盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN102955359A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN102955359A(43)申请公布日2013.03.06(21)申请号201210297407.6(51)Int.Cl.(22)申请日2012.08.20G03F7/004(2006.01)G03F7/00(2006.01)(30)优先权数据C07C381/12(2006.01)2011-1802912011.08.22JPC07C309/17(2006.01)2012-0148682012.01.27JPC07D307/00(2006.01)(71)申请人住友化学株式会社C07C309/12(2006.01)地址日本国东京都C07D327/08(2006.01)(72)发明人吉田勋向井优一市川幸司C07D333/46(2006.01)C07D335/02(2006.01)(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司11021代理人贺卫国权利要求书权利要求书33页页说明书说明书9797页页(54)发明名称盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法(57)摘要本发明提供盐、光致抗蚀剂组合物和用于制备光致抗蚀剂图案的方法。一种光致抗蚀剂组合物，其包含在碱水溶液中难溶或不溶但是通过酸的作用可溶的树脂和由式(I)表示的盐，其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C30三价脂族饱和烃基，其中氢原子可以用氟原子替换并且其中亚甲基可以用氧原子、-NR3-或羰基替换，其中R3表示氢原子或C1-C6烷基，W1和W2各自独立地表示C3-C36脂环烃环，其中亚甲基可以用氧原子、硫原子、-NR4-、磺酰基或羰基替换，其中R4表示氢原子或C1-C6烷基，R1和R2各自独立地表示羟基或C1-C6烷基，t1和t2各自独立地表示0至2的整数，并且Z+表示有机阳离子。CN102953ACN102955359A权利要求书1/3页1.一种光致抗蚀剂组合物，所述光致抗蚀剂组合物包含：树脂，所述树脂在碱水溶液中难溶或不溶但是通过酸的作用可溶，以及由式(I)表示的盐：其中Q1和Q2各自独立地表示氟原子或C1-C6全氟烷基，L1表示C1-C30三价脂族饱和烃基，其中氢原子可以用氟原子替换并且其中亚甲基可以用氧原子、-NR3-或羰基替换，其中R3表示氢原子或C1-C6烷基，W1和W2各自独立地表示C3-C36脂环烃环，其中亚甲基可以用氧原子、硫原子、-NR4-、磺酰基或羰基替换，其中R4表示氢原子或C1-C6烷基，R1和R2各自独立地表示羟基或C1-C6烷基，t1和t2各自独立地表示0至2的整数，并且Z+表示有机阳离子。2.根据权利要求1所述的光致抗蚀剂组合物，其中L1由式(L1-1)、(L1-2)和(L1-3)中的任一项表示：(L1-1)(L1-2)(L1-3)其中X0表示单键、可以具有氟原子的C1-C14二价脂族烃基、或者由式(a-1)表示的基团：(a-1)其中s表示0或1的整数，X10和X11各自独立地表示氧原子、羰基、羰基氧基或氧基羰基，A10和A11各自独立地表示可以具有氟原子的C1-C12二价脂族烃基，A12表示单键或可以具有氟原子的C1-C12二价脂族烃基，并且＊表示与碳基的连接位置，1＊13＊1＊1＊1＊13＊1X表示-O-、-NR-、-O-CO-、-O-CH2-、-O-CH2-CO-O-或-NR-CH2-，其中＊1表示与W1的连接位置，2＊23＊2＊2＊2＊23＊2X表示-O-、-NR-、-O-CO-、-O-CH2-、-O-CH2-CO-O-或-NR-CH2-，其中＊2表示与W2的连接位置，3＊1＊1＊13＊1＊11X表示-O-、-NR3-、-O-CH2-CO-O-或-O-CH2-CO-NR-，其中表示与W的连2CN102955359A权利要求书2/3页接位置，4＊23＊2＊23＊2＊22X表示-O-、-NR-、-O-CH2-CO-O-或-O-CH2-CO-NR-，其中表示与W的连接位置，5＊13＊1＊1＊1＊1＊11X表示-O-、-NR-、-O-CO-、-O-CH2-或-NR3-CH2-，其中表示与W的连接位置，6＊23＊2＊2＊23＊2＊22X表示-O-、-NR-、-O-CO-、-O-CH2-或-NR-CH2-，其中表示与W的连接位置，RL表示氢原子或可以具有氟原子的C1-C14脂族烃基，＊0表示与连接至C(Q1)(Q2)的碳原子的连接位置，并且m1、m2、m3、m4和m5各自独立地表示0至6的整数。3.根据权利要求2所述的光致抗蚀剂组合物，其中X1表示-O-＊1、-NR3-＊1、-O-CO-＊1＊1＊13＊1＊11、-O-CH2-、-O-CH2-CO-O-或-NR-CH2-，其中表示与W的连接位置，并且