一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108315706A(43)申请公布日2018.07.24(21)申请号201810284193.6(22)申请日2018.04.02(71)申请人上海应用技术大学地址200235上海市徐汇区漕宝路120-121号(72)发明人吴雁王犁王彦瑞王开发张而耕(74)专利代理机构上海汉声知识产权代理有限公司31236代理人封喜彦胡晶(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)C23C14/35(2006.01)权利要求书2页说明书5页附图3页(54)发明名称一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置(57)摘要本发明公开了一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其包括靶材、镀膜室壳体、镀膜室门、加热管、工件架，其中，镀膜室壳体与镀膜室门结合形成镀膜室，镀膜室包括多个平行于所述镀膜室的中心轴线并且依次邻接的矩形面，靶材与靶材加热管间隔分布在镀膜室的多个矩形面上，靶材与镀膜室的外壁可拆卸式连接，加热管连接于所述镀膜室的内壁；镀膜室壳体内具有镀膜室底板，镀膜室底板上安装有与电机连接的齿轮轴，齿轮轴的两侧分别设有导轨，所述工件架底部设有滑轮和驱动杆，所述工件架通过所述滑轮滑动到所述导轨上从而进入所述镀膜室，并且所述镀膜室底板上的所述齿轮轴与所述工件架底部的所述驱动杆连接并传递动力，实现所述工件架的旋转运动。CN108315706ACN108315706A权利要求书1/2页1.一种对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，包括靶材、镀膜室壳体、镀膜室门、加热管、工件架，其中，所述镀膜室壳体与所述镀膜室门结合形成镀膜室，所述镀膜室包括多个平行于所述镀膜室的中心轴线并且依次邻接的矩形面，且所述镀膜室的横截面为正多边形，所述靶材与靶材加热管间隔分布在所述镀膜室的多个所述矩形面上，所述靶材与所述镀膜室的外壁可拆卸式连接，所述加热管连接于所述镀膜室的内壁；所述镀膜室壳体内具有镀膜室底板，所述镀膜室底板上安装有与电机连接的齿轮轴，所述齿轮轴的两侧分别设有导轨，所述工件架底部设有滑轮和驱动杆，所述工件架通过所述滑轮滑动到所述导轨上从而进入所述镀膜室，并且所述镀膜室底板上的所述齿轮轴与所述工件架底部的所述驱动杆连接并传递动力，实现所述工件架的旋转运动。2.如权利要求1所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述加热管通过若干加热管固定垫片、多个内六角螺钉连接于所述镀膜室的内壁。3.如权利要求1所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室底板上设有两条所述导轨。4.如权利要求1所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述工件架为行星齿轮传动工件架。5.如权利要求4所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述工件架包括顶盖和盖板以及设置在所述顶盖和所述盖板之间的多个夹具固定杆，所述夹具固定杆能够夹持夹具，每个所述夹具固定杆的不同高度处分别设有螺纹孔，每个螺纹孔的直径为8-10mm，相邻螺纹孔之间的距离为16-20mm。6.如权利要求5所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，多个所述夹具固定杆沿所述顶盖和所述盖板的圆周均匀排列。7.如权利要求5所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述工件架还包括设置在所述顶盖和所述盖板之间的若干支撑杆；所述夹具包括夹具底座，所述夹具底座上设有沿同一圆周排布的多个夹具套管，每个夹具套管相对于所述夹具底座能够沿夹具套管自身的轴转动；所述夹具底座还连接有一拨叉件，所述拨叉件包括拨叉固定座、设置在所述拨叉固定座上面的拨叉，其中，所述支撑杆到所述夹具固定杆的距离小于所述拨叉到所述夹具固定杆的距离；其中，所述夹具底座与所述拨叉固定座可相对转动，同时所述夹具底座与所述夹具固定杆为固定设置，并且所述拨叉设置在所述夹具套管所组成的圆周内，以达到所述夹具底座转动时，所述拨叉能够拨动所述夹具套管使其能够沿自身的轴转动。8.如权利要求7所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述夹具中，所述夹具底座下面是所述拨叉固定座，所述拨叉固定座下面设一支撑板，所述夹具底座与所述支撑板通过螺柱连接，同时所述支撑板对所述拨叉固定座起支撑作用，所述拨叉固定座与所述夹具底座有相对转动，所述拨叉固定座与所述支撑板的运动保持一致，所述夹具底座与所述夹具固定杆的运动保持一致。9.如权利要求4所述的对刀具进行PVD涂层的真空镀膜装置，其特征在于，所述行星齿轮传动工件架包括主动齿轮、多个从动齿轮、转盘、固定盘、保护罩、滑轮、轴承，所述转盘与所述固定盘之间设有所述轴承，所述转盘内放置有所述主动齿轮和所述从动齿轮，且所述转盘设有与所述从动齿轮啮合的内齿轮，所述主动齿轮底部设有所述驱动杆，