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(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利申请(10)申请公布号CN111471974A(43)申请公布日2020.07.31(21)申请号202010274295.7(22)申请日2020.04.09(71)申请人集美大学地址361021福建省厦门市集美区银江路185号(72)发明人林荣川(74)专利代理机构北京权智天下知识产权代理事务所(普通合伙)11638代理人王新爱(51)Int.Cl.C23C14/50(2006.01)权利要求书1页说明书3页附图3页(54)发明名称一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置(57)摘要本发明公开了一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置,涉及真空镀膜辅助设备技术领域,包括底座,所述底座的内底壁固定连接有电动机,所述底座的顶部右端固定连接有工作箱,所述工作箱的内底壁活动连接有轴承,所述轴承的顶部固定连接有支撑板,所述支撑板的顶部开设有多个第一凹槽,所述支撑板的顶部固定连接有多个支撑杆,所述支撑杆的两端均固定连接有第一连接块,所述支撑杆的顶端固定连接有连接板。该PVD镀膜工件旋转悬挂装置,通过第三凹槽和固定块的结构,可以方便对挂钩的更换,通过圆杆、弹簧和连接槽的结构,可以对固定块进行固定,通过第二凹槽和拉板的结构,方便对固定块的拆卸和安装。CN111471974ACN111471974A权利要求书1/1页1.一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置,包括底座(1),其特征在于,所述底座(1)的内底壁固定连接有电动机(2),所述底座(1)的顶部右端固定连接有工作箱(3),所述工作箱(3)的内底壁活动连接有轴承(4),所述轴承(4)的顶部固定连接有支撑板(5),所述支撑板(5)的顶部开设有多个第一凹槽(6),所述支撑板(5)的顶部固定连接有多个支撑杆(7),所述支撑杆(7)的两端均固定连接有第一连接块(8),所述支撑杆(7)的顶端固定连接有连接板(9),所述连接板(9)的底部开设有有多个第二凹槽(10),所述连接板(9)的底部开设有有多个第三凹槽(11),所述连接板(9)开设有多个内腔(12),所述内腔(12)的底壁固定连接有限位板(13),所述内腔(12)的底壁开设有滑道(14),所述限位板(13)的底端固定连接有滑块(15),所述限位板(13)的左侧固定连接有圆杆(16),所述限位板(13)的顶部固定连接有滑动板(17),所述内腔(12)的顶壁开设有滑槽(18),所述滑动板(17)的顶部固定连接有拉板(19),所述内腔(12)的右侧壁固定连接有弹簧(20),所述第三凹槽(11)的左侧壁固定连接有固定块(21),所述固定块(21)的底部固定连接有挂钩(22),所述底座(1)的顶部左端固定连接有真空泵(23),所述真空泵(23)的抽气管道外表面固定连接有密封圈(24),所述工作箱(3)的顶部两端均开设有第四凹槽(26),所述第四凹槽(26)的内表面固定连接有第二连接块(27),所述第二连接块(27)的顶部固定连接有盖板(28),所述盖板(28)的底部固定连接有橡胶垫(29)。2.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置,其特征在于,所述固定块(21)的右侧开设有连接槽(31),所述圆杆(16)的右端与连接槽(31)的内表面固定连接。3.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置,其特征在于,所述底座(1)的内底壁固定连接有蓄电池(30),所述密封圈(24)的右侧与工作箱(3)的左侧固定连接。4.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置,其特征在于,所述底座(1)的顶部固定连接有保护箱(25),所述真空泵(23)位于保护箱(25)的内部。5.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置,其特征在于,所述滑块(15)位于滑道(14)的内部,所述弹簧(20)的右端与限位板(13)固定连接。6.根据权利要求1所述的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置,其特征在于,所述滑动板(17)的中部与滑槽(18)活动连接,所述第一连接块(8)分别和第一凹槽(6)的内表面与第二凹槽(10)的内表面固定连接。2CN111471974A说明书1/3页一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置技术领域[0001]本发明涉及真空镀膜辅助设备技术领域,具体为一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置。背景技术[0002]PVD(物理气相沉积)镀膜中需要将镀膜工件悬挂在镀膜真空腔中进行真空镀膜,而很多镀膜工件需要对多个面或多个部位进行镀膜,在靶材固定的情况下,只能使工件变化位置,才能使工件各个部位都能镀膜。在中国已授权专利申请公开说明书CN201820685234U中公开的一种PVD镀膜工件旋转悬挂装置,该专利所述中心齿轮与所述固定盘通过固定杆和固定板配合的方式进行连接,便于分拆主动力固定机构和公自转悬挂机构,但是,实际中该装置在拆卸过程中