一种用于晶圆检测的除尘装置.pdf
大渊****公主
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一种用于晶圆检测的除尘装置.pdf
本发明公开了一种用于晶圆检测的除尘装置,包括检测箱、集尘柜、承载台和除尘机构,检测箱的正面设置有箱门,且检测箱内设置有除尘机构,除尘机构包括第一电机、转轴、安装板、限位滑轮、刷板、刷毛,第一电机安装在检测箱的内部顶面上,且第一电机的输出端通过转轴与安装板的一端连接,安装板通过伸缩组件与刷板连接,刷板位于安装板的正下方,且刷板的底部设置有刷毛,检测箱内的下方设置有用于晶圆检测的承载台,承载台为圆形结构,且承载台的半径与刷板的长度相等,承载台上均匀设置有多组的除尘孔;本发明以刷板为半径可以对承载台表面均匀除尘
用于晶圆的检测方法、检测装置及存储介质.pdf
本申请的实施方式提供了一种晶圆的检测方法、检测装置及存储介质。本申请的部分实施方式中,用于晶圆的检测方法包括:确定晶圆的侧面图像的像素的图像特征值;对侧面图像的像素的图像特征值进行统计;以及根据统计结果确定晶圆的轮廓是否异常。本申请提供的晶圆的检测方法、检测装置及存储介质可对晶圆进行异常检测。
用于晶圆的刷洗装置.pdf
本发明公开了一种用于晶圆的刷洗装置,包括机架;支撑部件,所述支撑部件设置在所述机架上以支撑晶圆;清洗液供给单元,所述清洗液供给单元设置在所述机架上用于向晶圆的表面施加清洗液;以及一对刷子,所述一对刷子包括刷子主体和设置于所述刷子主体表面上的多个毛束,且所述一对刷子可旋转地设置在所述机架上以将晶圆夹在它们之间刷洗晶圆表面同时在晶圆上产生驱动所述晶圆转动的扭矩。根据本发明实施例的用于晶圆的刷洗装置,由毛刷对晶圆产生的扭矩驱动晶圆转动,因此不需另设晶圆驱动装置,且结构简单可靠,降低了设备设计制造成本。而且由于刷
一种用于晶圆生产环境的静电检测装置.pdf
本发明涉及静电检测附属装置的技术领域,特别是涉及一种用于晶圆生产环境的静电检测装置;包括静电检测仪本体、连接导线和探枪,静电检测仪本体前侧壁设置有显示屏、控制键组和端口组,探枪上设置有探头;还包括前连接柱、把手、连接架、前转动柱、连接弹簧和后转动柱;还包括两组固定块、两组拉板、两组连接杆、两组套簧和两组连接板,两组固定块上均设置有通口;还包括四组螺栓、四组螺母、四组支腿和四组转动杆,四组转动杆一端均可转动设置有万向轮,四组转动杆另一端均设置有吸盘,四组支腿上均设置有第一通孔,四组转动杆上均设置有第二通孔,
一种用于晶圆表面瑕疵检测的装置与方法.pdf
本发明涉及半导体制造设备领域,尤其是涉及一种用于晶圆表面瑕疵检测的装置与方法,该装置包括主体部分和用以控制主体部分的控制单元,该主体部分包括:运动平台,其具有X轴和Y轴,X轴与Y轴定义一运动平面,Y轴可用以承载晶圆;第一Z轴,装设在X轴上并可相对于运动平面垂直运动;线阵相机,装设在第一Z轴上并通过第一Z轴调焦,用于晶圆表面瑕疵检测;第一光源,用来辅助线阵相机进行图像采集;第二Z轴,装设在X轴上并可相对于运动平面垂直运动;面阵相机,装设在第二Z轴上并通过第二Z轴调焦,用于晶圆表面瑕疵复查;第二光源,用来辅助