具有光学互连结构的半导体封装.pdf
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相关资料
具有光学互连结构的半导体封装.pdf
具有光学互连结构的半导体封装。一种半导体封装包括设置在基板的顶表面上的第一收发器;以及设置在所述基板的底表面上的第二收发器。所述第一和第二收发器通过穿透基板的光信号彼此光学通信。
互连结构、具有互连结构的半导体器件及其制造方法.pdf
本公开涉及一种互连结构、具有互连结构的半导体器件及其制造方法。本公开的各个实施例通过经由单个间隙填充处理同时形成延各个方向延伸的互连件来提高半导体器件的集成度。本发明的实施例提供了一种能够简化半导体处理的互连结构、包括该互连结构的半导体器件以及用于制造该半导体器件的方法。根据本公开的一个实施例,一种互连结构包括:多个互连件的堆叠,其中,多个互连件中的至少两层沿不同方向延伸,并且至少两层的下部互连件的上表面的一部分与至少两层的上部互连件的下表面的一部分直接接触。
半导体封装结构及半导体封装结构的封装方法.pdf
本发明公开了一种半导体封装结构及半导体封装结构的封装方法,该封装结构包括导线架、单层基板、金属线路层以及半导体组件。所述导线架包括主体部、多个接垫以及未接触区域的补强区。所述单层基板位于所述导线架上且部分填入所述补强区内,所述单层基板设有第一通孔及第二通孔,所述第一通孔内形成第一导电柱且电连接所述主体部,所述第二通孔内形成第二导电柱且电连接所述接垫。所述金属线路层分布于所述单层基板表面上且与对应的所述第一及第二导电柱电连接。所述半导体组件设有焊接部,所述半导体组件由所述焊接部电连接于所述金属线路层上。
半导体结构的互连方法与半导体互连结构.pdf
本公开提供一种用于半导体互连结构的互连方法与半导体互连结构。互连方法包括:提供堆叠结构,堆叠结构包括多层键合的晶圆,每层晶圆的上表面设置有重布线层,重布线层包括多条金属导线;对堆叠结构垂直制作具有第一直径和第一长度的第一盲孔,第一盲孔在每层晶圆中的穿透位置位于金属导线之间,且第一直径小于金属导线的间距;以第一盲孔的中心为圆心制作具有第二直径和第一长度的第二盲孔,以使第二盲孔的侧壁露出金属导线,第二直径大于金属导线之间的间距;填充导电材料于第二盲孔。本公开的互连方法可以通过一次掩模刻蚀制程制作使堆叠结构中各
具有改进的电互连结构的半导体器件.pdf
一种半导体器件包括:有源区,在衬底上沿第一方向延伸;栅电极,与有源区相交并沿垂直于第一方向的第二方向延伸;接触结构,在栅电极的一侧设置在有源区上并沿第二方向延伸;以及第一过孔,设置在接触结构上以连接到接触结构,并且第一过孔具有在第二方向上的长度大于在第一方向上的长度的形状。多个第一金属互连被设置,多个第一金属互连在第一过孔上沿第一方向延伸并连接到第一过孔。第二过孔被设置,第二过孔设置在多个第一金属互连上以连接到多个第一金属互连,并且第二过孔具有在第二方向上的长度大于在第一方向上的长度的形状。