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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN108998768A(43)申请公布日2018.12.14(21)申请号201810994011.4(22)申请日2018.08.29(71)申请人王志伟地址646002四川省泸州市江阳区邻玉镇漕溪村泸州长信液压机械制造有限公司(72)发明人王志伟(51)Int.Cl.C23C14/34(2006.01)C23C14/50(2006.01)权利要求书2页说明书6页附图3页(54)发明名称一种基于PVD技术的表面镀膜装置(57)摘要本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种基于PVD技术的表面镀膜装置,包括壳体、靶材、电机、连接轴、下支撑盘、顶针、摩擦轮、摩擦带、挤压环、从动支撑模块,所述连接轴的上端固定连接摩擦轮;所述下支撑盘上的圆柱形槽内固定连接挤压环的外侧表面;所述挤压环的内侧均匀设置一组半球凸起;本发明通过设置顶针下端的圆盘的表面与摩擦轮的圆柱表面接触,挤压环上的半球凸起与顶针下端的圆盘交错设置,挤压环与顶针下端的圆盘之间设有摩擦带,在壳体上端设置从动支撑模块,实现下支撑盘上方的待镀工件既绕着连接轴转动又绕着顶针自转,使得待镀工件的表面能够均匀的接收从靶材上撞击出来的离子,进而完成了轴类零件表面均匀溅镀。CN108998768ACN108998768A权利要求书1/2页1.一种基于PVD技术的表面镀膜装置,包括壳体(1)、靶材(2)、电机,所述壳体(1)为中空圆柱状,壳体(1)的内壁上设有靶材(2),壳体(1)的下方设有电机;其特征在于:还包括连接轴(3)、下支撑盘(4)、顶针(5)、摩擦轮(6)、摩擦带(7)、挤压环(8)、从动支撑模块(9),所述电机的转轴端部与连接轴(3)的下端固定连接;所述连接轴(3)的上端固定连接摩擦轮(6);所述摩擦轮(6)的上方设有下支撑盘(4);所述下支撑盘(4)的底面上设置圆柱形槽,下支撑盘(4)的顶面上沿圆周方向均匀设置一组圆柱形通孔,下支撑盘(4)上的圆柱形通孔内转动连接顶针(5)的中部;所述顶针(5)的下端设置圆盘(51),顶针(5)下端的圆盘(51)的表面与摩擦轮(6)的圆柱表面接触;所述下支撑盘(4)上的圆柱形槽内固定连接挤压环(8)的外侧表面;所述挤压环(8)的内侧均匀设置一组半球凸起(81),挤压环(8)上的半球凸起(81)与顶针(5)下端的圆盘(51)交错设置,挤压环(8)与顶针(5)下端的圆盘(51)之间设有摩擦带(7);所述摩擦带(7)内侧表面与顶针(5)下端的圆盘(51)接触,摩擦带(7)外侧表面与挤压环(8)上的半球凸起(81)接触;所述壳体(1)上端设有从动支撑模块(9);所述从动支撑模块(9)用于配合壳体(1)下端的顶针(5)对待镀工件进行装夹。2.根据权利要求1所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述挤压环(8)设置成高导磁材料,挤压环(8)的半球凸起(81)上设置圆柱形孔,挤压环(8)上的圆柱形孔内镶嵌永磁铁(82);所述下支撑盘(4)的下端设有固定盘(41);所述固定盘(41)固定连接在连接轴(3)的中部圆柱面上,固定盘(41)上沿圆周方向设置一组圆柱形孔,固定盘(41)上的圆柱形孔内镶嵌电磁铁(42)。3.根据权利要求2所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述顶针(5)中部设有滑动支撑盘(52);所述滑动支撑盘(52)滑动安装在顶针(5)中部,滑动支撑盘(52)与顶针(5)之间通过花键连接,滑动支撑盘(52)与下支撑盘(4)之间设有弹簧,滑动支撑盘(52)的上端面上沿径向均匀设置一组矩形滑槽,滑动支撑盘(52)上的矩形滑槽内滑动安装卡爪(53);所述卡爪(53)一端与矩形滑槽一端之间通过弹簧连接。4.根据权利要求3所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述卡爪(53)外侧表面设置梯形凹槽,卡爪(53)上的梯形凹槽内设有弧形卡扣(54);所述弧形卡扣(54)中部通过转轴铰接在卡爪(53)的梯形凹槽内壁上。5.根据权利要求4所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述弧形卡扣(54)的上端固定连接半球形气囊(55)。6.根据权利要求5所述的一种基于PVD技术的表面镀膜装置,其特征在于:所述从动支撑模块(9)包括上支撑盘(91)、光杠(92)、螺杆(93)、固定针(94)、减震盘(95)、滑动座(96)、弹簧、摆动杆(97)、滚轮(98),所述壳体(1)的上端设有上支撑盘(91);所述上支撑盘(91)的上方对称设置一组光杠(92);所述光杠(92)下端与上支撑盘(91)的上端面固定连接,光杠(92)中部滑动连接在壳体(1)的顶板上;所述上支撑盘(91)的正上方设有螺杆(93);所述螺杆(93)下端与上支撑盘(91)上端面转动连接