翻转装置和真空镀膜设备.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111850475A(43)申请公布日2020.10.30(21)申请号201910351135.5(22)申请日2019.04.28(71)申请人东泰高科装备科技有限公司地址102209北京市昌平区科技园区中兴路10号A129-1室(72)发明人么曼实(74)专利代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司11240代理人韩建伟(51)Int.Cl.C23C14/22(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称翻转装置和真空镀膜设备(57)摘要本发明提供了一种翻转装置，包括：支撑架；承载结构和枢转轴，承载结构用于安装元器件，枢转轴包括第一枢转轴和第二枢转轴，承载结构通过第一枢转轴和第二枢转轴可转动地设置在支撑架上；驱动机构，驱动机构设置在支撑架上并位于第一枢转轴的位置处，驱动机构与第一枢转轴驱动连接，以驱动所承载结构翻转；制动机构，制动机构设置在支撑架上并位于第二枢转轴的位置处，当枢转轴的转动角加速度大于预设值时，制动机构的制动件运动，以限制第二枢转轴的转动，而对承载结构的翻转动作紧急制动。本发明解决了现有技术中的真空镀膜设备的盖板的翻转动作难于控制且无法有效制动而存在一定安全隐患的问题。CN111850475ACN111850475A权利要求书1/2页1.一种翻转装置，其特征在于，包括：支撑架(10)；承载结构(20)和枢转轴(30)，所述承载结构(20)用于安装元器件，所述枢转轴(30)包括第一枢转轴(31)和第二枢转轴(32)，所述承载结构(20)通过所述第一枢转轴(31)和所述第二枢转轴(32)可转动地设置在所述支撑架(10)上；驱动机构(40)，所述驱动机构(40)设置在所述支撑架(10)上并位于所述第一枢转轴(31)的位置处，所述驱动机构(40)与所述第一枢转轴(31)驱动连接，以驱动所承载结构(20)翻转；制动机构(50)，所述制动机构(50)设置在所述支撑架(10)上并位于所述第二枢转轴(32)的位置处，当所述枢转轴(30)的转动角加速度大于预设值时，所述制动机构(50)的制动件运动，以限制所述第二枢转轴(32)的转动，而对所述承载结构(20)的翻转动作紧急制动。2.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述驱动机构(40)包括驱动电机(41)和行星齿轮组(42)，其中，所述行星齿轮组(42)包括：齿圈(421)，所述齿圈(421)与所述支撑架(10)固定连接；太阳轮(422)，所述太阳轮(422)与所述第一枢转轴(31)固定连接；行星齿轮(423)，所述行星齿轮(423)设置在所述齿圈(421)内并同时与所述齿圈(421)和所述太阳轮(422)啮合，其中，所述驱动电机(41)与所述行星齿轮(423)驱动连接。3.根据权利要求2所述的翻转装置，其特征在于，所述行星齿轮(423)为多个，所述多个行星齿轮(423)绕所述太阳轮(422)的周向间隔设置，所述驱动电机(41)为多个，所述多个驱动电机(41)与所述多个行星齿轮(423)一一对应驱动连接。4.根据权利要求1所述的翻转装置，其特征在于，所述制动机构(50)包括：第一传动齿轮(51)，所述第一传动齿轮(51)与所述第二枢转轴(32)固定连接；第二传动齿轮(52)和传动轴(53)，所述第二传动齿轮(52)与所述第一传动齿轮(51)啮合，所述第二传动齿轮(52)通过所述传动轴(53)可枢转地设置在所述支撑架(10)上，且所述第二传动齿轮(52)位于所述传动轴(53)的第一端；棘轮组件(54)，所述棘轮组件(54)包括止动棘轮(541)和主动棘轮(542)，其中，所述止动棘轮(541)与所述支撑架(10)固定连接，所述止动棘轮(541)的内周壁形成有绕其周向依次分布的多个棘齿槽(543)，所述主动棘轮(542)与所述传动轴(53)连接并位于所述传动轴(53)的第二端，所述主动棘轮(542)可转动地设置在所述止动棘轮(541)内，所述主动棘轮(542)包括可移动设置的棘爪(544)，所述棘爪(544)作为所述制动件，当所述枢转轴(30)的角加速度大于预设值时，所述棘爪(544)在离心力的作用下向所述主动棘轮(542)的周向外侧移动并选择性地与所述多个棘齿槽(543)中的一个卡接配合，以限制所述主动棘轮(542)、所述第二传动齿轮(52)、所述第一传动齿轮(51)和所述枢转轴(30)的转动，而对所述承载结构(20)的翻转动作紧急制动。5.根据权利要求4所述的翻转装置，其特征在于，所述主动棘轮(542)包括棘轮盘(545)、弹性伸缩件(546)和所述棘爪(544)，所述棘轮盘(545)固定设置在所述传动轴(53)的第二端，所述棘轮盘(545)上形成有避让缺口(547)，所