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研磨垫用双组分型尿烷树脂组合物、聚氨酯研磨垫、和聚氨酯研磨垫的制造方法.pdf
2023-06-14
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猫巷****永安
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研磨垫用双组分型尿烷树脂组合物、聚氨酯研磨垫、和聚氨酯研磨垫的制造方法.pdf
本发明涉及研磨垫用双组分型尿烷树脂组合物、使用其而成的聚氨酯研磨垫、和聚氨酯研磨垫的制造方法，其特征在于，该研磨垫用双组分型尿烷树脂组合物由含有异氰酸酯基末端尿烷预聚物(A)的主剂、和含有异氰酸酯基反应性化合物(B)的固化剂构成，其中，所述尿烷预聚物(A)为将多异氰酸酯(a1)与多元醇成分反应得到的异氰酸酯基当量250～700的预聚物，其中作为多元醇成分，以(a2)/(a3)＝5/95～70/30(质量比)并用芳香族聚酯多元醇(a2)和聚醚多元醇(a3)；所述芳香族聚酯多元醇(a2)在分子链中具有2～11
2023-06-14
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本发明提供一种研磨垫以及研磨方法，所述研磨垫适用于研磨物件且包括研磨层以及至少一沟槽。研磨层具有中央区域以及围绕中央区域的周边区域。至少一沟槽配置在研磨层中，其中至少一沟槽各具有皆位于周边区域的两端点，其中两端点包括开放式端点及封闭式端点。本发明的研磨垫在研磨制程期间，可使研磨液保持滞留或使研磨所产生的副产物有效排除。
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本发明提供一种适合于高硬度的半导体材料的研磨的研磨垫(14)。前述研磨垫(14)用于与游离磨粒组合而进行研磨，在前述研磨垫(14)中，在对研磨对象物(16)进行研磨的面(15)上具备由拉伸强度为15cN/dtex以上的高强力有机纤维构成的织物。在此织物中，例如高强力有机纤维的单纤维纤度可为0.3～15dtex左右，高强力有机纤维的总纤度可为3～3,000dtex左右。作为如此的高强力有机纤维，例如包含全芳香族聚酯纤维。
2023-06-14
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本发明所涉及的研磨垫是包含聚氨酯树脂发泡体的研磨垫，具有研磨面，该研磨面由上述聚氨酯树脂发泡体的表面构成，上述聚氨酯树脂发泡体包含多个气泡，具有65％以上的空隙率，在上述多个气泡中以15％以上的个数比包含具有200μm以上的气泡直径的大径气泡。
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本发明的目的是提供在维持硬度的情况下提高了修整性的研磨垫，或不易在研磨对象物的表面产生刮痕且提高了修整性的研磨垫。本发明的研磨垫具有包含聚氨酯树脂发泡体或无发泡聚氨酯树脂的研磨层，其特征在于，所述聚氨酯树脂发泡体或无发泡聚氨酯树脂包含，作为原料成分，(A)异氰酸酯成分、(B)多元醇成分和(C)具有1个羟基的芳香族化合物和/或具有1个氨基的芳香族化合物。
2023-06-14
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