；包含两个或更多个缩水甘油基的第二材料；添加剂，其中所述添加剂包含具有式(5)的化合物、具有式(6)的化合物、或其组合；以及溶剂，其中式(5)和(6)的结构如本文所公开。
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本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物及用于制备光致抗蚀剂图案的方法。本发明公开一种由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，A1表示C1-C30一价有机基团，X1表示其中氢原子可以被羟基代替的C1-C10脂族烃基，m1和m2各自独立地表示1至4的整数，以及Z+表示有机阳离子。
2023-06-14
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