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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN114122157A(43)申请公布日2022.03.01(21)申请号202210108488.4(22)申请日2022.01.28(71)申请人浙江晶科能源有限公司地址314416浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号(72)发明人瞿佳华金井升(74)专利代理机构上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)31260代理人成丽杰(51)Int.Cl.H01L31/0216(2014.01)H01L31/054(2014.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书12页附图4页(54)发明名称光伏电池及其制造方法、光伏组件(57)摘要本申请实施例涉及太阳能领域,提供一种光伏电池及其制造方法、光伏组件,光伏电池包括:基底;第一减反射层,位于基底的一侧;第二减反射层,位于第一减反射层远离基底的一侧,第一减反射层包括第一氮氧化硅材料,第二减反射层包括第二氮氧化硅材料,沿垂直于第一减反射层指向第二减反射层方向的方向上,第一减反射层和第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势,另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势。本申请实施例至少有利于提高光伏电池对入射至光伏电池上的光的吸收率。CN114122157ACN114122157A权利要求书1/2页1.一种光伏电池,其特征在于,包括:基底;第一减反射层,位于所述基底的一侧;第二减反射层,位于所述第一减反射层远离所述基底的一侧,所述第一减反射层包括第一氮氧化硅材料,所述第二减反射层包括第二氮氧化硅材料,沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上,所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势,另一者的氧元素和氮元素的含量比值呈减小趋势。2.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,所述第一减反射层中氧元素和氮元素的含量比值不大于0.9,所述第二减反射层中氧元素和氮元素的含量比值不大于0.9。3.如权利要求1或2所述的光伏电池,其特征在于,所述第一氮氧化硅材料为氧化硅和氮化硅的混合物,所述第二氮氧化硅材料为氧化硅和氮化硅的混合物,沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上,所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧化硅和氮化硅的含量比值呈增大趋势,另一者的氧化硅和氮化硅的含量比值呈减小趋势。4.如权利要求3所述的光伏电池,其特征在于,所述第一减反射层中氧化硅和氮化硅的含量比值变化范围为0~1,所述第二减反射层中氧化硅和氮化硅的含量比值变化范围为0~1。5.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上,所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧元素含量呈增大趋势,另一者的氧元素含量呈减小趋势,且所述第一减反射层和所述第二减反射层中氧元素与硅元素的含量比值不大于0.5。6.如权利要求5所述的光伏电池,其特征在于,沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上,所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氮元素含量呈增大趋势,另一者的氮元素含量呈减小趋势,且所述第一减反射层和所述第二减反射层中氮元素与硅元素的含量比值变化范围为1.05~1.33。7.如权利要求1所述的光伏电池,其特征在于,沿所述第一减反射层指向所述第二减反射层的方向上,所述第一减反射层的厚度为30nm~50nm,所述第二减反射层的厚度为30nm~50nm。8.如权利要求1‑7任一项所述的光伏电池,其特征在于,沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上,所述第一减反射层和所述第二减反射层中的一者的折射率呈增大趋势,另一者的折射率呈减小趋势,且所述第一减反射层和所述第二减反射层的折射率的差值先呈减小趋势然后呈增大趋势。9.如权利要求8所述的光伏电池,其特征在于,所述第一减反射层的折射率和所述第二减反射层的折射率的最大值为1.9~2.1,所述第一减反射层的折射率和所述第二减反射层的折射率的最小值为1.4~1.6。10.如权利要求8所述的光伏电池,其特征在于,所述第一减反射层的折射率最高值与所述第二减反射层的折射率最高值相同,所述第一减反射层的折射率最低值与所述第二减反射层的折射率最低值相同。2CN114122157A权利要求书2/2页11.一种光伏电池的制造方法,其特征在于,包括:提供基底;在所述基底的一侧形成第一减反射层;在所述第一减反射层远离所述基底的一侧形成第二减反射层,所述第一减反射层包括第一氮氧化硅材料,所述第二减反射层包括第二氮氧化硅材料,沿垂直于所述第一减反射层指向所述第二减反射层方向的方向上,所述第一减反射层和所述第二减反射层中一者的氧元素和氮元素的含量比值呈增大趋势,另一者的氧元素和