大型磁控溅射镀膜机的真空室结构.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN110629181A(43)申请公布日2019.12.31(21)申请号201910997250.X(22)申请日2019.10.20(71)申请人湖南玉丰真空科学技术有限公司地址411100湖南省湘潭市九华示范区大众东路2号(72)发明人刘国利周毅李国强(51)Int.Cl.C23C14/35(2006.01)C23C14/56(2006.01)权利要求书1页说明书2页附图2页(54)发明名称大型磁控溅射镀膜机的真空室结构(57)摘要本发明公开了一种大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。本发明的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、使用方便。CN110629181ACN110629181A权利要求书1/1页1.大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，其特征在于：所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。2.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述真空室体中间焊接有双道环形加强筋。3.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述移动门架呈倒“T”型。4.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述封头门为蝶形封头。5.如权利要求4所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：在封头门的大弧形段与小弧形段交接处焊接有4个固定座，固定座通过螺栓固定在移动门架上。6.如权利要求1所述的大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，其特征在于：所述脚轮为双脚轮。2CN110629181A说明书1/2页大型磁控溅射镀膜机的真空室结构技术领域[0001]本发明涉及一种大型磁控溅射镀膜机。背景技术[0002]一些特殊形状的、大型的制件表面需要做各种功能的镀膜处理，比如大型汽车或特种车辆的风挡玻璃、特大的异形建筑玻璃制件、飞机的机舱罩等，既要解决光学之高透射、防辐射、节能问题，又要解决材料表面电导率、硬度、耐磨损、隐身等问题，需要设计一种大型的磁控溅射镀膜机，以满足这类特殊产品的镀膜需求。此大型镀膜机真空室的组合结构要满足真空室每个部分的抗压强度，满足高真空密封的要求，还要满足取放工件的大开度要求。发明内容[0003]本发明的目的在于，提供一种既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求的大型磁控溅射镀膜机真空室结构。[0004]本发明采用的技术方案如下：大型磁控溅射镀膜机的真空室结构，包括真空室体，所述真空室体为横向放置的圆筒状结构，其两端开口，在两端开口处焊接有法兰Ⅰ，法兰Ⅰ外端面为密封面，所述真空室体置于固定支座上，在真空室体两端各设有一封头门，所述封头门固定在移动门架上，所述移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，封头门的边缘焊接有与法兰Ⅰ对接的法兰Ⅱ。[0005]进一步地，所述真空室体中间焊接双道环形加强筋。[0006]进一步地，所述移动门架呈倒“T”型。[0007]进一步地，所述封头门为蝶形封头。[0008]进一步地，在封头门的大弧形段与小弧形段交接处焊接有4个固定座，固定座通过螺栓固定在移动门架上。[0009]进一步地，所述脚轮为双脚轮。[0010]本发明的有益效果如下：（1）本发明的真空室体为薄壁圆柱状，两端焊接法兰，密封面加工在法兰外端面，端部法兰可加强端部抗压强度，中间双道环形加强筋可加强真空室中部抗压强度，这种结构既能满足高真空密封的要求，又能满足取放工件的大开度要求，抗压均匀，稳定性好、美观；（2）封头门的边缘焊接法兰，封头门抗压强度好，封头门采用蝶形封头件，在蝶形封头的大弧形段与小弧形段交接处焊接连接固定座，变形量小，稳定性好；（3）真空室体为固定安装主体，封头门固定在移动门架上，移动门架底部设有脚轮，脚轮置于道轨上，移动门架由电机驱动在道轨上平行移动，实现两端的真空室门的开关，以配合生产取放工件或维修的需要；（4）移动门架采用倒“T”型结构，结构支撑稳定性好，底部脚轮采用双轮设计，跨越道轨沟槽时可避免震动或