一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108922847A(43)申请公布日2018.11.30(21)申请号201811060245.8(22)申请日2018.09.12(71)申请人江苏英锐半导体有限公司地址224002江苏省盐城市经济技术开发区综合保税区纽约中路1号3号标准厂房(72)发明人王昌华(74)专利代理机构常州市权航专利代理有限公司32280代理人袁兴隆(51)Int.Cl.H01L21/02(2006.01)H01L21/304(2006.01)B24B37/27(2012.01)B24B37/34(2012.01)权利要求书2页说明书8页附图4页(54)发明名称一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置(57)摘要本发明涉及附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置；其可以提高夹紧效果，可以不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，同时防止将晶圆切片在夹紧过程中被损坏；无需人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，节省人力，可以保证打磨面的水平度，提高打磨效果，提高实用性；包括工作台、四组支腿、固定盘、左弧形调节板、右弧形调节板、左弧形夹板、右弧形夹板、左调节螺栓、右调节螺栓、左限位圈、右限位圈、多组左缓冲弹簧、多组右缓冲弹簧、两组左螺纹管、两组左螺纹杆、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块、两组左限位方柱、两组右限位方柱、移动块、带动电机、摇臂、环形调节圈、安装板、限位环和伸缩杆。CN108922847ACN108922847A权利要求书1/2页1.一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，包括工作台（1）和四组支腿（2），四组支腿（2）的顶端分别与工作台（1）底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，工作台（1）的顶端右侧放置有打磨砂盘（4）；其特征在于，包括固定盘（4）、左弧形调节板（5）、右弧形调节板、左弧形夹板（6）、右弧形夹板、左调节螺栓（7）、右调节螺栓、左限位圈（8）、右限位圈、多组左缓冲弹簧（9）和多组右缓冲弹簧，所述固定盘（4）的底端与所述工作台（1）的顶端中部连接，并且固定盘（4）的顶端中部设置有圆形放置槽，所述圆形放置槽的左端内壁和右端内壁分别横向设置左螺纹通孔和右螺纹通孔，并且左螺纹通孔和右螺纹通孔均与外界相通，所述左弧形调节板（5）和右弧形调节板分别设置在所述圆形放置槽内部的左侧和右侧，并且所述左限位圈（8）的右端与所述左弧形调节板（5）的左端中部连接，并且所述右限位圈的左端与所述右弧形调节板的右端中部连接，左限位旋内部可转动设置有左限位盘（10），并且右限位圈内部可转动设置有右限位盘，所述左调节螺栓（7）的右端自固定盘（4）的左端螺装至左螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且左调节螺栓（7）的右端穿过左限位圈（8）的左端并伸入至左限位圈（8）内部与所述左限位盘（10）的左端同心连接，所述右调节螺栓的左端自固定盘（4）的右端螺装至右螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且右调节螺栓的左端穿过右限位圈的右端并伸入至右限位圈内部与所述右限位盘的右端同心连接，所述左弧形夹板（6）设置在左弧形调节板（5）的右侧，并且所述多组左缓冲弹簧（9）的右端均布与所述左弧形夹板（6）左端连接，并且多组左缓冲弹簧（9）的左端均布与所述左弧形调节板（5）的右端连接，所述右弧形夹板设置在右弧形调节板的左侧，并且所述多组右缓冲弹簧的左端均布与所述右弧形夹板右端连接，并且多组右缓冲弹簧的右端均布与所述右弧形调节板的左端连接；还包括两组左螺纹管（11）、两组左螺纹杆（12）、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块（13）、两组左限位方柱（14）、两组右限位方柱、移动块（15）、带动电机（16）、摇臂（17）、环形调节圈（18）、安装板（19）、限位环（20）和伸缩杆（21），所述固定块（13）的底端设置有方形固定槽，并且所述移动块（15）的顶端与所述方形固定槽的顶端内壁可滑动接触，所述两组左限位方柱（14）的右端分别与移动块（15）左端的前侧和后侧连接，并且两组左限位方柱（14）的左端分别横向可滑动穿过方形固定槽的左端内壁的前侧和后侧并伸出至板的左端外界，所述两组右限位方柱的左端分别与移动块（15）右端的前侧和后侧连接，并且两组右限位方柱的右端分别横向可滑动穿过方形固定槽的右端内壁的前侧和后侧并伸出至板的右端外界，所述打磨砂盘（4）横向设置在移动块（15）的底端，所述安装板（19）的左端与所述方形固定槽左端内壁下侧连接，并且所述带动电机（16）的后端与所述安装板（19）的前端左侧连接，所述摇臂（17）的左端与所述带动电机（16）的前部输出端连接，并且摇臂（17）的前端右侧设置有调节轴，所述限位环（20）的后端与安装板（19）的前端右侧连接，并且所述伸缩杆（21）的左端与所述