杯芳烃和包含杯芳烃的光致抗蚀剂组合物.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103044256A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN103044256A(43)申请公布日2013.04.17(21)申请号201210496911.9G03F7/039(2006.01)(22)申请日2012.09.24G03F7/00(2006.01)G03F7/09(2006.01)(30)优先权数据G03F7/20(2006.01)61/538,6702011.09.23US(71)申请人罗门哈斯电子材料有限公司地址美国马萨诸塞州申请人陶氏环球技术有限公司(72)发明人V·简恩J·W·撒克里S·J·康D·P·格林B·C·贝利(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人江磊(51)Int.Cl.C07C69/76(2006.01)C07C67/29(2006.01)G03F7/004(2006.01)权利要求书权利要求书2页2页说明书说明书1515页页附图附图11页(54)发明名称杯芳烃和包含杯芳烃的光致抗蚀剂组合物(57)摘要1分子玻璃化合物包括式C(R)2＝21C(R)-O-(L)n-Ar的芳族乙烯基醚与杯[4]芳烃的乙烯基醚加合物，其中R1和R2各自独立地为单键、H、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤代芳烷基，L为C1-20连接基团，n为0或1，Ar1是含卤单环、或取代的或非取代的多环或稠合多环C6-20含芳族基团的基团，其中，当R1和R2任一个或两者为单键且n为0时，R1和R2连接到Ar1。还公开了包含所述分子玻璃化合物、溶剂、以及光致酸产生剂的光致抗蚀剂，包括(a)在其表面上具有待图案化的一个层或多个层的基材，和(b)在待图案化的一个层或多个层上的光致抗蚀剂组合物层的涂覆基材。本发明还公开了形成所述分子玻璃化合物的方法。CN1034256ACN103044256A权利要求书1/2页1211.一种分子玻璃化合物，其包含式C(R)2＝C(R)-O-(L)n-Ar的芳族乙烯基醚与杯[4]芳烃的乙烯基醚加合物，12其中R和R各自独立地为单键、H、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-201芳烷基、或C7-20卤代芳烷基，L为C1-20连接基团，n为0或1，Ar是含卤单环、或取代的或非12取代的多环或稠合多环C6-20含芳族基团的基团，其中，当R和R任一个或两者为单键且n为0时，R1和R2连接到Ar1。2.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中，所述芳族乙烯基醚的化学式为H2C＝22CH-O-(L)n-Ar，其中L为C1-10连接基团，n为0或1，Ar是C6-20芳基、C6-20杂芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、C7-20杂芳烷基或C7-20卤代芳烷基。3.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中L为-((-CH2)mO-)p-，或-((-CH2)mO-)p-C(O)-，且m和p独立地为0到10的整数。4.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中所述乙烯基醚加合物进一步包含式34534C(R)2＝C(R)-O-(L)n-R的脂环族乙烯基醚，其中，R和R各自独立地为H、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤代芳烷基，L为C1-20连接基团，n为05或1，R是取代的或非取代的C2-30环烷基或C2-40卤代环烷基。5.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中，所述杯[4]芳烃包括以下物质的四聚反应产物：676式C6Rx(OR)y的芳族化合物，其中，R为，H、F、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-207卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤代芳烷基，R为H、C1-20烷基、C1-20卤烷基，x为6-y且y为2或3，以及至少两个OR7基团是彼此间位的；和，88式R-CHO的醛，其中，R是取代的或非取代的C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤代芳烷基。6.根据权利要求5所述的分子玻璃化合物，其中所述芳族化合物是间苯二酚、邻苯三酚、3-甲氧基苯酚、或3-乙氧基苯酚。7.根据权利要求5所述的分子玻璃化合物，其中所述醛是苯甲醛、4-羟基苯甲醛、2，4-二羟基苯甲醛、2-羟基-4-甲氧基苯甲醛、3-甲氧基-4羟基苯甲醛、3-乙氧基-4羟基苯甲醛或3，5-二甲基-4羟基苯甲醛。8.一种光致抗蚀剂，包含权利要求1-7任一项所述的分子玻璃化合物、溶剂以及光致酸产生剂。9.一种涂覆的基材，其包括：(a)在其表面上具有待形成图案的一个层或多个层的基材；以及，(b)在待形成图案的一个层或多个层上的权利要求8所述的光致抗蚀剂