一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒.pdf
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一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒.pdf
本实用新型公开了一种均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,包括:滚筒本体、用于承载限位滚筒本体的承接机构及承接机构外设置其传动作用的传动齿轮;所述滚筒本体的内侧中心对称设置有定位挡板;所述承接机构设置在滚筒本体的外侧,且承接机构由连接板、支撑杆、限位块和加热管构成。该均匀镀膜的溅射镀膜机用滚筒,便于对该滚筒进行拆装更换,以便达到方便清洗,并便于减少对镀膜物件转动产生的损伤,使之使用寿命长的目的,便于使滚筒本体带动其内容纳腔的物件进行转动,以此通过提高待镀膜物件与成膜物质接触面积,来使待镀膜物件镀膜均匀,并提高镀膜效
钢管连续式溅射镀膜机.pdf
本发明公开了一种钢管连续式溅射镀膜机,包括若干相互连通的第一腔室和第二腔室,首尾两个所述第一腔室上分别安装有前门阀和后门阀,部分所述第一腔室上连接有真空泵组,连接有真空泵组的所述第一腔室上分别设有两部传动组件,所述传动组件上设有与运输小车底部齿条相啮合的第一齿轮,所述传动组件上设有到位行程开关机构;所述第一腔室内设有运输小车的行驶导轨,所述第二腔室上设有回程输送系统,所述回程输送系统上设有与运输小车底部齿条相啮合的第二齿轮。本发明有益效果:不仅能够提高镀膜效率,而且使成膜质量好,同时膜层均匀性高以及靶材利
一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置.pdf
本发明公开了一种磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,包括立杆和连接头,所述立杆的下方固定有通气管,且通气管的下方安装有防护罩,所述防护罩的内表面安装有出气盘,所述滑座的上方安装有支撑杆,所述连接头的下方与支撑杆的上端相互连接,且连接头的外侧通过承重架与承托盘相互连接,所述立杆的上端从下往上依次从连接头、承托盘和调控盒的表面贯穿,所述立杆的下端通过通气管与出气盘为贯通连接。该磁控溅射镀膜机用基片转移保护装置,在拾取基片时,拉杆带动活塞进行上下移动,起到了对基片进行散热的作用,并且当活塞向上移动时,防护罩内部的
一种真空镀膜机磁控溅射控制机构.pdf
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大型磁控溅射镀膜机的真空室结构.pdf
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