一种超高纯铝细晶制备设备.pdf
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相关资料
一种超高纯铝细晶制备设备.pdf
本发明涉及纯铝细晶技术领域,且公开了一种超高纯铝细晶制备设备,包括外缸体,所述外缸体的内部安装有加热缸体,所述加热缸体包括转动内缸、隔热内层、第一轴承和翻动腔体,所述外缸体内部的轴心位置安装有转动内缸,所述外缸体的内壁还安装有第一轴承,所述第一轴承用于支撑转动内缸位于外缸体内部,所述转动内缸的内部安装有隔热内层,所述隔热内层的内壁设有翻动腔体。本发明通过电力导出结构与电力传输结构的配合效果,从而使装置具备了旋转时的电力输出以及外表面的清理效果,并且装置为横卧式加热结构,且加热以及搅拌区域为弧面结构,可通过
一种超高纯、等轴细晶铝靶材的制备方法.pdf
本发明属于材料加工技术领域,具体涉及一种超高纯、等轴细晶铝靶材的制备方法。本发明的制备方法,采用真空熔铸和锻轧结合,在真空感应熔炼炉内对纯度在99.9999%以上的高纯铝锭进行重熔成型,在室温下以冷轧和热处理的方法,制备出半导体芯片用超高纯、等轴细晶铝溅射靶材。所述的制备方法通过对高纯铝锭进行重熔进一步降低高纯铝锭的晶粒尺寸至1mm以下,大大简化后期塑性变形工艺,提高成材效率,降低生产成本,最终得到的超高纯、等轴细晶铝靶材其晶粒大小均一,且保持在100μm以下。
超高纯铝的制备方法.pdf
本公开提供了一种超高纯铝的制备方法,其包括步骤:步骤一,将铝锭进行真空蒸馏,降温后取出铝;步骤二,王水处理玻璃碳舟或氮化硼舟;步骤三,将步骤一所得到铝在高纯石墨坩埚内熔化后倒入玻璃碳舟或氮化硼舟内冷却得到铝锭,步骤四,用酸溶液腐蚀铝锭;步骤五,将铝锭放入区熔炉石英管内;步骤六,将惰性气体通入石英管内一段时间,关闭阀门,开启氢气阀门,将氢气通入石英管内;步骤七,打开加热器并调节温度;步骤八,加热器行至舟尾部时,停止加热,返回至原点,进行第二次区熔作业;步骤九,区熔完成后,停止加热,将铝锭取出,去铝锭的头尾;
一种超高纯铝纯化晶析装置的控制方法.pdf
本发明涉及一种超高纯铝的纯化晶析装置的控制方法,包括以下步骤:将纯化晶析装置安装在坩埚上方且下端深入铝液液面下,向纯化晶析装置内部连续通入常温空气;控制旋转电机,使得第一传动轮和第一传动齿轮旋转,第一传动轮驱动第二传动轮旋转;第一传动齿轮驱动第二传动齿轮以相反的方向旋转;第二传动齿轮带动内转轴和下转体旋转,旋转过程中纯度高的铝液在所述下转体周围堆积形成结晶物;控制转向电机,使得联动片下移与第二传动轮形成一体件,带动外转轴旋转,从而带动上转体与下转体以相反的方向旋转,上转体与下转体逆向旋转使得铝液液面保持不
一种制备细晶纯铌锭的熔炼方法.pdf
本发明涉及一种制备细晶纯铌锭的熔炼方法,采用真空电子束冷床炉熔炼制备纯铌锭;所述熔炼过程中,添加0.01~0.06wt%的钇元素。采用本方法制备的纯铌铸锭材具有晶粒细小和组织均匀性好的特点,可获得晶粒尺寸为5‑15mm、剩余电阻比率(RRR值>300)的均匀全等轴成品铸锭。采用熔炼过程中添加0.01~0.06wt%的钇元素,在电子束冷床熔炼过程中,保持溶液置于冷床中10‑600S,并通过电子束不断搅拌。然后浇注入结晶器中,可获得铸态晶粒尺寸为5‑15mm的均匀全等轴成品铸锭。