杯芳烃化合物和包含该杯芳烃化合物的抗蚀剂组合物.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局*CN103012129A*(12)发明专利申请(10)申请公布号CN103012129A(43)申请公布日2013.04.03(21)申请号201210496882.6C07C69/76(2006.01)(22)申请日2012.09.20C07C69/753(2006.01)C07D333/56(2006.01)(30)优先权数据G03F7/00(2006.01)61/538,6722011.09.23USG03F7/09(2006.01)(71)申请人罗门哈斯电子材料有限公司G03F7/20(2006.01)地址美国马萨诸塞州G03F7/004(2006.01)申请人陶氏环球技术有限公司G03F7/039(2006.01)(72)发明人V·简恩D·P·格林B·C·贝利(74)专利代理机构上海专利商标事务所有限公司31100代理人江磊(51)Int.Cl.C07C67/29(2006.01)权利要求书权利要求书22页页说明书说明书1515页页(54)发明名称杯芳烃化合物和包含该杯芳烃化合物的抗蚀剂组合物(57)摘要一种分子玻璃化合物，其包括式(I)的芳族化合物与(II)的多环或稠合多环芳香醛的四聚121反应产物，C6Rx(OR)y(I)其中，R为，H、F、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳2烷基、或C7-20卤代芳烷基，R为H、C1-20烷基、C1-20卤烷基，x为6-y且y为2或3，至少一个OR2基团为羟基，以及至少两个OR2基团是彼此处于间位的；Ar1-CHO(II)其中，Ar1是取代的、卤取代的或非取代的C4-20杂环含芳族基团的基团，或取代的、卤取代的或非取代的C8-20稠合多环芳族部分；以及，酸可除去保护基团，作为与芳族化合物的羟基、所述多环或稠合多环芳香醛的羟基、或包括以上至少之一的组合的加合物。本发明还公开了包含所述分子玻璃化合物的光致抗蚀剂，本发明还公开了涂覆的基材，该涂覆基材包括(a)在其表面上具有待形成图案的一个层或多个层的基材，和(b)在待形成图案的一个层或多个层上的光致抗蚀剂组合物层。CN10329ACN103012129A权利要求书1/2页1.一种分子玻璃化合物，其包含：A)式(I)的芳族化合物与式(II)的多环或稠合多环芳香醛的四聚反应产物：12C6Rx(OR)y(I)1其中R为H、F、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或C7-20卤22代芳烷基，R为H、C1-20烷基、C1-20卤烷基，x为6-y且y为2或3，至少一个OR基团为羟基，并且至少两个OR2基团是彼此处于间位的；Ar1-CHO(II)1其中，Ar是取代的、卤取代的或非取代的C4-20杂环含芳族基团的基团，或取代的、卤取代的或非取代的C8-20稠合多环芳族部分，和B)酸可除去保护基团，其作为与芳族化合物的羟基的加合物、与所述多环或稠合多环芳香醛的羟基的加合物、或与包括以上至少之一的组合的加合物。2.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中，(I)式的所述芳族化合物是间苯二酚、邻苯三酚、3-甲氧基苯酚或3-乙氧基苯酚。13.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中式(II)中的Ar为C8-30芳基、C8-30杂芳基、C8-30卤代芳基、C8-30杂卤代芳基、C8-30芳烷基、或者C7-20卤代芳烷基。4.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中所述多环或稠合多环芳香醛具有结构式(III)或(IV)：6737其中，X是C(R)2、NR、S或O，R到R各自独立地为H、F、C1-20烷基、C1-20卤代烷基、C6-20芳基、C6-20卤代芳基、C7-20芳烷基或C7-20卤代芳烷基，a、c和d各自独立地是1到3的整数，b是1到4+a的整数。5.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中，所述酸可除去保护基团是乙烯基醚的加合物、叔烷基酯的加合物、叔烷基羰基的加合物、或者包括以上至少之一的组合的加合物。6.根据权利要求1所述的分子玻璃化合物，其中，所述酸可除去基团包括：式(V)的部分：18-(L)m-C(＝O)-O-C(R)3(V)18其中，L是C1-20连接基团，m是0或1，每一R是独立取代的或非取代的，且为C1-20烷基、C1-20卤代烷基、C6-20芳基、C6-20卤代芳基、C7-20芳烷基或C7-20卤代芳烷基，其中两个或更多个相邻的R8基团任选地通过单键彼此连接；所述四聚反应产物的羟基与具有结构式(VI)的芳族乙烯基醚的加合物：91011C(R)2＝C(R)-O-(L)n-R(VI)910其中，R与各自单独为单键、H、C1-20烷基、C1-20卤代烷基、C6-20芳基、C6-20卤代芳基、2CN1030121