连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN112707343A(43)申请公布日2021.04.27(21)申请号202011583814.4B66F9/075(2006.01)(22)申请日2020.12.28C23C14/56(2006.01)(71)申请人苏州迈为科技股份有限公司地址215200江苏省苏州市吴江区经济开发区庞金路1801号庞金工业坊D02幢(72)发明人吴超彭孝龙张永胜杨肸曦解传佳(74)专利代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司44224代理人唐清凯(51)Int.Cl.B66F9/22(2006.01)B66F9/12(2006.01)B66F9/14(2006.01)B66F9/08(2006.01)权利要求书2页说明书7页附图5页(54)发明名称连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统(57)摘要本发明涉及一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统包括叉车式移载装置、及导向结构，叉车式移载装置包括：底座,在第一方向上具有相对的第一端和第二端，第一端具有导向部；竖直升降机构，安装于底座的第二端，左右调节组件，连接于竖直升降机构；承重货叉，连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动，第二方向垂直于第一方向及垂直竖直方向，承重货叉包括沿第一方向延伸的叉臂，叉臂的面对底座的一侧设有吊勾；及向结构，设置于镀膜工艺室的下方，用于与所述底座的导向部配合，以引导车式移载装置朝向镀膜工艺室移动并限定所叉车式移载装置的移动位置，较传统天车，对厂房的结构强度和高度的要求较低。CN112707343ACN112707343A权利要求书1/2页1.一种连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，包括叉车式移载装置、及导向结构，其中所述叉车式移载装置包括：底座,所述底座在第一方向上具有相对的第一端和第二端，所述第一端具有导向部；竖直升降机构，安装于所述底座的第二端，左右调节组件，连接于所述竖直升降机构，以在所述竖直升降机构的驱动下沿竖直方向升降；承重货叉，连接于左右调节组件以能够沿第二方向往复移动，所述第二方向垂直于所述第一方向及垂直于所述竖直方向，其中所述承重货叉包括至少一根沿所述第一方向延伸的叉臂，所述叉臂的面对所述底座的一侧设有吊勾；及所述导向结构设置于镀膜工艺室的下方，所述导向结构用于与所述底座的导向部配合，以引导所述叉车式移载装置朝向所述镀膜工艺室移动并限定所述叉车式移载装置的移动位置。2.根据权利要求1所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述底座包括平行设置的一对支撑腿，每个所述支撑腿的远离所述竖直升降机构的端部设有所述导向部。3.根据权利要求2所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述导向结构包括间隔设置的第一导向件和第二导向件，所述第一导向件包括彼此垂直的第一导向壁和第一挡壁，所述第二导向件包括彼此垂直的第二导向壁和第二挡壁，其中所述第一导向壁平行于所述第二导向壁且沿所述支撑腿的长度方向延伸，所述第一挡壁和所述第二挡壁对向延伸。4.根据权利要求3所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述第一导向壁的一端与所述第一挡壁连接，所述第一导向壁的另一端设有第一导引面，所述第一导引面远离所述第二导向壁并斜向延伸；所述第二导向壁的一端与所述第二挡壁连接，所述第二导向壁的另一端设有第二导引面，所述第二导引面远离所述第一导向壁并斜向延伸。5.根据权利要求4所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述导向部的外表面为圆柱面。6.根据权利要求1所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述第一导向件和第二导向件均为一体成型的钣金件。7.根据权利要求1所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述左右调节组件在所述竖直方向上具有上限位置，所述上限位置与所述竖直升降机构的顶端在竖直方向上具有间隔。8.根据权利要求1所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述竖直升降机构为液压升降机构。9.根据权利要求1所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述叉车式移载装置还包括第一行走轮和第二行走轮，其中所述第一行走轮设置于所述竖直升降机构的底侧，所述第二行走轮设置于所述底座的底部。10.根据权利要求1所述的连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统，其特征在于，所述叉臂2CN112707343A权利要求书2/2页的数量为两个，两个所述叉臂平行设置，两个所述叉臂上的吊勾一一对应。3CN112707343A说明书1/7页连续PVD镀膜设备中阴极的安装系统技术领域[0001]本发明涉及镀膜设备技术领域，特别是涉及一种安装连续镀膜PVD设备中阴极的安装系统。背景技术[0002]当前市场上吊装阴极设计的连续镀膜PV