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一种用于晶圆检测的除尘装置.pdf
2023-08-26
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大渊****公主
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一种用于晶圆检测的除尘装置.pdf
本发明公开了一种用于晶圆检测的除尘装置，包括检测箱、集尘柜、承载台和除尘机构，检测箱的正面设置有箱门，且检测箱内设置有除尘机构，除尘机构包括第一电机、转轴、安装板、限位滑轮、刷板、刷毛，第一电机安装在检测箱的内部顶面上，且第一电机的输出端通过转轴与安装板的一端连接，安装板通过伸缩组件与刷板连接，刷板位于安装板的正下方，且刷板的底部设置有刷毛，检测箱内的下方设置有用于晶圆检测的承载台，承载台为圆形结构，且承载台的半径与刷板的长度相等，承载台上均匀设置有多组的除尘孔；本发明以刷板为半径可以对承载台表面均匀除尘
2023-08-26
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2023-06-04
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