光伏电池及其制造方法、光伏组件.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115000213A(43)申请公布日2022.09.02(21)申请号202210779014.2(22)申请日2022.06.30(71)申请人浙江晶科能源有限公司地址314416浙江省嘉兴市海宁市袁花镇袁溪路58号申请人晶科能源股份有限公司(72)发明人金井升张彼克张昕宇(74)专利代理机构上海晨皓知识产权代理事务所(普通合伙)31260专利代理师成丽杰(51)Int.Cl.H01L31/04(2014.01)H01L31/0216(2014.01)H01L31/18(2006.01)权利要求书2页说明书9页附图2页(54)发明名称光伏电池及其制造方法、光伏组件(57)摘要本申请实施例涉及太阳能领域，提供一种光伏电池及其制造方法、光伏组件，光伏电池包括：基底；钝化层，位于基底一侧的表面上，沿垂直于基底指向钝化层的方向上，钝化层包括相邻的第一区和第二区；其中，第一区和第二区中掺杂有相同类型的掺杂元素，第二区具有远离基底的参考面，沿参考面的中心指向第一区的方向上，以及沿参考面的中心指向第二区内部的方向上，掺杂元素在第二区中的掺杂浓度均呈逐渐降低的趋势，且掺杂元素在第一区中的掺杂浓度小于等于在第二区中的最小掺杂浓度。本申请实施例至少有利于在降低第一区对光的吸收率的同时，提高钝化层对基底的钝化效果，以提高光伏电池的光电转换效率。CN115000213ACN115000213A权利要求书1/2页1.一种光伏电池，其特征在于，包括：基底；钝化层，位于所述基底一侧的表面上，沿垂直于所述基底指向所述钝化层的方向上，所述钝化层包括相邻的第一区和第二区；其中，所述第一区和所述第二区中掺杂有相同类型的掺杂元素，所述第二区具有远离所述基底的参考面，沿所述参考面的中心指向所述第一区的方向上，以及沿所述参考面的中心指向所述第二区内部的方向上，所述掺杂元素在所述第二区中的掺杂浓度均呈逐渐降低的趋势，且所述掺杂元素在所述第一区中的掺杂浓度小于等于在所述第二区中的最小掺杂浓度。2.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，所述第二区包括：第三区、第四区以及第五区，所述掺杂元素在所述第三区的掺杂浓度、在所述第四区中的掺杂浓度以及在所述第五区中的掺杂浓度依次减小；其中，所述第三区包括所述参考面的中心区域，且所述第三区朝向所述第二区内部凸起；所述第四区包括剩余所述参考面的部分区域，且覆盖所述第三区除所述参考面的中心区域之外的其他表面；剩余所述第二区作为所述第五区。3.如权利要求1或2所述的光伏电池，其特征在于，还包括：电极，至少位于所述参考面的部分区域。4.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，所述掺杂元素在所述第二区中的掺杂浓度最大值与在所述第一区中的掺杂浓度最大值的比值范围为3～4。5.如权利要求4所述的光伏电池，其特征在于，所述掺杂元素在所述第一区中的掺杂浓度范围为1×1020atom/cm3～1.5×1020atom/cm3，所述掺杂元素在所述第二区中的掺杂浓度最大值的范围为3×1020atom/cm3～4×1020atom/cm3，且所述掺杂元素在所述第二区中的掺杂浓度最小值的范围为1×1020atom/cm3～1.5×1020atom/cm3。6.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，所述第一区中的晶粒尺寸大于所述第二区中的晶粒尺寸。7.如权利要求6所述的光伏电池，其特征在于，所述第一区中的晶粒尺寸与所述第二区中的晶粒尺寸的比值范围为10～30。8.如权利要求7所述的光伏电池，其特征在于，所述第一区中的晶粒尺寸为100nm～300nm，所述第二区中的晶粒尺寸为10nm～30nm。9.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，所述第一区中的晶界数量小于所述第二区中的晶界数量。10.如权利要求9所述的光伏电池，其特征在于，所述第二区中的晶界数量与所述第一区中的晶界数量的比值范围为20～100。11.如权利要求10所述的光伏电池，其特征在于，所述第一区中的晶界数量为5～10个/um2，所述第二区中的晶界数量为100～500个/um2。12.如权利要求1所述的光伏电池，其特征在于，所述第一区中的位错密度小于所述第二区中的位错密度。13.一种光伏电池的制造方法，其特征在于，包括：提供基底；2CN115000213A权利要求书2/2页在所述基底一侧的表面形成初始钝化层；采用掺杂工艺对所述初始钝化层的不同区域进行不同的处理，以形成钝化层，且沿垂直于所述基底指向所述钝化层的方向上，所述钝化层包括相邻的第一区和第二区；其中，所述第一区和所述第二区中掺杂有相同类型的掺杂元素，所述第二区具有远离所述基底的参考面，沿所述参考面的中心指向所述第一区的方向上，以沿所述参考面的中心指向所述第二区内部的方向上，所述掺