

一种基于PVD技术的表面镀膜装置.pdf
大渊****公主
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一种基于PVD技术的表面镀膜装置.pdf
本发明属于镀膜技术领域,具体的说是一种基于PVD技术的表面镀膜装置,包括壳体、靶材、电机、连接轴、下支撑盘、顶针、摩擦轮、摩擦带、挤压环、从动支撑模块,所述连接轴的上端固定连接摩擦轮;所述下支撑盘上的圆柱形槽内固定连接挤压环的外侧表面;所述挤压环的内侧均匀设置一组半球凸起;本发明通过设置顶针下端的圆盘的表面与摩擦轮的圆柱表面接触,挤压环上的半球凸起与顶针下端的圆盘交错设置,挤压环与顶针下端的圆盘之间设有摩擦带,在壳体上端设置从动支撑模块,实现下支撑盘上方的待镀工件既绕着连接轴转动又绕着顶针自转,使得待镀工
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一种基于PVD的表面梯度薄膜制备装置,包括真空腔室、基底、主腔室和源部件,所述基底和主腔室分别布置在所述真空腔室内的上下两侧,所述源部件设置在所述主腔室内;所述源部件包括步进电机、小齿轮、大齿轮、子腔室、用于将基底镀膜的源材料、坩埚、用于遮蔽逸散的部分源的微观粒子的半圆遮板和用于实时测量源的通量的晶振片,所述步进电机的电机轴上固定有所述小齿轮,所述半圆遮板可转动的安装在子腔室的上端开口的一侧上,所述小齿轮与大齿轮啮合,所述大齿轮与所述半圆遮板上的齿形结构啮合。本发明提供了一种基于PVD的表面梯度薄膜制备装