一种用于晶圆生产环境的静电检测装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108982922A(43)申请公布日2018.12.11(21)申请号201811166536.5(22)申请日2018.10.08(71)申请人江苏英锐半导体有限公司地址224000江苏省盐城市盐城经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房(72)发明人王昌华(74)专利代理机构常州市权航专利代理有限公司32280代理人袁兴隆(51)Int.Cl.G01R1/02(2006.01)G01R29/24(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种用于晶圆生产环境的静电检测装置(57)摘要本发明涉及静电检测附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产环境的静电检测装置；包括静电检测仪本体、连接导线和探枪，静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组，探枪上设置有探头；还包括前连接柱、把手、连接架、前转动柱、连接弹簧和后转动柱；还包括两组固定块、两组拉板、两组连接杆、两组套簧和两组连接板，两组固定块上均设置有通口；还包括四组螺栓、四组螺母、四组支腿和四组转动杆，四组转动杆一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆另一端均设置有吸盘，四组支腿上均设置有第一通孔，四组转动杆上均设置有第二通孔，四组螺母与四组转动杆之间均设置有锁紧垫。CN108982922ACN108982922A权利要求书1/2页1.一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，包括静电检测仪本体（1）、连接导线（2）和探枪（3），静电检测仪本体（1）前侧壁设置有显示屏（32）、控制键组（33）和端口组（34），探枪（3）通过连接导线（2）与静电检测仪本体（1）连接，探枪（3）上设置有探头（4）；其特征在于，还包括前连接柱（5）、把手（6）、连接架（7）、前转动柱（8）、连接弹簧和后转动柱（9），前连接柱（5）安装在静电检测仪本体（1）顶端前方，把手（6）安装在连接架（7）上，前转动柱（8）的前端与连接架（7）连接，前转动柱（8）的后端穿过前连接柱（5）并伸出至前连接柱（5）后侧与连接弹簧前端连接，连接弹簧后端与后转动柱（9）前端连接；还包括两组固定块（10）、两组拉板（11）、两组连接杆（12）、两组套簧（13）和两组连接板（14），两组固定块（10）均安装在静电检测仪本体（1）左侧壁前侧和后侧，两组固定块（10）上均设置有通口，两组连接杆（12）一端分别与两组拉板（11）连接，两组连接杆（12）另一端分别穿过两组通口并分别伸入至两组固定块（10）的内侧与两组连接板（14）连接，两组套簧（13）分别套装在两组连接杆（12）外侧，两组套簧（13）的一端分别与固定块（10）内侧壁连接，两组套簧（13）的另一端分别与两组连接板（14）外侧连接；还包括四组螺栓（15）、四组螺母（16）、四组支腿（17）和四组转动杆（18），四组支腿（17）分别安装在静电检测仪本体（1）底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧，四组转动杆（18）一端均可转动设置有万向轮，四组转动杆（18）另一端均设置有吸盘，四组支腿（17）上均设置有第一通孔，四组转动杆（18）上均设置有第二通孔，四组螺栓（15）分别穿过四组第一通孔和四组第二通孔并分别插入且螺装至四组螺母（16）内部，四组螺母（16）与四组转动杆（18）之间均设置有锁紧垫（19），四组锁紧垫（19）分别套装在四组螺栓（15）外侧。2.如权利要求1所述的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，其特征在于，还包括保护壳（20），保护壳（20）内部设置有保护腔，保护壳（20）右侧连通设置有保护口，保护壳（20）盖装在探枪（3）上，探头（4）位于保护腔内部，探枪（3）顶端和底端均设置有限位柱（21），保护壳（20）顶端和底端均设置有弹性绳（22），两组弹性绳（22）分别套装在两组限位柱（21）外侧。3.如权利要求2所述的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，其特征在于，还包括后连接柱（23），后连接柱（23）安装在静电检测仪本体（1）顶端后方，后连接柱（23）前侧壁上设置有放置槽，并在放置槽内部设置有滚珠轴承和限位片，放置槽前侧设置有挡片（24），还包括转动管（25），转动管（25）后侧穿过挡片（24）插入至滚珠轴承内部并与限位片连接。4.如权利要求3所述的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，其特征在于，转动管（25）前侧连通设置有连通口，还包括调节弹簧组和固定环（26），调节弹簧组一端与转动管（25）内侧连接，调节弹簧组另一端与固定环（26）连接，固定环（26）上设置有缺口，后转动柱（9）后侧卡装在固定环（26）内部。5.如权利要求4所述的一种用于晶圆生产环境的静电检测装置，其特征在于，还包括固定柱（27）和保护盖（28），固定柱（27）安装在静电检测仪本体