除尘装置及真空镀膜设备.pdf

本申请涉及一种除尘装置及真空镀膜设备,除尘装置包括第一除尘组件;以及第二除尘组件,与第一除尘组件相对且间隔设置,以在两者之间形成气体流通通道;其中,第一除尘组件和第二除尘组件被配置为能够在气体流通通道内同时形成具有重叠区域的温度场和静电场,温度场及静电场均能够提供使粉尘朝第二除尘组件运动的作用力。在粉尘经过除尘装置时,能够在温度场和静电场的双重作用下,将粉尘收集至第二除尘组件上,而不会堵塞整个气体流通通道,确保了真空镀膜设备的有效抽速,提高了镀膜工艺的稳定性和大规模镀膜品质的重复性。