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(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN115954404A(43)申请公布日2023.04.11(21)申请号202310081183.3H01L31/18(2006.01)(22)申请日2023.01.16(71)申请人安徽晶科能源有限公司地址231600安徽省合肥市肥东县合肥循环经济示范园龙兴大道与乳泉路交叉口东北角1号(72)发明人杨硕王正华王振刚曾庆云邱彦凯(74)专利代理机构北京汇思诚业知识产权代理有限公司11444专利代理师周放(51)Int.Cl.H01L31/05(2014.01)H01L31/0224(2006.01)H01L31/0236(2006.01)权利要求书2页说明书8页附图3页(54)发明名称光伏电池片、光伏组件及光伏电池片的制备方法(57)摘要本申请涉及一种光伏电池片、光伏组件及光伏电池片的制备方法。光伏电池片包括半导体衬底,半导体衬底包括沿自身厚度方向相对设置的第一表面和第二表面,第一表面位于半导体衬底朝向太阳光的一侧;第一表面具有多个第一金字塔型微结构,第二表面具有多个平台型微结构,平台型微结构上具有多个第二金字塔型微结构,平台型微结构上还具有隧穿氧化层,隧穿氧化层上具有掺杂导电层。当在第二表面印刷金属浆料制备栅线时,金属浆料能够填充进相邻的第二金字塔型微结构之间的缝隙内,增加了栅线与半导体衬底的接触面积,降低了光伏电池片的串联电阻,同时,提升了栅线对电流的汇聚、传导作用,提升了光伏电池片的光电转换效率。CN115954404ACN115954404A权利要求书1/2页1.一种光伏电池片,其特征在于,所述光伏电池片包括:半导体衬底(1),所述半导体衬底(1)包括沿自身厚度方向相对设置的第一表面(11)和第二表面(12),所述第一表面(11)位于所述半导体衬底(1)朝向太阳光的一侧;所述第一表面(11)具有多个第一金字塔型微结构(2);所述第二表面(12)具有多个平台型微结构(3),所述平台型微结构(3)由所述第二表面(12)经抛光工艺抛光后形成;沿所述半导体衬底(1)的厚度方向,所述平台型微结构(3)远离所述第一表面(11)的一侧具有多个第二金字塔型微结构(4),所述第二金字塔型微结构(4)的高度小于所述第一金字塔型微结构(2)的高度,和/或,所述第二金字塔型微结构(4)靠近所述半导体衬底(1)的一端的宽度小于所述第一金字塔型微结构(2)靠近所述半导体衬底(1)的一端的宽度;沿所述半导体衬底(1)的厚度方向,所述平台型微结构(3)远离所述第一表面(11)的一侧具有隧穿氧化层(5),所述隧穿氧化层(5)远离所述第一表面(11)的一侧具有掺杂导电层(6)。2.根据权利要求1所述的光伏电池片,其特征在于,沿所述光伏电池片的厚度方向,所述第二金字塔型微结构(4)的高度H满足:0.1μm≤H≤0.6μm。3.根据权利要求1所述的光伏电池片,其特征在于,所述第二金字塔型微结构(4)与所述平台型微结构(3)连接的一端为第一端,所述第一端在所述光伏电池片的长度方向和/或宽度方向上的尺寸L1满足:0.1μm≤L1≤0.8μm。4.根据权利要求1所述的光伏电池片,其特征在于,沿所述光伏电池片的厚度方向,所述平台型微结构(3)的边缘部分的高度大于中间部分的高度,所述平台型微结构(3)的边缘部分及中间部分均设置有所述第二金字塔型微结构(4)。5.根据权利要求4所述的光伏电池片,其特征在于,所述第二金字塔型微结构(4)包括第一金字塔型凸起(41)和第二金字塔型凸起(42),所述第一金字塔型凸起(41)位于所述平台型微结构(3)的所述边缘部分,所述第二金字塔型凸起(42)位于所述平台型微结构(3)的所述中间部分;相邻的所述第一金字塔型凸起(41)的轴线之间的距离为L2,相邻的所述第二金字塔型凸起(42)的轴线之间的距离为L3,L2与L3满足:L2<L3。6.根据权利要求5所述的光伏电池片,其特征在于,相邻的所述第二金字塔型凸起(42)的轴线之间的距离L3满足:0.8μm≤L3≤1.2μm。7.根据权利要求1至6中任一项所述的光伏电池片,其特征在于,沿所述光伏电池片的厚度方向,所述第一表面(11)远离所述第二表面(12)的一侧具有硼硅玻璃层。8.一种光伏组件,其特征在于,所述光伏组件包括电池串,所述电池串包括多个权利要求1至7中任一项所述的光伏电池片,相邻所述光伏电池片电连接。9.一种光伏电池片的制备方法,所述光伏电池片包括半导体衬底(1),所述半导体衬底(1)包括沿自身厚度方向相对设置的第一表面(11)和第二表面(12),所述第一表面(11)位于所述半导体衬底(1)朝向太阳光的一侧,其特征在于,所述光伏电池片的制备方法包括:在所述半导体衬底(1)的所述第一表面(11)进行制绒处理,形成多个第一