感光性树脂组合物、干膜、固化物、电子部件或光学制品、以及粘接剂.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN105785713A(43)申请公布日2016.07.20(21)申请号201610022068.9(22)申请日2016.01.13(30)优先权数据2015-0042542015.01.13JP2015-1930952015.09.30JP(71)申请人太阳控股株式会社地址日本东京都(72)发明人郭扬眉三轮崇夫(74)专利代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277代理人刘新宇李茂家(51)Int.Cl.G03F7/004(2006.01)C09J179/08(2006.01)权利要求书2页说明书18页(54)发明名称感光性树脂组合物、干膜、固化物、电子部件或光学制品、以及粘接剂(57)摘要本发明涉及感光性树脂组合物、干膜、固化物、电子部件或光学制品、以及粘接剂。提供一种感光性树脂组合物，该感光性树脂组合物基于活性光线的照射而曝光部与未曝光部的显影速度的对比度(溶解性对比度)大、且能够容易形成精度高的图案。一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)高分子前体，其具有由包含脂肪族骨架和芳香族骨架的酸酐成分和胺成分得到的聚酰胺酸以及聚酰胺酸酯中的至少1种重复单元；和(B)光反应型潜在性碱性物质，其通过活性光线的照射而产生碱。CN105785713ACN105785713A权利要求书1/2页1.一种感光性树脂组合物，其特征在于，含有：(A)高分子前体，其具有由包含环状脂肪族骨架和芳香族骨架的酸酐成分和胺成分得到的聚酰胺酸以及聚酰胺酸酯中的至少1种重复单元；和(B)光反应型潜在性碱性物质，其通过活性光线的照射而产生碱。2.根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)高分子前体为下述通式(I)所示的化合物，式(I)中，R1为包含芳香族环和脂肪族烃环的稠环的4价有机基团，或包含芳香族基团和脂环式烃基的4价有机基团，R2为2价有机基团，X为2价有机基团，R3、R4以及R5可以彼此相同也可以不同，为1价有机基团或具有硅的官能团，m1、m2以及m3分别为0或1以上的整数，且m1以及m2中的任一个为1以上的整数，且n为0或1以上的整数。3.根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其中，所述(A)高分子前体为下述通式(II)所示的化合物：其中，R2为2价有机基团，X为2价有机基团，m为1以上的整数，n为0或1以上的整数。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的感光性树脂组合物，其特征在于，所述(A)高分子前体可溶于碱溶液。5.根据权利要求1～4中的任一项所述的感光性树脂组合物，其能够在200℃以下形成图案。6.根据权利要求1～4中的任一项所述的感光性树脂组合物，其能够在150℃以下形成图案。7.一种干膜，其具有将权利要求1～6中的任一项所述的感光性树脂组合物在薄膜上干燥而得到的树脂层。8.一种固化物，其是由权利要求1～6中的任一项所述的感光性树脂组合物或权利要求7所述的干膜的树脂层得到的。9.一种电子部件或光学制品，其具有权利要求8所述的固化物。2CN105785713A权利要求书2/2页10.一种粘接剂，其包含权利要求1～6中的任一项所述的感光性树脂组合物。3CN105785713A说明书1/18页感光性树脂组合物、干膜、固化物、电子部件或光学制品、以及粘接剂技术领域[0001]本发明涉及感光性树脂组合物、具有该组合物的干膜、该组合物的固化物(一般来说，浮雕图案膜(高分子膜))、以及具有该固化物的电子部件或光学制品、以及包含感光性树脂组合物的粘接剂，其中，所述感光性树脂组合物含有：具有聚酰胺酸和聚酰胺酸酯中的至少1种重复单元的高分子前体、和通过活性光线的照射而产生碱的光反应型潜在性碱性物质。背景技术[0002]1955年由美国DuPontCompany开发的聚酰亚胺基于高绝缘性、耐热性、高机械强度等优异的特性而广泛应用于各种领域。不限于最初应用的航空宇宙领域，还推进了向半导体元件的涂布膜、柔性印刷线路板、耐热绝缘性层间材料的应用。进而，近年来，伴随着半导体安装技术的高度化、高密度化，要求布线图案的进一步微细化，对于聚酰亚胺也要求有高度的加工性。[0003]然而，聚酰亚胺具有缺乏热塑性、以及对有机溶剂的溶解性，且加工困难的一方面。因此，聚酰亚胺通过如下方法被广泛应用：将聚酰亚胺前体与光反应引发剂组合来赋予感光性，并利用活性光线的照射形成期望的图案，然后在高温下使其闭环。[0004]如此，通过对含有聚酰亚胺前体的树脂组合物赋予感光性从而加工性得到提高的、所谓感光性聚酰亚胺具有缩短复杂工艺的特征，因此，从生产率、工序简略化的观点出发，与非感光性聚酰亚胺相比，利用性高。[0005]而且，作为这样的感光性聚酰亚胺，使用了包含聚酰胺酸等聚酰亚胺前体和