一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法.pdf

(19)国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN116005126A(43)申请公布日2023.04.25(21)申请号202211629632.5(22)申请日2022.12.19(71)申请人金源康（惠州）实业有限公司地址516000广东省惠州市惠阳区新圩镇长布村厂房2(72)发明人宋国新浦东云(74)专利代理机构南昌逸辰知识产权代理事务所(普通合伙)36145专利代理师刘林艳(51)Int.Cl.C23C14/56(2006.01)C23C14/50(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图7页(54)发明名称一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法(57)摘要本发明申请公开了一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置及使用方法，涉及PVD镀膜装置技术领域；本申请包括:镀膜箱，所述镀膜箱上设置有镀膜组件和真空组件；轴杆，转动贯穿所述镀膜箱，所述轴杆上呈上下分布设置有两个承载板；若干个挂管，呈环形阵列分布，且转动卡接在两个所述承载板上；本申请通过在挂管内同轴转动设置挂杆，在圆盘壳上呈环形阵列设置若干个支杆，使得挂管的外周侧均可以环绕挂设若干个工件，使得工件的安置数量多，通过第一联动件与第二联动件的设置，使得挂管在随着承载板转动时还能自转，若干个支杆在随着圆盘壳转动时还能自转，使得挂设的若干个工件可以各自进行自转，使得对工件的镀膜效果好，镀膜均匀，以提高对工件的加工品质。CN116005126ACN116005126A权利要求书1/2页1.一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，包括:镀膜箱（1），所述镀膜箱（1）上设置有镀膜组件（2）和真空组件（3）；轴杆（4），转动贯穿所述镀膜箱（1），所述轴杆（4）上呈上下分布设置有两个承载板（5）；若干个挂管（6），呈环形阵列分布，且转动卡接在两个所述承载板（5）上，所述挂管（6）上沿其高度方向阵列连通有若干个圆盘壳（7），所述圆盘壳（7）上转动贯穿有若干个支杆（8），所述支杆（8）上设置有用于放置工件的放置架（9），所述挂管（6）内同轴转动设置有挂杆（10）；第一联动部（11），设置在所述镀膜箱（1）内，当所述轴杆（4）转动时，所述第一联动部（11）带动所述挂管（6）和所述挂杆（10）同步转动；第二联动部（12），设置在所述圆盘壳（7）内，当所述挂杆（10）转动时，所述第二联动部（12）带动若干个所述支杆（8）同步转动。2.根据权利要求1所述的一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，所述第一联动部（11）包括环板（1101）、内齿环（1102）、第一齿轮（1103）以及第二齿轮（1104），其中:所述环板（1101）设置在所述镀膜箱（1）的内底壁，所述内齿环（1102）设置在所述环板（1101）的内壁，所述第一齿轮（1103）固设在所述挂管（6）上，所述第二齿轮（1104）固设在所述挂杆（10）上，所述第一齿轮（1103）与所述第二齿轮（1104）均与所述内齿环（1102）齿牙啮合。3.根据权利要求2所述的一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，所述第二联动部（12）包括齿盘（1201）和若干个第三齿轮（1202），其中：所述齿盘（1201）固设在所述挂杆（10）上且位于所述圆盘壳（7）内，若干个所述第三齿轮（1202）分别固设在若干个所述支杆（8）上且均与所述齿盘（1201）齿牙啮合。4.根据权利要求1所述的一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，所述放置架（9）包括矩形框（901）、两个滑块（902）、限位板（903）以及底部为开口的套筒（904），其中：所述矩形框（901）设置在所述支杆（8）的端部，两个所述滑块（902）水平滑动设置在所述矩形框（901）上，两个所述滑块（902）的顶部均构造有锥形块（905），两个所述滑块（902）的底部均设置有夹块（908），所述夹块（908）上构造有挂钩（906），所述限位板（903）固设在所述支杆（8）上，所述套筒（904）滑动套设在所述支杆（8）上，所述限位板（903）与所述套筒（904）之间安装有套设在所述支杆（8）上的弹簧（907）。5.根据权利要求1所述的一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，两个所述承载板（5）上均呈环形阵列开设有若干个卡接槽（13），所述挂管（6）的两端均构造有卡块（14），两个所述卡块（14）分别与两个所述承载板（5）上相对应的两个所述卡接槽（13）卡设配合。6.根据权利要求1所述的一种高效率的旋转式连续PVD镀膜装置，其特征在于，所述镀膜组件（2）包括电压箱（201）、以及靶材（202），其中：所述靶材（202）设置在所述镀膜箱（1）的内壁，所述电压箱（201）设置在所述镀膜箱（1）的外壁，所述电压箱（201）连接有位于所述镀膜箱（